Гироскопы, поворотно-чувствительные устройства с колеблющимися массами, Поворотно-чувствительные устройства без движущихся масс: .поворотно-чувствительные устройства с колеблющимися массами, например с камертоном – G01C 19/56

Изобретение относится к области геофизики и может быть использовано при проведении сейсморазведочных работ. Предложен способ сейсмических исследований, а также устройство и система для его осуществления. Способ предполагает возможность приема данных движения частиц и скорости вращения. Данные скорости движения частиц используются для получения характеристик волнового поля, а данные скорости вращения предназначены для отображения характеристик градиента волнового поля. Устройство включает в себя расстановку сейсмических сенсорных блоков, которые выполнены с возможностью осуществления измерений в связи с сейсмической разведкой, производимой на поверхности. Каждый сейсмический сенсорный блок включает в себя датчик движения частиц и датчик вращения. По найденным значениям характеристик волнового поля и градиента волнового поля строится изображение исследуемой геологической среды. Технический результат - повышение точности разведочных данных. 4 н. и 14 з.п. ф-лы, 13 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к гироскопии и может быть использовано в приборостроении, авиакосмической отрасли и машиностроении. В вибрационном вакуумном гироскопе магнитная система содержит немагнитное центрирующее кольцо, установленное на магните, верхний магнитопровод установлен по посадке на немагнитное центрирующее кольцо, опора кремниевого резонатора установлена на немагнитную подложку по посадке с нижним магнитопроводом, при этом поверхности магнита, центрирующего кольца, нижнего и верхнего магнитопроводов, немагнитной подложки, кремниевого резонатора и опоры резонатора собраны без образования внутренних полостей. Изобретение позволяет повысить технологичность изготовления гироскопа. 3 ил.

Изобретение относится к сенсорам физико-химических или биохимических воздействий, в частности к области инфракрасной техники, а именно к преобразователям теплового излучения в электрический сигнал. В адаптивном датчике на основе чувствительного полевого прибора, содержащем структуру «металл-диэлектрик-полупроводник» с полупроводниковой подложкой и подвижным проводящим электродом на консоли, включающей слои с различными коэффициентами термического расширения, размещены затвор и p-n переход для ввода электрического сигнала. Это позволяет изменять заряд в структуре «металл-диэлектрик-полупроводник» и тем самым управлять подвижным электродом, удерживая его в оптимальном, для работы датчика, положении. Техническим результатом изобретения является реализация адаптивного датчика на базе термочувствительного полевого прибора и повышение его чувствительности, точности измерения и быстродействия. 4 ил.

Изобретение относится к вибрационным гироскопам. Гироскопическая система содержит по меньшей мере четыре вибрационных гироскопа, выполненных с возможностью изменения положения вибрации. Первое измерение обеспечивается калибруемым гироскопом, и второе измерение обеспечивается комбинацией соответствующих измерений от других гироскопов системы, при этом эти первое и второе измерения выполняются по одной и той же оси измерения. После определения значения ухода измерения между первым измерением и вторым измерением следует команда на изменение положения вибрации калибруемого гироскопа в другое положение вибрации и значение ухода определяется еще раз. Команда на изменение положения вибрации и определение значения ухода повторяется K раз, где K - положительное целое число. Затем на основе полученных значений ухода формируется модель ухода в зависимости от положения вибрации калибруемого гироскопа. Изобретение позволяет повысить точность калибровки. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в приборах навигационных систем. Устройство содержит чувствительный элемент, выполненный в виде диска, на котором на верхней поверхности нанесено восемь проводящих электродов-секторов, а на нижней выполнен сплошной электрод. Первый электронный преобразователь, вход которого соединен с двумя диаметрально противоположными возбуждающими электродами-секторами, а выход с двумя диаметрально противоположными возбуждающими электродами-секторами, размещенными крест на крест относительно первых. Второй электронный преобразователь, вход которого соединен с двумя измерительными электродами-секторами, расположенными под углом 45° к возбуждающим электродам-секторам, а выход второго преобразователя соединен с оставшимися двумя электродами-секторами обратной связи и является выходом пьезогироскопа, центральный штыревой электрод, одним концом соединенный с неподвижным основанием (подложкой), на втором конце электрода укреплен пьезодиск. При этом в пьезодиске выполнено N сквозных отверстий вокруг электрода крепления пьезодиска к неподвижной подложке. Технический результат - повышение чувствительности пьезогироскопа в режиме изменения угловой скорости. 1 ил.

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. Измеритель угловой скорости содержит два микромеханических гироскопа (ММГ), акселерометр и устройство преобразования сигналов. Устройство преобразования сигналов включает в себя коммутатор сигналов и анализатор спектра, вход которого соединен с выходом акселерометра. Входы коммутатора сигналов соединены с выходами первого и второго ММГ, а выход коммутатора является выходом устройства измерения угловой скорости, выход анализатора спектра соединен с входом управления коммутатором. Оба ММГ относятся к гироскопам RR-типа, и разность их резонансных частот подвеса по оси первичных колебаний составляет не менее 10% от резонансной частоты одного из них. Изобретение обеспечивает повышение точности и надежности при действии значительных вибрационных воздействий. 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 1 табл.

Изобретение относится к навигационной технике. Гироскоп содержит диск, закрепленный с помощью упругого подвеса и установочной пластины, датчик момента возбуждения, два емкостных датчика угла, предназначенных для измерения колебаний диска вокруг осей, нормальных оси крутильных колебаний (выходных осей гироскопа), два компенсационных датчика момента. Датчик момента возбуждения имеет на поверхности диска печатные обмотки с радиально ориентированными прямолинейными участками, которые находятся в магнитном поле, образованном укрепленными в корпусе гироскопа постоянными магнитами, имеющими обращенные к диску разноименные полюса. Спиральные печатные обмотки компенсационных датчиков находятся в магнитном поле, образованном укрепленными в корпусе гироскопа постоянными магнитами, имеющими обращенные к диску одноименные полюса. Гироскоп содержит также регулирующую систему, позволяющую поддерживать постоянство угловой скорости крутильных колебаний диска, системы обратной связи, компенсирующие колебания диска вокруг выходных осей. Изобретение обеспечивает возможность регулировки квадратурных составляющих сигнала гироскопа. 12 з.п. ф-лы, 18 ил.

Изобретение относится к гироскопическому приборостроению. Осесимметричный кориолисовый вибрационный гироскоп включает в себя тонкостенный резонатор полусферической, или цилиндрической, или тороидальной формы, закрепленный по центру на ножке и выполненный с отверстиями в дне резонатора, расположенном вокруг указанной ножки, количество которых определено по формуле "4nk", где "k" - целое число, "n" - порядок мод колебаний, а угол между двумя соседними отверстиями равен . Ножка вьшолнена вдоль своей продольной оси симметричной и закреплена на основании, а основание выполнено с посадочным местом для ножки резонатора и электроизолированными гермовыводами, выведенными через основание наружу и пропущенными через упомянутые отверстия и отвертсия в стенке резонатора для присоединения к элементам электронной платы. Изобретение позволяет уменьшить габаритные размеры гироскопа без уменьшения размера резонатора. 3 н. и 8 з.п. ф-лы, 10 ил.

Изобретение относится к вибрирующим гироскопам, принцип работы которых основан на использовании эффекта силы Кориолиса. Гироскопическая система содержит вибрирующий гироскоп в качестве первого средства измерения угла, выполненный с возможностью осуществления первого измерения значений угла относительно оси измерения, и второе средство измерения, выполненное с возможностью осуществления второго измерения значений угла вдоль указанной оси измерения. Получают одновременно первые значения угла при помощи первого средства измерения угла, вибрирующего в текущем положении колебания, и вторые значения угла при помощи второго средства измерения угла; и из них выводят вторые скорректированные значения угла на основе сравнения первых и вторых значений угла. Затем подают команду на изменение положения колебания первого средства измерения угла из текущего положения в другое положение колебания. После этого получают одновременно первые значения угла при помощи первого средства измерения угла и вторые значения угла при помощи второго средства измерения угла; и из них выводят первые значения угла, скорректированные на основе сравнения первых и вторых значений угла. Изобретение позволяет повысить точность измерения угла. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам. Микромеханический гироскоп содержит инерционную массу, гребенчатый двигатель, устройства измерения перемещений инерционной массы, последовательно включенные фазовращатель, умножитель и фильтр низкой частоты, а также устройство с изменяемым коэффициентом передачи, реализующее следующую зависимость: Z=K·X·Y², где X, Y - соответственно сигналы на первом и втором выходах устройства преобразования сигналов; Z - выходной сигнал управления; К - коэффициент преобразования. При этом один вход устройства с изменяемым коэффициентом передачи соединен с выходом фильтра низкой частоты, а на второй вход поступает сигнал с выхода устройства измерения перемещений по оси вторичных колебаний, который позволяет определять синфазную и дифференциальную составляющую. Изобретение позволяет уменьшить влияние линейных ускорений, вибраций и температуры на точностные характеристики микромеханического гироскопа компенсационного типа. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике. Микросистемный гироскоп содержит чувствительный элемент, выполненный в виде сосредоточенной массы прямоугольной формы, подвешенный с помощью двунаправленных упругих подвесов, силовой электростатический преобразователь, сообщающий сосредоточенной массе колебательные движения, емкостный преобразователь перемещений, выявляющий движения массы под действием кориолисовых сил. Гироскоп содержит также корректирующее устройство и устройство шумоподавления. Изобретение обеспечивает высокую чувствительность к измерению угловой скорости и полную помехозащищенность от перекрестных влияний и может быть реализовано на любой диапазон измерений угловых скоростей. 3 ил.

Изобретение относится к резонатору датчика углового параметра, содержащему колокол из электроизоляционного материала, снабженный центральной ножкой, и электропроводящий слой, который содержит ветви, проходящие от центрального участка колокола до его периферического края, число которых является простым числом не меньше семи, что обеспечивает достаточную проводимость электрического тока и одновременно позволяет ограничить влияние проводящего слоя на механическое поведение колокола. 9 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к приборам ориентации, навигации и систем управления. Резонатор колебательной системы вибрационного гироскопа продольно-изгибного типа выполняется из монолитной радиально поляризованной пьезокерамики с девятью наружными и одним внутренним электродом, причем размеры резонатора выбираются из условия совпадения частот f_o основного продольного резонанса и второй моды изгибного резонанса. Изобретение обеспечивает способность гироскопа иметь одинаковую чувствительность к вращению вокруг двух осей. 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах осциляторного типа.

Техническим результатом является повышение точности гироскопа. Интегральный чувствительный элемент вибрационного гироскопа содержит стеклянное основание, чувствительный элемент-резонатор, выполненный в виде тонкостенного цилиндра из низкоомного монокристаллического кремния, схему возбуждения и съема сигнала. Возбуждающие и съемные преобразователи емкостного типа выполнены в виде гребенок, расположенных на внешней стороне тонкостенного цилиндра, равномерно по его периметру и внутренней стороне возбуждающих и съемных электродов.

Технический результат достигается посредством упрощения схемы и снижения погрешности с помощью емкостных преобразователей, осуществляющих возбуждение и съем сигнала, а также повышения эффективности использования емкостного преобразователя, создания фигуры колебаний без искажения и компенсации влияния вредных воздействующих факторов. Электроды, выполненные в виде гребенок, повышают эффективность использования емкостного преобразователя. Отсутствие упругих связей в плоскости возбуждения мод позволяет создать фигуру колебаний без искажения. Закрепление резонатора в нижней центральной его части компенсирует влияние вредных воздействующих факторов. 2 ил.

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа. В гироскопе сформирован канал демпфирования по оси продольного перемещения подвижной массы гироскопа за счет введения в гироскоп устройства измерения зазора между измерительными электродами и подвижным механическим элементом и звена коррекции частотной характеристики, что позволяет снизить добротность подвеса по оси продольного перемещения и повысить точность гироскопа при его работе в условиях вибраций и ударов, в которых под их действием может изменяться зазор между подвижной массой и электродами по оси вторичных колебаний. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость. В микромеханический гироскоп компенсационного типа между усилителем, соединенным с дифференцирующим звеном, и силовыми электродами по оси вторичных колебаний введено устройство с изменяемым коэффициентом передачи, второй вход которого соединен со вторым выходом устройства измерения перемещения по оси вторичных колебаний. При этом устройство с изменяемым коэффициентом передачи реализует зависимость

где X, Y и Z - соответственно сигналы на первом и втором входах и выходе устройства с изменяемым коэффициентом передачи. Изобретение позволяет повысить точность гироскопа за счет компенсации изменений межэлектродного зазора чувствительного элемента, вызванных влиянием температуры и линейных воздействий. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области гироскопов и может использоваться в волновых твердотельных гироскопах, работающих в режиме датчика угловой скорости. Чувствительный элемент гироскопа содержит тонкостенный цилиндр с днищем, элемент его крепления к основанию гироскопа и пьезоэлектрические элементы возбуждения и съема сигнала. Цилиндр выполнен с утолщенной верхней частью - кольцевым резонатором, днище и часть боковой поверхности цилиндра посредством пазов разбиты на сектора, а внутри каждого сектора выполнен паз с возможностью размещения в нем пьезоэлектрических элементов возбуждения и съема сигнала. Изобретение позволяет повысить чувствительность и точность гироскопа. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к приборам для измерения величины угловой скорости. Гироскоп содержит опорную рамку и, по крайней мере, одну инерционную массу. Инерционная масса закреплена с помощью упругих элементов на двух противоположных плечах опорной рамки, в которых вблизи мест крепления упругих элементов выполнены сквозные отверстия вытянутой формы и нанесены измерительные электроды, причем инерционная масса и упругие элементы выполнены заодно с опорной рамкой из пьезоэлектрического материала. Изобретение позволяет повысить точность измерения угловой скорости и чувствительность вибрационного гироскопа. 3 ил.

Изобретение относится к Кориолисову гироскопу, имеющему конструкцию, содержащую подложку (5, 22, 24, 26), по меньшей мере две отдельные структуры (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) и упругие элементы (например, 1, 2, 3, 21, 23, 25), которые связывают отдельные структуры (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) с подложкой (5, 22, 24, 26) и между собой, используя датчики силы (например, 514, 614, 714, 814) и ответвители (например, 534, 634, 734, 834), причем указанная конструкция имеет по меньшей мере одну моду (7) возбуждения, которая может быть возбуждена датчиками (например, 514, 614, 714, 814), силы и по меньшей мере одну моду (8) детектирования, которая может быть измерена ответвителями (например, 534, 634, 734, 834), при этом мода (7) возбуждения и мода (8) детектирования блокированы, в результате чего не может быть вызвано никакого искажающего возбуждения моды возбуждения и моды детектирования посредством линейных ускорений и/или вибраций, если необходимости учитывать производственные допуска. 13 з.п. ф-лы, 11 ил.

Датчик скорости вращения содержит подложку и две структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600), выполненные с возможностью перемещения относительно подложки на рабочей плоскости (х-y). Две подвижные структуры (100, 200, 300, 400, 500, 600) соединены, чтобы формировать связанную структуру, такую, что она имеет первую моду колебаний с отклонениями в противофазе подвижных структур в первом направлении (х) на рабочей плоскости (х-y) в качестве моды возбуждения и вторую моду колебаний в качестве моды детектирования, которая может быть возбуждена ускорениями Кориолиса при возбуждении первой моды колебаний и при вращении относительно оси (z) чувствительности датчика скорости вращения которая расположена под прямым углом к рабочей плоскости (х-y) датчика скорости вращения. Связанная структура выполнена таким образом, что при идеальных предварительных условиях в ней отсутствует мода колебаний, которая может быть возбуждена линейными ускорениями датчика скорости вращения в направлении, параллельном второй оси. Изобретение позволяет избежать ошибок измерения, возникающих на основе подвижных отдельных структур (100, 200, 300, 400, 500, 600) в случае датчиков скорости вращения при возникновении линейных ускорений. 12 з.п. ф-лы, 8 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники, а более конкретно к измерительным элементам линейного ускорения. Виброчастотный микромеханический акселерометр содержит подложку (1) из диэлектрического материала, инерционную массу (2) с центральным отверстием (3), опорные элементы (4) и дополнительный опорный элемент (5), закрепленные на подложке (1) и размещенные в центральном отверстии (3). Инерционная масса (2) связана с опорными элементами (4) через упругие элементы (6). Резонатор (7) закреплен с одной стороны к инерционной массе (2), а с другой стороны - к дополнительному опорному элементу (5), является подвижным электродом и совместно с неподвижными электродами (8) представляет собой систему возбуждения-регистрации колебаний. Акселерометр позволяет измерять величину действующего линейного ускорения в направлении оси Х с высокой точностью за счет частотного выходного сигнала и высокой добротности колебаний резонатора. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к способу эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика. Датчик содержит по меньшей мере один дифференциальный конденсатор, образованный двумя неподвижными электродами, между которыми упруго подвешен с возможностью смещения под действием внешней силы, которое может быть измерено, и подвижный центральный электрод. Способ эксплуатации емкостного датчика, согласно которому между неподвижными электродами и центральным электродом прикладывают одинаковые, но противоположно направленные возбуждающие напряжения, а отклонение центрального электрода измеряют, при этом компенсируют часть заряда, которая может быть снята с центрального электрода и которая соответствует электростатической восстанавливающей силе и именуется помехой восстановления. Технический результат - значительное повышение точности микроэлектромеханического датчика. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к приборам для измерения величины угловой скорости. Гироскоп по первому варианту и второму варианту содержит цилиндрический тонкостенный резонатор из пьезоэлектрического материала, на внутренней поверхности которого сформирован сплошной электрод, а на внешней поверхности сформированы две пары расположенных диаметрально противоположно сегментных электродов. Гироскоп по первому варианту содержит также два потенциометра, автогенератор и последовательно соединенные дифференциальный усилитель, синхронный детектор, сглаживающий фильтр и усилитель напряжения. Гироскоп по второму варианту содержит дополнительно потенциометр, автогенератор и последовательно соединенные дифференциальный усилитель, синхронный детектор, сглаживающий фильтр и усилитель напряжения. Изобретение позволяет повысить точность измерения угловой скорости и чувствительность пьезоэлектрического вибрационного гироскопа. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к определению скорости вращения осесимметричного вибрационного датчика, содержащего колебательный элемент, связанный с электродами управления и детекторными электродами. Способ включает оценку скорости вращения последовательно для числа N положений колебаний по отношению к электродам, при этом положение геометрически смещают на заранее определенный угол и колебания смещают от одного положения к другому путем подачи команды прецессии с использованием заранее установленного масштабного коэффициента. Определяют среднее значение из оценок скорости вращения для N положений, при этом число N положений и угол, разделяющий положения, определяют таким образом, чтобы среднее значение оценок позволяло устранить, по меньшей мере, одну компоненту гармонического ухода колебаний. Изобретение позволяет свести к минимуму погрешности ухода. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа. Техническим результатом изобретения является повышение точности гироскопа. Чувствительный элемент микромеханического гироскопа содержит основание, прямоугольную внутреннюю рамку, центр, соединенный четырьмя жесткими растяжками с внутренней рамкой, четыре подвижные массы, каждая из которых соединена с центром двумя упругими Г-образными подвесами, а с внутренней рамкой - шестью упругими Г-образными подвесами, внешнюю рамку, соединенную с внутренней рамкой четырьмя переходами. Дополнительно содержит перемычки, соединяющие Г-образные подвесы с внутренней рамкой и жесткими растяжками, расположенными в углах, местах сопряжения Г-образных подвесов с внутренней рамкой и жесткими растяжками. Внутренняя рамка с четырьмя жесткими растяжками выполнена с Х-образным поперечным сечением. 2 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к преобразователям угловой скорости в электрический сигнал. Чувствительный элемент вибрационного гироскопа содержит внешнюю подвижную и внутреннюю неподвижную части, соединенные между собой системой подвеса, в которой выполнены упругие элементы, каждый из которых содержит шесть сегментов. Четвертый, пятый и шестой сегменты расположены по другую сторону от проведенного из центра неподвижной части радиуса по сравнению с первым, вторым и третьим сегментами. Длины соответственно первого и четвертого сегментов, второго и пятого сегментов, третьего и шестого сегментов выполнены равными. Изобретение позволяет устранить угловые перемещения в чувствительном элементе вибрационного гироскопа при возбуждении радиальных колебаний подвижной части. 2 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к преобразователям угловой скорости в электрический сигнал. Резонатор вибрационного гироскопа содержит кольцевую подвижную часть и неподвижную часть, соединенные между собой системой подвеса, в которой выполнены упругие элементы, каждый из которых содержит четыре сегмента. Первый и второй сегменты расположены по другую сторону от проведенного из центра неподвижной части радиуса по сравнению с третьим и четвертым сегментами. Все сегменты расположены под одинаковым острым углом относительно радиуса. Длины всех сегментов выполнены равными. Изобретение позволяет устранить угловые перемещения кольцевой подвижной части при возбуждении радиальных колебаний кольцевой подвижной части. 2 ил.

Изобретение относится к микроэлектромеханическим датчикам, используемым в качестве кориолисовых гироскопов. Датчик (30) содержит по меньшей мере один подвижный электрод (29), электродную систему (31₁-31₄), отстоящую на некотором расстоянии от электрода (29) и содержащую электроды, выполненные с возможностью раздельного управления и подачи на них соответствующих электродных сигналов (u_o1, u_o2, u_u1 u_u2), которые могут быть использованы для установления и/или изменения электростатическим способом прикладываемой силы, жесткости и коэффициента усиления при считывании выходного сигнала подвижного электрода (29). Блок (32) выработки электродных сигналов, соединенный с электродной системой (31₁-31₄ ), вырабатывает электродные сигналы (u_o1, u_o2 , u_u1, u_u2) в зависимости от сигнала (f) прикладываемой силы, сигнала ( ) жесткости и сигнала (m) коэффициента усиления при считывании выходного сигнала и согласовывает электродные сигналы между собой таким образом, чтобы прикладываемая сила, жесткость и коэффициент усиления при считывании выходного сигнала подвижного электрода (29) могли быть установлены и/или изменены до конкретных требуемых значений независимо друг от друга. Изобретение позволяет расширить функциональные возможности датчика. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к относится к области навигационной техники и может найти применение при построении гиростабилизированных платформ в системах управления. Прецизионный гиростабилизатор содержит ротор обращенного типа с системой стабилизации и разгрузки моментов, действующих по осям внешней и внутренней рамок. Ротор имеет конструктивные особенности, в котором по взаимно перпендикулярным экваториальным осям инерции, на некотором, но равном удалении от оси вращения выполнены четыре выемки в форме сфер или цилиндров, заполненных жидкостью, в которых размещены поплавки, скрепленные через пьезокристаллы с внутренней частью основы ротора, при этом каждая пара пьезокристаллов, размещенная по диаметру ротора гироскопа, электрически согласована между собой и с одной из роторных обмоток преобразователя координат, которые закреплены неподвижно непосредственно на вращающемся роторе гиромотора. Технический результат - повышение точности и быстродействия в создании инерциальной системы координат, обеспечение угловой стабилизации по двум взаимно перпендикулярным осям и уменьшение габаритно-весовых характеристик прибора в целом. 2 ил.

Изобретение относится к малогабаритным вибрационным датчикам угловой скорости (ДУС), в частности к производству и технологии балансировки пьезоэлектрического балочного биморфного чувствительного элемента ДУС. Способ балансировки заключается в том, что чувствительный элемент возбуждают автогенератором на первой гармонике моды колебаний, перпендикулярных плоскости соединения половин биморфной балки, измеряют разность фаз и разность амплитуд сигналов с измерительных электродов чувствительного элемента при его колебаниях на указанной моде и сводят их к минимуму, выполняя пропилы лазерным лучом на чувствительном элементе со стороны возбуждающего электрода. Изобретение позволяет повысить производительность и точность балансировки, а также упростить определение и удаление несбалансированной массы биморфного чувствительного элемента вибрационного пьезокерамического ДУС. 2 з.п. ф-лы, 11 ил.