Приспособления к измерительным устройствам, отличающиеся оптическими средствами измерения: ..для измерения радиуса кривизны – G01B 11/255

Способ определения остаточной сферичности отражающей поверхности относится к измерительной технике и может быть использован для определения остаточной сферичности плоских зеркал и радиусов кривизны крупногабаритных сферических зеркал. Способ заключается в том, что измерительный прибор устанавливают в рабочее положение перед отражающей поверхностью, расположенной в вертикальной плоскости, и настраивают на автоколлимационное изображение, причем в качестве измерительного прибора используют, по меньшей мере, один автоколлимационный теодолит, остаточную сферичность определяют по измеренным значениям углов, считанным по вертикальному кругу теодолита при совмещении сетки теодолита с ее автоколлимационным изображением, измерение углов проводят для двух точек отражающей поверхности, максимально разнесенных на поверхности и расположенных на одной вертикали, а остаточную сферичность рассчитывают по формуле:

где: d - разница высот установки теодолита относительно Земли, м

, - значения углов вертикального круга теодолита при совмещении сетки теодолита с ее автоколлимационным изображением для верхнего и нижнего положения теодолита соответственно, град. Технический результат - сокращение времени определения остаточной сферичности за счет сокращения времени, необходимого на сборку измеряющей схемы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение может быть использовано для определения фокусного расстояния вогнутой оптической сферической поверхности при контроле и настройке оптических элементов. В способе автоколлимационный микроскоп фокусируют в центр кривизны вогнутой оптической сферической поверхности при ее неподвижном положении и неподвижном автоколлимационном микроскопе. Методом оптической дальнометрии с помощью оптического пучка, проходящего по тому же оптическому тракту, что и визуальный пучок автоколлимационного микроскопа, определяют дальность до вогнутой оптической сферической поверхности. Устанавливают в центр кривизны вогнутой оптической сферической поверхности предмет и определяют дальность до этого предмета также методом оптической дальнометрии, с помощью оптического пучка, проходящего по тому же оптическому тракту, что и визуальный пучок автоколлимационного микроскопа. Находят разницу между этими двумя дальностями, которая и будет радиусом кривизны вогнутой оптической сферической поверхности. Технический результат - уменьшение неопределенности определения радиуса в условиях невозможности использования точной направляющей.

Тестовая структура для оценки радиуса кривизны острия иглы кантилевера сканирующей зондовой микроскопии состоит из основания, на котором размещены вертикально расположенные острия. Основание содержит приповерхностный слой, имеющий рельефную ячеистую структуру с плотной упаковкой, соседние ячейки имеют общую стенку. Каждая ячейка является, как минимум, пятистенной, стенки каждой ячейки расположены вертикально, верхние кромки стенок ячеек имеют вогнутую форму. Острия выполнены соединением в узловых местах трех верхних кромок стенок различных ячеек, радиус кривизны вершин острий от 1 до 3 нм, высота острий от 20 до 100 нм. Расстояние между отдельными остриями от 10 до 500 нм, приповерхностный слой основания выполнен из алюминия. Основание представляет собой подложку, на которой расположена тонкая пленка алюминия, содержащая приповерхностный слой основания. Подложка выполнена из монокристаллического кремния. Технический результат - повышение воспроизводимости в оценке радиуса кривизны игл кантилеверов. 3 з.п. ф-лы, 6 ил.

Способ заключается в том, что контролируемую поверхность устанавливают в интерферометр в конфокальное положение, принимая его за нулевой отсчет. Затем перемещают дважды контролируемую поверхность на произвольную величину, при этом измеряют датчиком перемещений величину перемещения контролируемой поверхности и регистрируют количество интерференционных полос в интерференционной картине с помощью цифровой обработки интерферограмм. Радиус кривизны контролируемой поверхности рассчитывают по предлагаемой формуле. Технический результат - повышение точности измерения радиуса кривизны, посредством уменьшения величины перемещения контролируемой детали и уменьшения погрешности фиксации положения детали. 3 ил.