Гироскопы, поворотно-чувствительные устройства с колеблющимися массами, Поворотно-чувствительные устройства без движущихся масс: ...устройства, включающие в себя микромеханическую конструкцию – G01C 19/5656

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а именно к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. Гироскоп содержит диэлектрическую подложку и две инерционные массы, которые связаны с внутренней рамой через упругие балки. Внутренняя рама закреплена в наружной раме, а наружная рама закреплена в основании торсионами. Основание гироскопа расположено на диэлектрической подложке. Электростатический вибропривод образован пластинами электродов, которые расположены на гребенчатых структурах внутренней рамы и инерционных масс соответственно. Изобретение направлено на обеспечение возможности измерения величины угловой скорости вокруг осей Х и Y, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости диэлектрической подложки гироскопа. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в навигационно-пилотажных системах летательных аппаратов. Микрогироскоп выполнен по схеме линейного вибратора на корпусной пластине из проводящего монокремния и содержит два чувствительных элемента, включающих идентичные подвижные узлы, идентичные чувствительные массы и электронные блоки. Первому подвижному узлу придают два движения: угловое движение от действия внешних сил относительно оси чувствительности и линейное колебательное движение по поперечной оси для создания кориолисова ускорения, второму только одно - угловое движение по оси чувствительности от действия внешних сил. Первый чувствительный элемент измеряет кориолисово ускорение и возможные помехи по той же оси, второй чувствительный элемент измеряет только помехи по той же оси. Микрогироскоп содержит также вычитатель аналоговых сигналов, выход которого является выходом микрогироскопа. Изобретение обеспечивает повышение точности за счет снижения уходов микрогироскопа. 3 ил.

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа. Для измерителя угловой скорости вибрационные микромеханические гироскопы выбираются с разными резонансными частотами подвеса инерционной массы по оси первичных колебаний, а в качестве алгоритма преобразования сигналов микромеханических гироскопов используется алгоритм мажоритарного выбора. Кроме того, если число избыточных гироскопов равно двум, резонансные частоты подвесов гироскопов по оси первичных колебаний выбираются таким образом, что они отличаются одна от другой не менее чем на 10%. Изобретение обеспечивает повышение точности и надежности измерителя угловой скорости, построенного на основе нескольких однотипных микромеханических гироскопов, при действии значительных вибрационных воздействий. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.