Устройства, отличающиеся оптическими средствами измерения: .измерительные микроскопы – G01B 9/04

Изобретение относится к микроскопии. Согласно способу формирование изображения микрообъекта реализуют при помощи конфокального сканирующего микроскопа. При этом в процессе фокусировки излучения на плоскость исследования и в процессе фокусировки излучения на приемной щелевой диафрагме обеспечивают изменение размеров дифракционного максимума изображения каждой точки в плоскости фокусировки, сужая его в одном направлении по отношению к другим направлениям. Производят дополнительное сканирование исследуемого микрообъекта в нескольких различных направлениях, одновременно регистрируя координаты перемещения исследуемого микрообъекта и фотоэлектрические сигналы. Ориентацию направления сужения дифракционного максимума и щелевых диафрагм оставляют неизменной относительно направления сканирования. Производят совместную электронную обработку фотоэлектрических сигналов, зарегистрированных в первичном и дополнительных направлениях сканирования, и соответствующих им координат перемещения исследуемого микрообъекта. Технический результат - улучшение детализации (повышение разрешения) изображения исследуемого микрообъекта. 4 н. и 16 з.п. ф-лы, 4 ил.

Измерения производят путем последовательной фокусировки микроскопа на объекты, лежащие в разных плоскостях по оси микроскопа. В направлении нормали к поверхности столика определяют положение оптической системы относительно столика по показаниям отдельного отсчетного устройства при произвольно выбранном начале отсчета. Для этого используют жестко и однозначно связанные в указанном направлении со столиком и оптической системой измерительные базы. Перемещая образец относительно оптической системы в плоскости стола, последовательно производят фокусировку и снятие показаний во всех заданных точках первой исследуемой поверхности, после чего удаляют образец. Не изменяя настройки отсчетного устройства, производят фокусировку и снятие показаний в заданных точках следующей поверхности другого образца. Соответственно размеры образца или его износ, или разность размеров образцов определяют как разность показаний отсчетного устройства в соответствующих точках поверхностей. Технический результат - расширение сферы использования бесконтактных методов, применяемых для измерений высоты неровностей, на измерения износа и образца, как целого. 2 с. и 6 з.п. ф-лы, 3 ил.