Насосы и компрессоры, не отнесенные к группам ,25/00: .для создания вакуума путем абсорбции и адсорбции – F04B 37/02
Раздел F МАШИНОСТРОЕНИЕ; ОСВЕЩЕНИЕ; ОТОПЛЕНИЕ; ДВИГАТЕЛИ И НАСОСЫ; ОРУЖИЕ И БОЕПРИПАСЫ; ВЗРЫВНЫЕ РАБОТЫ
F04 Гидравлические машины объемного вытеснения; насосы для жидкостей или для сжимаемых текучих сред
F04B Гидравлические машины объемного вытеснения; насосы и компрессоры
F04B 37/02 .для создания вакуума путем абсорбции и адсорбции
Патенты в данной категории
| КОМБИНИРОВАННАЯ ОТКАЧИВАЮЩАЯ СИСТЕМА, СОДЕРЖАЩАЯ ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС И ИОННЫЙ НАСОС
Изобретение относится к области насосостроения и предназначено для создания сверх высокого вакуума. Комбинированная откачивающая система, содержащая геттерный насос (120; 220) и ионный насос (130; 230). Геттерный насос и ионный насос (120, 130; 220, 230) смонтированы последовательно на одном и том же фланце (111; 211) и размещены, соответственно, на его противоположных сторонах, так что проводимость как геттерного насоса, так и ионного насоса увеличивается в направлении источников газового потока в вакуумной камере. Повышается уровень вакуума системы. 10 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл. |
2520709 патент выдан: опубликован: 27.06.2014 |
|
| ВАКУУМИРОВАННАЯ СОЛНЕЧНАЯ ПАНЕЛЬ С НАСОСОМ НА ОСНОВЕ НЕИСПАРЯЮЩЕГОСЯ ГЕТТЕРА
Изобретение относится к вакуумированной солнечной панели с геттерным насосом, в частности согласно изобретению геттерный насос представляет собой насос с неиспаряющимся геттером (NEG). Вакуумированная солнечная панель (1) содержит раму (2), вмещающую в себя множество распорок (3), несущих прозрачную стенку (4). Прозрачная стенка (4) с рамой (2) определяет закрытую камеру (6), вмещающую распорки (3), абсорбер (8) и геттерный насос (15). Геттерный насос (15) содержит оболочку, имеющую избирательно зачерненные внешние поверхности и содержащую один или более неиспаряющихся геттерных элементов. Изобретение должно снизить стоимость и увеличить надежность вакуумированной солнечной панели с NEG насосом. 8 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2463529 патент выдан: опубликован: 10.10.2012 |
|
| АДСОРБЦИОННАЯ КОМПРЕССОРНАЯ УСТАНОВКА
Изобретение относится к области компримирования газов, а точнее к компрессорным установкам, использующим для своей работы тепловую энергию, и может использоваться в химической, нефтеперерабатывающей, газоперерабатывающей и других отраслях промышленности. Установка содержит два попеременно охлаждаемых и нагреваемых генератора-адсорбера, каждый из которых представляет собой вертикальный цилиндрический корпус, внутри которого установлен теплообменный блок радиально-спирального типа, причем в аксиальные щелевые каналы загружается твердый адсорбент, а в радиально-спиральные щелевые каналы подаются попеременно теплоноситель и хладоноситель. Генераторы-адсорберы подключаются в режиме адсорбции к линиям газа низкого давления и хладоносителя, а в режиме десорбции - к линиям газа высокого давления и теплоносителя. Перевод адсорберов-генераторов с режима адсорбции на режим десорбции осуществляется с помощью обратных и трехходовых переключающих клапанов. Изобретение позволяет повысить эффективность и производительность установок такого типа, а также снизить габариты и металлоемкость. 2 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2439368 патент выдан: опубликован: 10.01.2012 |
|
| ВАКУУМНАЯ КРИОАДСОРБЦИОННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО КИСЛОРОД-ЙОДНОГО ЛАЗЕРА Устройство предназначено для использования в вакуумной технике для полного откачивания и очистки выхлопа мощного химического кислород-йодного лазера (ХКЙЛ). Система содержит камеру предварительного охлаждения выхлопа и вымораживания из него паров воды, соединенную с выходом лазера и входом, как минимум, одного криоадсорбционного насоса, соединенные с источником криоагента дополнительными вакуумными насосами устройство регенерации и устройство управления. Соединяющие магистрали снабжены вентилями. Криоадсорбционный насос представляет собой герметичный теплоизолированый корпус с входным патрубком и патрубками коллекторов подвода криоагента и отвода его паров, в котором коаксиально и дистанцированно размещено N идентичных радиальных криопанелей, образующих осевой канал для поступления выхлопа. Каждая криопанель образована пористыми газопроницаемыми экранами, например сетками из высокотеплопроводного материала с размещенным между ними адсорбентом и радиальной теплосъемной трубкой, соединенной с коллекторами подвода криоагента и отвода его паров. Криоадсорбционный насос снабжен дополнительной, в форме стакана, прилегающего к корпусу, криопанелью, образованной внешне изолированным высокотеплопроводным материалом с дугами теплосъемных трубок внутри, оребрением и размещенным между ребрами адсорбентом, закрепленных сеткой и соединенных со своими коллекторами подвода криоагента и отвода его паров. Каждая радиальная криопанель дополнительно снабжена кольцевой пластиной из высокотеплопроводного материала. 4/5 от внешнего края ее радиальной поверхности - криоадсорбционная часть, снабжена двухсторонними радиальными ребрами с кольцевыми бортиками, между которыми размещен адсорбент в виде смеси из гранул цеолита и стружки высокотеплопроводного материала например меди. Радиальная теплосъемная трубка размещена внутри пластин. Остальная 1/5 часть поверхности - конденсационная. Вход криоадсорбционного насоса снабжен экраном. Радиальная криопанель может быть выполнена в виде радиальной кольцевой пластины из высокотеплопроводного материала с двухсторонним оребрением, с делением или без него на конденсационную и/или криоадсорбционную части, и радиальной теплосъемной трубкой внутри, соединенной с коллекторами подвода криоагента и отвода его паров. Радиальная криопанель может быть выполнена в виде радиальной кольцевой пластины из высокотеплопроводного материала с радиальной теплосъемной трубкой внутри, соединенной с коллекторами подвода криоагента и отвода его паров. Повышается быстродействие при откачке выхлопа мощных лазеров. Упрощается конструкция насоса за счет использования для захолаживания и регенерации одних и тех же коллекторов и теплосъемных трубок. 2 з.п. ф-лы., 8 ил. | 2226622 патент выдан: опубликован: 10.04.2004 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в криогенной технике для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит двустенную емкость с охлаждаемым экраном с каналом для отвода паровой фазы криогенного продукта. Адсорбент закреплен на внутренней стенке емкости. Охлаждаемый экран снабжен элементом для отбора капельной среды, расположенным в канале для отвода паровой фазы криогенного продукта, и перегородками. Элемент для отбора капельной среды выполнен в виде спиральной ленты из капиллярно-пористого материала. Каждая перегородка имеет участок с перфорацией. Перфорированный участок каждой последующей перегородки расположен в диаметрально противоположном направлении относительно перфорированного участка предыдущей перегородки. Технический результат - повышение эффективности охлаждения экрана, который предназначен для уменьшения теплопритоков к адсорбенту и криогенному продукту. 1 ил. | 2215901 патент выдан: опубликован: 10.11.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в криогенной технике, для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит двустенную емкость с размещенной между внешней и внутренней стенками многослойно-вакуумной теплоизоляцией, состоящей из чередующихся между собой отражающих экранов, имеющих гладкую металлизированную с двух сторон поверхность с металлизированным покрытием. Адсорбент закреплен на внутренней стенке. Прокладочные слои выполнены из полиэтилентерефталатной пленки с неровной поверхностью. Отражающий экран теплоизоляции соединен посредством проставок из низкотеплопроводного материала с внутренней стенкой, с образованием зазора между адсорбентом и отражающим экраном. Технический результат - повышенные откачные характеристики за счет уменьшения теплопритоков через теплоизоляцию. 1 ил. | 2215900 патент выдан: опубликован: 10.11.2003 |
|
| ГЕТТЕРНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ОЧИСТКИ ГАЗОВОЙ РАБОЧЕЙ АТМОСФЕРЫ В ПРОЦЕССАХ ФИЗИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы. Сущность: система образована из одного или более геттерных устройств в виде спеченных тел из порошков геттерного материала или слоев геттерного материала, осажденных на металлическую подложку, которая должна быть размещена в рабочей зоне технологических камер для осаждения тонких слоев металлических или керамических материалов из паров или плазм для очистки газовой атмосферы, находящейся в этой зоне, при этом геттерные устройства расположены параллельно экранам, ограничивающим рабочую зону, с образованием зазора между ними и экранами, сообщенного с рабочей зоной, и поверхность геттерных устройств, обращенная к экранам, выполнена из геттерного материала. Изобретение обеспечивает эффективную очистку рабочей атмосферы в течение процесса PVD. 23 з.п.ф-лы, 7 ил. | 2211882 патент выдан: опубликован: 10.09.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Насос предназначен для использования в области криогенной техники. Насос содержит дополнительную пористую оболочку. Последняя контактирует с адсорбентом и выполнена в виде рукава из пористого низкотеплопроводного материала с открытыми порами. Пористая оболочка размещена между слоями теплоизоляции и стенками емкости. Обеспечивается повышение характеристик откачки насоса. 1 ил. | 2208703 патент выдан: опубликован: 20.07.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в области криогенной техники для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит теплоизолированную двустенную емкость с хладагентом, снабженную дренажным трубопроводом. Обводной и заправочный трубопровод снабжен вентилями. Адсорбент закреплен на внутренней стенке емкости. К обводному трубопроводу подключена дополнительная емкость, снабженная источником повышения давления. На выходе трубопровода из дополнительной емкости установлен эжектор, подключенный к дренажному трубопроводу. Повышаются откачные характеристики. 1 ил. | 2208182 патент выдан: опубликован: 10.07.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в области криогенной техники для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит емкость с горловиной в наружной оболочке, многослойно-вакуумную теплоизоляцию, экран и адсорбент, закрепленный на внутренней стенке емкости. В слоях теплоизоляции выполнен радиационный зазор. Экран расположен в этом зазоре и закреплен на горловине емкости. Повышаются откачные характеристики. 1 ил. | 2208181 патент выдан: опубликован: 10.07.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Насос предназначен для использования в области криогенной техники, для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Адсорбент и теплоизоляция размещены в межстенной полости двустенной емкости. Адсорбент закреплен на внутренней стенке. В емкости на внутренней поверхности внутренней стенки закреплена гофрированная оболочка, выполненная из капиллярно-пористого материала. Между внутренней стенкой и гофрами оболочки образованы полости. Позволит дать значительный экономический эффект за счет повышения эффективности охлаждения адсорбента и, следовательно, улучшения откачных характеристик. 2 ил. | 2206790 патент выдан: опубликован: 20.06.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в области криогенной техники для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит теплоизолированную двустенную емкость. Адсорбент поджат к поверхности внутренней стенки перфорированной оболочкой. Оболочка выполнена упругой и гофрированной. На поверхности внутренней стенки нанесен слой электроизоляционного материала с высоким термическим сопротивлением. Нагреватель выполнен в виде токопроводящей пленки, нанесенной на электроизолирующий слой. Повышаются откачные характеристики. 2 ил. | 2206789 патент выдан: опубликован: 20.06.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в криогенной технике для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит двустенную емкость с дренажным и заправочным трубопроводами и размещенной в межстенной полости теплоизоляцией. Охлаждаемый экран закреплен на опорах. Адсорбент закреплен на внутренней стенке емкости. Емкость снабжена промежуточными камерами, размещенными внутри опор. В экране выполнен канал, сообщающийся с промежуточными камерами. Дренажный и заправочный трубопроводы установлены в одной из промежуточных камер. Технический результат - повышенные откачные характеристики за счет уменьшения теплопритоков. 1 ил. | 2203439 патент выдан: опубликован: 27.04.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в криогенной технике для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит двустенную емкость с дренажным и заправочным трубопроводами. Адсорбент размещен в межстенной полости на внешней поверхности внутренней стенки емкости. Емкость снабжена внутренней оболочкой, образующей дополнительную межстенную полость. В нижней части внутренней оболочки выполнено, по крайней мере, одно отверстие. Заправочный трубопровод снабжен вентилем и сообщен в верхней части емкости с внутренней оболочкой. Дренажный трубопровод сообщен с дополнительной межстенной полостью. В последней установлен уровнемер, сблокированный с вентилем. Технический результат - повышенные откачные характеристики за счет обеспечения стабилизации охлаждения адсорбента при температуре жидкой фазы криогенного продукта. 1 ил. | 2203438 патент выдан: опубликован: 27.04.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в криогенной технике для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит двустенную теплоизолированную емкость с хладагентом. Нагреватель расположен внутри емкости. Адсорбент закреплен на внутренней стенке сосуда. Содержит заправочный и дренажный трубопроводы и трубопровод отбора, входной конец которого размещен в емкости. В насос введен побудитель циркуляции, выполненный в виде помещенного в герметичный кожух турбинного колеса. На валу турбинного колеса по торцам установлены размещенные снаружи лопасти. Побудитель циркуляции расположен внутри входного конца трубопровода отбора. Обеспечивает стабильное охлаждение адсорбента при температуре жидкой фазы хладагента, повышается эффективность работы адсорбента и теплоизоляции при отборе криогенного продукта. 2 ил. | 2203437 патент выдан: опубликован: 27.04.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в области криогенной техники для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит двустенную емкость, адсорбент, вакуумно-многослойную теплоизоляцию и клапан вакуумирования. Насос снабжен предохранительным устройством. Последнее выполнено в виде стакана с пазами на боковых стенках и установлено на входе клапана вакуумирования непосредственно перед слоями изоляции. Пазы выполнены направленными по касательной к верхнему слою изоляции. Технический результат: сохранение эффективности теплоизоляции путем исключения повреждений теплоизоляции струей откачиваемого газа. 1 ил. | 2203436 патент выдан: опубликован: 27.04.2003 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение предназначено для использования в криогенной технике для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Насос содержит двустенную емкость, дренажный и заправочный трубопроводы, размещенные в межстенной полости многослойно-вакуумную теплоизоляцию и экран. Адсорбент контактирует с внешней поверхностью внутренней стенки емкости. Экран снабжен спиральным каналом, соединенным с одного конца с паровым объемом емкости, а с другого конца с дренажным трубопроводом, и размещен в слоях теплоизоляции. Между витками канала выполнены перфорация и защитные козырьки над отверстиями перфорации с обеих сторон экрана. На экране закреплен дополнительный адсорбент. Технический результат - повышение откачных характеристик за счет повышения эффективности теплозащиты. 1 ил. | 2202707 патент выдан: опубликован: 20.04.2003 |
|
| ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС С ВЫСОКОЙ СКОРОСТЬЮ ГАЗОВОЙ СОРБЦИИ Насос предназначен для использования в области вакуумной техники. Насос содержит геттерные конструкции. Последние установлены симметрично вокруг нагревательного элемента. Количество геттерных конструкций - от трех до восьми. В стенке корпуса насоса выполнено отверстие. Последнее соединяет геттерные конструкции с пространством для откачивания. Основание насоса выполнено из сплошного фланца. Материал геттерных дисков выполнен из смеси спеченных порошков. Смесь порошков содержит 60% по весу сплава и 40% по весу циркония. Обеспечивается надежность эксплуатационных характеристик насоса. 9 з.п. ф-лы, 8 ил. | 2195579 патент выдан: опубликован: 27.12.2002 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Адсорбционный насос содержит двухстенную емкость с хладагентом, теплоизоляцию и адсорбент, размещенный в межстенной полости емкости. Узел охлаждения расположен в слоях адсорбента по периметру емкости и выполнен в виде винтоканального теплообменника. Полости винтовых каналов теплообменника заполнены капиллярно-пористым материалом, например капилярно-пористым титаном. Вход и выход винтоканального теплообменника сообщены с полостью емкости в ее нижней и верхней зонах. Емкость содержит заправочный трубопровод, дренажный трубопровод и клапан вакуумирования. Предложенная конструкция обеспечивает длительную работу за счет стабилизации охлаждения адсорбента при температуре жидкой фазы хладагента. 1 ил. | 2187696 патент выдан: опубликован: 20.08.2002 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Адсорбционный насос состоит из теплоизолированного двухстенного сосуда с хладагентом и адсорбента, закрепленного на внутренней стенке сосуда. В насосе установлена центральная капсула с адсорбентом, снабженная внешней рубашкой и ребрами, выполненными из капиллярно-пористого материала, например из капиллярно-пористого фторопласта. Ребра изготовлены в виде радиальных лопастей с криволинейным профилем, расположены равномерно во внутренней полости сосуда и соприкасаются с внутренней стенкой сосуда. Внутренняя полость капсулы сообщена с межстенной полостью, например, посредством перфорированных крышек. В межстенной полости размещена теплоизоляция. Внешняя рубашка снабжена электронагревателем, выполненным в виде токопроводящей жилы, расположенной в среде неэлектропроводного капиллярно-пористого материала. Предложенная конструкция обладает повышенными откачными характеристиками за счет обеспечения стабилизации охлаждения и повышения эффективности регенерации адсорбента. 2 ил. | 2187695 патент выдан: опубликован: 20.08.2002 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов. Адсорбционный насос содержит теплоизолированный сосуд с хладагентом, заправочный и дренажный трубопроводы. К внутренней стенке сосуда прикреплена двустенная камера с адсорбентом. Во внутреннюю полость камеры введены дренажный трубопровод и цилиндрическая перегородка, установленные коаксиально с камерой. Цилиндрическая перегородка установлена с зазором относительно внутренней поверхности камеры, заглушенной с обеих сторон, причем со стороны выхода дренажного трубопровода из камеры на входе в зазор установлено дроссельное устройство. Конструкция адсорбционного насоса обеспечивает длительную работу за счет охлаждения адсорбента до более низкой температуры по сравнению с температурой хранящегося в сосуде хладагента. 1 ил. | 2187694 патент выдан: опубликован: 20.08.2002 |
|
| ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬНЫЙ НАСОС Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов. Насос содержит каркас U-образной формы, составляющий единое целое с дном и его сторонами, полученными из одного металлического листа. Каждая сторона имеет ряд из нескольких предварительно вырезанных прорезей, в которые вставлены газопоглотительные элементы. Нагревательный элемент прикреплен к средней полосе, относящейся к дну, и простирается вдоль множества элементов для их нагрева облучением. Предложенный каркас насоса выполнен из единого листа нержавеющей стали, имеющего линии изгиба и линии разреза для легкого выполнения каркаса, при этом сборка на нем газопоглотительных элементов выполняется путем быстрой и безопасной операции, при этом геометрические характеристики насоса заданы с минимальными допусками так, что он может перемещаться без изменения геометрических характеристик и безопасно с точки зрения исключения механических характеристик. 8 з.п. ф-лы, 6 ил. | 2186249 патент выдан: опубликован: 27.07.2002 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов. Сосуд снабжен радиальными пустотелыми ребрами, равномерно расположенными в межстенном пространстве сосуда с пересечением слоев теплоизоляции. Внутренние полости ребер содержат проставки, выполненные из капиллярно-пористого титана и проложенные через внутреннюю полость сосуда. На внешней поверхности ребер закреплен дополнительный адсорбент с встроенным в него нагревателем, выполненным в виде нагревательного элемента из токопроводящей пленки, проложенной между слоями адсорбента. Предложенная конструкция обеспечивает стабильное охлаждение адсорбента при температуре жидкой фазы хладагента и повышает эффективность работы адсорбента и теплоизоляции. 2 ил. | 2186248 патент выдан: опубликован: 27.07.2002 |
|
| ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС КВАНТОВОГО ВОДОРОДНОГО ГЕНЕРАТОРА Насос предназначен для использования при изготовлении квантовых водородных генераторов. Геттерный насос для квантового водородного генератора содержит в качестве сорбента (поглотителя) прессованную тонкую титановую стружку, в которую добавлен сплав лантан-никеля 5 (LaNi5) в количестве 10-15% от массы титановой стружки. Повышается эффективность и надежность эксплуатации квантового генератора. 1 з.п. ф-лы. | 2183768 патент выдан: опубликован: 20.06.2002 |
|
| СПОСОБ ВАКУУМИРОВАНИЯ ГЕРМООБЪЕМА Изобретение может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре, электровакуумных приборах и т.п. Геттер размещают в капсуле, которую подключают к вакуумному насосу. Проводят откачку капсулы и активировку геттера. Загерметезированную капсулу помещают в рабочий объем, производят его откачку и герметизацию. После чего приводят геттер в рабочее состояние путем механического разрушения капсулы, выполненной из хрупкого вакуумплотного материала. Это позволяет разработать более технологичный, менее трудоемкий и сложный, более эффективный и экономичный способ вакуумирования гермообъемов. Изобретение обеспечивает долговременное поддержание требуемого вакуума и сохранение работоспособности элементов в гермообъеме за счет исключения возможности повышения температуры внутри гермообъема при приведении геттера в рабочее состояние. | 2140015 патент выдан: опубликован: 20.10.1999 |
|
| МОДУЛЬ И СИСТЕМА ГЕТТЕРОНАСОСА Изобретение может быть использовано в системах сверхвысокого вакуума для производства полупроводников. Модуль геттеронасоса выполняют из геттерных дисков с осевыми отверстиями и устройства для нагрева, пропущенного через упомянутые отверстия, который служит опорой геттерным дискам. Устройства предназначены для нагрева дисков. Геттерные диски преимущественно представляют собой сплошные пористые спеченные диски, которые выполняются из геттерного материала. Титановые втулки входят в соприкосновение с устройством для нагрева. Для защиты упомянутых геттерных дисков от источника тепловой энергии, обеспечения теплоотвода внутри камеры и быстрой регенерации геттерных дисков предусматривается теплозащитный экран. В некоторых вариантах осуществления настоящего изобретения теплозащитные экраны выполняются неподвижными. В других вариантах могут быть предусмотрены подвижные теплозащитные экраны. В одном из вариантов осуществления настоящего изобретения предусматривается фокусирующий экран для отражения тепловой энергии от внешнего нагревательного элемента на упомянутый геттерный материал с целью обеспечения высоких скоростей. Кроме того, в качестве одного из вариантов осуществления настоящего изобретения может предусматриваться вращающийся геттерный элемент для повышения коэффициента использования геттерного материала. Такое выполнение позволяет адаптировать геттеронасос к процессу откачки давления из рабочих камер "по месту" согласно терминологии производства полупроводников. 10 с. и 56 з.п. ф-лы, 17 ил. | 2138686 патент выдан: опубликован: 27.09.1999 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС Использование: в вакуумной и криогенной технике и может быть использован во многих областях науки и техники для получения глубокого вакуума, а также в криогенной технике для криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения. Сущность изобретения: система охлаждения адсорбента разделяет внутреннее пространство насоса на две смежные винтовые полости, одна из которых сообщена с трубопроводом откачки и служит для привода откачиваемого газа, а вторая заполнена адсорбентом. Этим обеспечивается эффективное двустороннее охлаждение адсорбента и малые гидравлические потери за счет наличия газовых зазоров с обеих сторон слоя адсорбента. Такая конструкция системы охлаждения в сочетании с малой толщиной слоя адсорбента позволяет значительно повысить скорость откачки насоса и увеличить его сорбционную емкость за счет эффективного использования объема насоса. 1 ил. | 2101564 патент выдан: опубликован: 10.01.1998 |
|
| СПОСОБ СОЗДАНИЯ БЕЗМАСЛЯНОГО ВАКУУМА Использование: в электронной промышленности, в частности для получения чистых материалов и изготовления полупроводниковых приборов функциональной электроники. Сущность изобретения: безмасляный вакуум создают при помощь адсорбционного насоса путем охлаждения насоса до температуры жидкого азота, герметизации вакуумной камеры и соединения вакуумной камеры с входом насоса. Причем после герметизации вакуумной камеры до соединения ее с входом насоса осуществляется сушка воздуха в вакуумной камере. 1 ил. | 2099598 патент выдан: опубликован: 20.12.1997 |
|
| АДСОРБЦИОННЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС Использование: в вакуумной технике и различного рода откачном и течеискательном оборудовании. Сущность изобретения: позволяет сократить время откачки и повысить предельный вакуум при работе насоса в режиме криоадсорбционной ловушки за счет конструктивного удлинения пути молекул откачиваемых газов развитыми адсорбирующими поверхностями, образующими форвакуумную полость 11 и сообщающуюся с ней высоковакуумную полость 12. Для образования этих полостей применяется адсорбент 14 на сосуде 3 с хладагентом 4, охлаждаемые криопанель 7 с закрепленными с двух сторон адсорбентом 9 и 10 и стакан 5 с закрепленным адсорбентом 6. Направляемые в насос газы адсорбируются по мере продвижения по откачивающим полостям, а также трудноадсорбируемые газы, как гелий, водород, неон поступают в полость корпуса 1 и откачиваются внешним высоковакуумным насосом. В результате обеспечивается низкое парциальное давление гелия и других газов уже при форвакуумном режиме откачки, что сокращает общее время вакуумирования, например, при выполнении течеискания масс-спектрометрическим методом. 2 з.п. ф-лы, 2 ил. | 2094656 патент выдан: опубликован: 27.10.1997 |
|
| ГАЗОПРОНИЦАЕМЫЙ ЭКРАН КРИОАДСОРБЦИОННОГО НАСОСА Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к криоадсорбционным вакуумным насосам. Сущность изобретения: позволяет увеличить производительность насосов и исключить попадание мелкодисперсного адсорбента в откачиваемые полости за счет выполнения газопроницаемого экрана составным из верхней 1 и нижней 2 подложек, перфорированных отверстиями 4 и 5 с газопроницаемой прокладкой 3 из стекловолокна между ними. Благодаря теплоизоляции подложек между собой удается разделить их функции и использовать нижнюю 2 для охлаждения адсорбента 10, а верхнюю 1 -для защиты от внешних теплопритоков, что улучшает откачные характеристики криоадсорбционных насосов. 2 з.п. ф-лы, 2 ил. | 2094655 патент выдан: опубликован: 27.10.1997 |
|