Измерительные устройства, отличающиеся использованием волновых излучений или потоков элементарных частиц: .для измерения шероховатости или неровности поверхностей – G01B 15/08

МПКРаздел GG01G01BG01B 15/00G01B 15/08
Раздел G ФИЗИКА
G01 Измерение
G01B Измерение длины, толщины или подобных линейных размеров; измерение углов; измерение площадей; измерение неровностей поверхностей или контуров
G01B 15/00 Измерительные устройства, отличающиеся использованием волновых излучений или потоков элементарных частиц
G01B 15/08 .для измерения шероховатости или неровности поверхностей

Патенты в данной категории

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

Изобретение относится к использованию мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов, в частности для аттестации оптических элементов дифракционного качества. Устройство содержит установленные на плите трехкоординатный прецизионный стол с размещенными на нем рентгеновской трубкой, излучающей в мягком рентгеновском диапазоне, и ионным источником для чистки мишени, камеру монохроматора с установленными в ней монохроматором и монитором интенсивности зондирующего пучка, и камеру для исследуемых образцов с размещенным в ней пятиосным гониометром. Камера монохроматора и камера для исследуемых образцов соединены между собой через первый шибер, в качестве монохроматора использован сферический объектив Шварцшильда, камера монохроматора соединена с магниторазрядным насосом, а камера для исследуемых образцов через второй шибер последовательно соединена с турбомолекулярным и форвакуумным безмасляным насосами, соответственно. Технический результат - повышение интенсивности квазипараллельного пучка мягкого рентгеновского излучения на исследуемом образце и возможность изучения шероховатости образцов с криволинейной формой поверхности. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

2524792
патент выдан:
опубликован: 10.08.2014
СПОСОБ ОЦЕНКИ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ ХОЛОДНОКАТАНОЙ ЛИСТОВОЙ СТАЛИ

Изобретения относится к способу оценки поверхности холоднокатаной стали. Способ включает вырезку образца для испытаний, зачистку предполагаемого дефекта и осмотр поверхности образца. При этом образец вырезают по всей ширине листа и помещают на контрольном столе выпуклостью вверх. Зачистку дефекта осуществляют наждачным бруском на ширине 200-500 мм и поперек расположения дефекта. Зона зачистки должна быть однородной, без явно выраженных участков разной шероховатости, а зачищаемую поверхность рассматривают под разными углами к ней при освещенности не менее 300 люкс. Достигаемый при этом технический результат заключается в обеспечении своевременного выявления дефектов и повышения выхода качественного проката потребителям.

2377528
патент выдан:
опубликован: 27.12.2009
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФРАКТАЛЬНОЙ РАЗМЕРНОСТИ ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ

Изобретение относится к способам измерения геометрических свойств твердых тел, в частности оценки их шероховатости. Способ определения фрактальной размерности шероховатой поверхности твердых тел включает в себя измерение ее площади с помощью мер различной величины, построение зависимости площади поверхности от площади использованных мер и определение наклона полученной зависимости, по величине которого судят о фрактальной размерности. При этом для определения площади поверхности, измеренной мерой заданной величины, на исследуемую поверхность направляют пучок электронов, устанавливают размер его поперечного сечения, обеспечивающий требуемую площадь меры. Далее разворачивают пучок в растр, измеряют ток истинно вторичных электронов, находят его среднее и минимальное значения и определяют произведение площади растра на отношение среднего к минимальному значению тока истинно вторичных электронов, по которому судят о площади шероховатой поверхности, измеренной заданной мерой. Технический результат - повышение точности определения фрактальной размерности, достоверности измерений, экспрессности. 4 ил.

2352902
патент выдан:
опубликован: 20.04.2009
РЕНТГЕНОПРОФИЛОГРАФ АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ

Использование: для контроля формирования микрорельефа поверхностного слоя в процессе абразивной обработки. Сущность заключается в том, что рентгенопрофилограф активного контроля содержит источник рентгеновского излучения, пучок от которого пропускается через кристаллический резонатор для получения монохроматического рентгеновского излучения, после чего направляется на кристаллическое зеркало, с помощью которого получают два пучка - объектный и опорный, опорный пучок направляется системой элементов дифракционной оптики: кристаллическое зеркало, коллиматор, непосредственно на регистрирующую среду - кристалл-анализатор, а объектный пучок, пройдя через коллиматор, попадает на движущийся объект, проходит через коллиматор, отражательный рентгеновский микроскоп, осуществляющий увеличение трехмерной интерференционной картины при регистрации голографического изображения исследуемого объекта, попадает на кристалл-анализатор, в результате интерференции волн опорного и объектного пучков за кристаллом-анализатором можно получить голографическое, изменяющееся во времени, изображение движущегося объекта, при этом коллиматор, через который проходит объектный пучок и далее попадает на движущийся объект, основан на восьмилучевой дифракции, а микрогеометрия исследуемого объекта визуализируется при помощи трехмерной матрицы. Технический результат: обеспечение возможности осуществления контроля за формированием микрорельефа поверхностного слоя детали в процессе абразивной обработки и исследования механизма процессов, сопутствующих формированию микрорельефа. 1 ил.

2304272
патент выдан:
опубликован: 10.08.2007
РЕНТГЕНОПРОФИЛОГРАФ

Использование: для неразрушающего контроля пористой структуры связки абразивного инструмента. Сущность изобретения заключается в том, что рентгенопрофилограф содержит источник рентгеновского излучения, кристаллический резонатор для получения монохроматического рентгеновского излучения, кристаллические зеркала для разделения и изменения направления распространения рентгеновского излучения, фокусирующие кристаллические системы - коллиматоры, регистрирующую среду - кристалл-анализатор для получения интерференции волн, прошедших различные пути, при этом один из двух полученных пучков рентгеновского излучения, имеющих различные направления, являющийся опорным, направляется системой элементов дифракционной оптики: кристаллическое зеркало, коллиматор непосредственно на регистрирующую среду - кристалл-анализатор, а другой пучок рентгеновского излучения, являющийся объектным, проходя по другому пути через коллиматор, падает на объект, голограмму которого регистрируют, далее вновь проходит через еще один коллиматор, отражательный рентгеновский микроскоп, после чего также попадает на кристалл-анализатор, для измерений используется электронно-оптический преобразователь, при этом увеличение трехмерной интерференционной картины осуществляется отражательным рентгеновским микроскопом при регистрации голографического изображения микрорельефа пористой структуры связки абразивного инструмента. Технический результат: увеличение точности измерений, снижение оперативного времени регистрации профиля микрорельефа. 1 ил.

2258203
патент выдан:
опубликован: 10.08.2005
РЕНТГЕНОВСКИЙ РЕФЛЕКТОМЕТР

Изобретение относится к области рентгенотехники и может применяться для контроля плотности, состава и толщины тонких пленок и поверхностных слоев, а также для определения шероховатости поверхности. Рентгеновский рефлектометр содержит источник полихроматического рентгеновского излучения, средства коллимации рентгеновского пучка, держатель образца, поворотный кронштейн, ряд монохроматоров и прерыватель. Монохроматоры и прерыватель размещены на указанном поворотном кронштейне. Рефлектометр также имеет средства детектирования излучения и средства электронной обработки сигналов, которые содержат канал с амплитудной дискриминацией импульсов. Первый по ходу анализируемого пучка монохроматор является полупрозрачным. Изобретение позволяет повысить точность измерения. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
2176776
патент выдан:
опубликован: 10.12.2001
РЕНТГЕНОВСКИЙ РЕФЛЕКТОМЕТР

Изобретение относится к области рентгенотехники и может использоваться для контроля плотности, состава, толщины пленок, а также для определения параметров кристаллической структуры. Устройство содержит источник полихроматического рентгеновского излучения, средства коллимации рентгеновского пучка, держатель образца, поворотный кронштейн и средства детектирования излучения. На поворотном кронштейне размещен ряд монохроматоров. Перед держателем образца установлен второй источник излучения. Между источниками излучения и держателем образца установлен полупрозрачный монохроматор. Устройство позволяет одновременно облучать указанный монохроматор с противоположных сторон под разными углами. Изобретение позволяет проводить измерения на трех или более спектральных линиях и обеспечивает высокую точность и производительность измерений. 3 з.п.ф-лы, 6 ил.
2166184
патент выдан:
опубликован: 27.04.2001
РЕНТГЕНОВСКИЙ РЕФЛЕКТОМЕТР

Рентгеновский рефлектометр может быть использован для контроля шероховатости оптически гладких поверхностей, состава и толщины тонких пленок, а также для определения толщины и плоскостности подложек. Рефлектометр содержит источник рентгеновского излучения, два формирователя рентгеновских пучков, каждый из которых состоит из дифракционного элемента с собственной осью поворота и средства коллимации, держатель образца, выполненный с возможностью поворота вокруг собственной оси, и координатно-чувствительный детектор излучения. Предложенная схема размещения дифракционных элементов, держателя образца и средств коллимации обеспечивает формирование двух веерных пучков, сходящихся под углом 0,001-0,01 рад в зоне держателя образца. По сравнению с известными устройствами заявляемый рефлектометр повышает производительность контроля и снижает трудоемкость угловой настройки. Кроме того, обеспечивается возможность определения толщины и плоскостности контролируемых образцов. 5 з.п. ф-лы, 11 ил.
2129698
патент выдан:
опубликован: 27.04.1999
СПОСОБ ОПЕРАТИВНОГО КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ СВЕРХГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ БОЛЬШИХ РАЗМЕРОВ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОГО СКАНИРОВАНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Изобретение относится к области контроля сверхгладких поверхностей с манометровым уровнем шероховатости. Способ контроля шероховатости включает направление на исследуемую поверхность коллимированного пучка лучей рентгеновского излучения под углом скольжения = c-(c+0,4o), где c - критический угол, сканирование пучком рентгеновского излучения по исследуемой поверхности, измерение интенсивности отраженного излучения при помощи линейки фотодиодов и определение величины шероховатости по измеренным параметрам. Устройство для контроля шероховатости включает источник рентгеновского излучения с коллиматором, сканирующую платформу для размещения образца с исследуемой поверхностью и линейку фотодиодов для измерения интенсивности отраженного от исследуемой поверхности рентгеновского излучения. Источник рентгеновского излучения с коллиматором установлен относительно исследуемой поверхности с обеспечением угла скольжения коллимированного рентгеновского излучения = c-(c+0,4o), где c - критический угол. Изобретение позволяет увеличить площадь, обследуемую за одно измерение до 104 мм2, а также улучшить пространственную разрешающую способность до величины порядка 1 мм. 2 с. и 11 з.п. ф-лы, 12 ил.
2128820
патент выдан:
опубликован: 10.04.1999
РЕНТГЕНОВСКИЙ РЕФЛЕКТОМЕТР

Использование: в измерительной технике, а более конкретно прибор может быть использован для контроля плотности, состава и толщины тонких пленок, а также для определения шероховатости поверхности. Сущность изобретения: рентгеновский рефлектометр содержит источник полихроматического рентгеновского излучения 1, средства коллимации рентгеновского пучка 2, держатель 3 образца 4, выполненный с возможностью вращения вокруг собственной оси, поворотный кронштейн 15, для которого предусмотрена возможность вращения вокруг оси, совпадающей с осью держателя образца, средства измерения углов поворота держателя 3 образца 4 и поворотного кронштейна 15, размещенные на поворотном кронштейне монохроматор 7 и детектор 12, причем монохроматор выполнен с возможностью поворота вокруг собственной оси, а для детектора 12 предусмотрена возможность изменения угла поворота относительно монохроматора 7. На поворотном кронштейне размещены также второй монохроматор 8, выполненный с возможностью поворота вокруг собственной оси и детектор 13, для которого предусмотрена возможность изменения угла поворота относительно второго монохроматора 8, причем второй монохроматор 8 расположен за первым 7 по ходу рентгеновского пучка, а первый монохроматор 7 является полупрозрачным по меньшей мере в одном из рабочих участков спектра. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
2104481
патент выдан:
опубликован: 10.02.1998
Наверх