Травление металлического материала химическими средствами: .устройства, например для изготовления фотомеханических печатных форм – C23F 1/08

Изобретение относится к устройствам локального травления тонких пленок микроэлектроники. Устройство содержит вакуумную камеру с крышкой, два электрода, системы откачки и напуска плазмообразующего газа, верхний электрод установлен на плите и снабжен шаблоном, установленным на съемной втулке, закрепленной на электроде, и механизмом регулирования параллельности двух электродов относительно друг друга, выполненным в виде трех микрометрических головок, жестко установленных в отверстиях упомянутой плиты с возможностью взаимодействия нижним концом через шаровые опоры соответственно с тремя вертикальными стойками, закрепленными на основании камеры. На каждой стойке выполнены подвижные упоры, взаимодействующие с механизмом регулирования зазора между двумя электродами, выполненным в виде прецизионного подъемника, на котором установлен нижний электрод, являющийся подложкодержателем. Устройство позволяет упростить процесс формирования структур, повысить скорость травления, обеспечивает равномерность травления за счет использования безмасочного процесса травления и позволяет снизить затраты электроэнергии и расход плазмообразующего газа. 4 ил.

Изобретение относится к химической обработке металлов и может быть использовано для струйного травления внутренней поверхности труб, например труб для тепловыделяющих элементов из сплавов циркония. Способ включает загрузку и фиксацию труб в определенном положении, обработку их внутренней поверхности последовательной подачей с изменением направления травильного раствора, воды и сжатого воздуха, выгрузку труб. Травильный раствор подают сжатым воздухом, каждую трубу поочередно обрабатывают на трех позициях, на первой позиции подают травильный раствор в одном направлении, затем очищенный сжатый воздух в этом же направлении, на второй позиции подают травильный раствор в противоположном направлении, затем очищенный сжатый воздух в этом же направлении, на третьей позиции подают воду, затем очищенный сжатый воздух, обработку труб на каждой позиции ведут с разрывом струи на выходе. Устройство содержит станину, механизм подачи и выгрузки труб, механизмы фиксации труб, систему для прокачивания через трубы обрабатывающих веществ, состоящую из трубопроводов, емкостей и кранов. Станина содержит три рабочий позиции, механизмы для подачи труб на рабочие позиции, на каждой позиции неподвижно установлены уплотнители со стороны подачи обрабатывающих веществ, и подвижно вдоль станины - средства для приема из труб с разрывом струи обрабатывающих веществ. Система для прокачивания через трубы обрабатывающих веществ дополнительно включает промежуточные емкости, связанные с трубопроводами, подводящими травильный раствор и сжатый воздух, и соединенные через уплотнители с обрабатываемыми трубами. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.

Изобретение относится к области механики в химической промышленности и предназначено для подтравливания, например, фольгированных поверхностей заготовок печатных плат с целью улучшения адгезионных свойств перед прессованием или склеиванием заготовок. Установка содержит опору из углового проката сварной конструкции с установленными внутри нее двумя баками из листового винипласта сварной конструкции. Один бак - для воды, выполнен с рубашкой со штуцером для перелива, совмещенным снаружи с отверстием в дне рубашки и приваренным к нему, с нагнетательной трубой для заполнения бака водой, совмещенной с отверстием в дне бака и приваренной к нему и к стенке бака, с патрубком для слива воды, совмещенным снаружи со вторым отверстием в дне бака и приваренным к нему, и заглушкой для закрывания сливного отверстия при работе установки. Второй бак - для раствора, выполнен с патрубком для его подачи и слива, совмещенным снаружи с отверстием в дне этого бака и приваренным к нему. На опоре болтовым соединением закреплены четыре направляющие с отверстиями, в которых установлена рамка с двумя перемычками для закрепления на них подвесок с деталями. Рамка выполнена с возможностью поступательного перемещения при помощи рычага, шарнирно соединенного с помощью осей с двумя платиками, выполненными из стального нержавеющего листа, и втулкой, насаженной на выходной конец вала исполнительного механизма, установленного на площадке кронштейна сварной конструкции, прикрепленного к опоре, при этом для удаления вредных испарений установка снабжена переходом, прикрепленным одним концом к опоре болтовым соединением, а другим концом - болтовым соединением с вытяжным газоходом, а баки закрыты колпаком. 11 ил.