Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью электрических или магнитных элементов, чувствительных к механическому давлению, передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, используемых для измерения давления с помощью электрических или магнитных средств: ..пьезорезистивных устройств – G01L 9/06

Изобретение относится к медицинской технике, а именно к устройствам диагностической кардиологической техники, и представляет собой измеритель пульсовой активности. Измеритель содержит пелот-преобразователь в форме полого короба, на внутренней крышке которого на осевом шарнире закреплено коромысло. На концах коромысла закреплены первый и второй МЭМС-акселерометры. Дно короба имеет два отверстия, одно из которых затянуто эластичной мембраной с металлизированной внутренней стороной, к центру которой прикреплен первый МЭМС-акселерометр. Внутри короба над эластичной мембраной жестко закреплен электрет кольцевой формы с металлизированной верхней плоскостью. Второе отверстие закрывает датчик давления. Выход первого МЭМС-акселерометра связан с прямым входом дифференциального усилителя. Выход второго МЭМС-акселерометра связан с инверсным входом дифференциального усилителя. Выход дифференциального усилителя связан с входом интегратора. Металлизированная внутренняя сторона эластичной мембраны и металлизированная верхняя плоскость электрета связаны с входами усилителя напряжения. Выход дифференциального усилителя является выходом сфигмограммы ускорения измерителя пульсовой активности. Выход интегратора является выходом сфигмограммы скорости измерителя пульсовой активности. Выход усилителя напряжения является выходом сфигмограммы перемещения измерителя пульсовой активности. Выход датчика давления является выходом давления пульсовой волны измерителя пульсовой активности. Использование изобретения расширяет функциональные возможности измерителя и позволяет использовать один измеритель для определения различных параметров пульсовой активности и их фазовых соотношения. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности, к технике измерения неэлектрических величин, а именно, к полупроводниковым датчикам давления. Сущность: мультипликативный микроэлектронный датчик давления содержит полупроводниковый кристалл с упругим элементом в виде выступа на его поверхности, по меньшей мере один чувствительный элемент, сформированный в выступе, концентратор, площадь которого больше площади выступа, соединенный с поверхностью выступа и предназначенный для преобразования измеряемого давления в усилие на упругий элемент. При этом выступ выполнен в виде замкнутой рамки, а жесткий концентратор выполнен в виде твердотельной пластины, причем соединение поверхности упомянутого выступа с упомянутым концентратором выполнено жестким и вакуумно-плотным. Во втором варианте технического решения данная задача достигается тем, что кристалл содержит два выступа на его поверхности в виде рамок одинаковых размеров, одна из которых замкнута, а другая содержит по меньшей мере один разрыв. Чувствительный элемент выполнен в виде четырех тензорезисторов, сформированных попарно в каждом из упомянутых выступов. Концентратор выполнен в виде твердотельной пластины, соединенной жестко и вакуумно-плотно с поверхностью выступа, выполненного в виде замкнутой рамки. Кроме того, упомянутый датчик давления снабжен второй твердотельной пластиной, идентичной по исполнению упомянутому концентратору и жестко соединенной с поверхностью выступа, содержащего по меньшей мере один разрыв. Технический результат изобретения заключается в повышении точности измерения постоянных давлений. 2 с.п. ф-лы, 18 ил.