Приспособления к измерительным устройствам, отличающимся механическими средствами измерения: ...контактные чувствительные головки к ним – G01B 5/012

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к профилометрии, топографии. Устройство для измерения формы поверхности трехмерного объекта в координатах X, Y, Z включает матрицу зондов, в нижней части которых жестко закреплен щуп, а в верхней части - светоотражательный элемент, размещенных в обойме с множеством направляющих, расположенных в узлах двумерной сетки с известными координатами точек контакта щупов каждого зонда относительно центра обоймы, позволяющих каждому зонду свободно двигаться вдоль оси Z, причем двумерная сетка может быть произвольной геометрической формы. Также включает механизм перемещения трехмерного объекта и обоймы для вычисления формы поверхности исходного объекта на основании данных о координатах X, Y, Z, ЭВМ, плоский опорный оптический элемент, оптическое устройство в виде интерферометра для измерения расстояния в Z направлении между отражательной поверхностью зондов и плоским опорным оптическим элементом, содержащее источник когерентного света, оптическую систему, формирующую широкий параллельный пучок света, диаметр которого превышает размер области задания двумерной сетки, светоделитель, матричный фотоприемник, на котором с помощью объектива формируется изображение светоотражающих элементов из матрицы зондов. Технический результат заключается в обеспечении возможности измерения формы поверхности трехмерных объектов в динамике и в повышении точности измерений. 35 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к профилометрии, топографии. Способ измерения формы поверхности трехмерного объекта заключается в использовании матрицы зондов, содержащих в верхней части жестко закрепленные светоотражательные элементы, размещенных в обойме с множеством параллельных направляющих, расположенных в узлах двумерной сетки с известными координатами X_i,Y_i точек контакта каждого зонда относительно центра обоймы, позволяющих каждому зонду свободно двигаться вдоль оси Z, перпендикулярной измеряемой поверхности. Предварительно осуществляют калибровку матрицы зондов по высоте путем измерения координат Z_i каждого зонда в положении контакта всех зондов с эталонной плоской гладкой поверхностью, нормаль к которой совпадает с Z направлением. При взаимном перемещении исходного трехмерного объекта и обоймы с матрицей зондов в плоскости XY измеряют координаты X_o,Y_o центра обоймы и координат Z_oi каждого зонда в положении контакта всех зондов с объектом, формы поверхности вычисляют на основании данных о разности указанных выше координат X_o-X _i, Y_o-Y_i, Z_oi-Z_i и повторяют измерения при необходимости. Технический результат заключается в обеспечении возможности измерения формы поверхности динамических объектов, в повышении точности измерений высоты трехмерных объектов и в уменьшении времени сканирования. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к координатно-измерительной машине для определения пространственных координат на объекте измерения. Сущность: машина содержит измерительную головку с измерительным датчиком. Измерительная головка имеет возможность перемещения относительно объекта измерения. На измерительной головке крепится контактный щуп (28) для прикосновения к объекту измерения. Контактный щуп (28) присоединен к измерительной головке (26) посредством пассивного поворотно-наклонного механизма (60), обеспечивающего возможность изменения положения контактного щупа в пространстве. Этот пассивный поворотно-наклонный механизм (60) содержит передачу (86, 92), имеющую входную и выходную стороны, причем с выходной стороны передача связана с контактным щупом (28) с возможностью изменения положения контактного щупа (28) относительно измерительной головки (26), а с входной стороны - имеет по меньшей мере одно место доступа (88) для приложения внешнего движущего момента для изменения положения контактного щупа (28). Технический результат - повышение гибкости машины, быстроты и точности измерения на объектах с множеством различных точек измерений. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 8 ил.

Изобретение относится к центрирующему устройству, в частности, для индикаторного измерительного прибора. Техническим результатом является создание пригодного, в частности, для индикаторного измерительного прибора центрирующего устройства, более простого в изготовлении. Центрирующее устройство содержит корпус (3), который определяет ось (7) корпуса, несущий хвостовик (41), который определяет ось (43) хвостовика, и центрирующий держатель (45), который удерживает корпус (3) с параллельной оси (43) хвостовика осью (7) подвижно радиально к ней, однако с возможностью фиксации на несущем хвостовике (41). Центрирующий держатель (45) выполнен в виде параллелограммной направляющей с параллелограммной рычажной зоной, распределенной вокруг оси (43) хвостовика и оси (7) корпуса и проходящей вдоль этих осей (7, 43), или несколькими такими зонами. Такая параллелограммная направляющая может быть отформована за одно целое на несущем хвостовике (41) и/или корпусе (3), что снижает производственные затраты. Распределенные по периферии параллелограммной направляющей регулировочные винты (69) обеспечивают юстировку оси (43) хвостовика относительно оси (7) корпуса. 10 з.п. ф-лы, 2 ил.