Исследование устройств на герметичность: .с помощью жидких и газообразных веществ или вакуума – G01M 3/02

Изобретение относится к области исследований устройств на герметичность. Сущность: перед испытаниями определяют реакцию течеискателя (3) на фоновое содержание контрольного вещества в испытательной камере (1) с контролируемым изделием (2). Затем предварительно взвешенный проницаемый корпус (6) с контрольным веществом помещают в испытательную камеру (1) с контролируемым изделием (2) и выдерживают в течение времени накопления. Определяют реакцию течеискателя (3) на накопленное контрольное вещество. Извлекают проницаемый корпус (6) из испытательной камеры (1) и вновь взвешивают. Очищают испытательную камеру (1) до начального фонового содержания контрольного вещества. Заполняют полость изделия (2) контрольным веществом до требуемого давления и выдерживают в течение того же времени накопления. Определяют реакцию течеискателя (3) на контрольное вещество, накопленное в испытательной камере (1). По полученным данным рассчитывают величину негерметичности изделия (2). Технический результат: повышение точности результатов контроля герметичности за счет исключения влияния на результат испытаний адсорбции молекул контрольного вещества на поверхностях изделия и испытательной камеры. 3 ил.

Изобретение относится к области исследований устройств на герметичность и может быть использовано для испытания, например, ракетно-космической техники. Сущность: изделие помещают в испытательную вакуумную камеру. Удаляют из камеры и объема изделия атмосферный воздух. Наносят на внутренние поверхности изделия предварительно подогретый распыленный растворитель, обеспечивая образование на ней ламинарно стекающей пленки. Затем повышают давление подачей в объем изделия сухого газа и производят регистрацию и измерение потока паров растворителя, проникающих в объем испытательной вакуумной камеры. Технический результат: повышение эффективности, чувствительности и надежности обнаружения дефектов изделия. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к наполнению сосудов высокого давления газами в сжатом состоянии с измерением степени утечки газа. Система контроля герметичности включает пневмоблок, содержащий баллон высокого давления, сообщенный с зарядным краном и с магистралью подачи рабочего газа потребителю, снабженной устройством герметизации, источник гелия избыточного давления и источник рабочего газа высокого давления с магистралями подачи гелия и рабочего газа соответственно, выполненными с возможностью сообщения с зарядным краном пневмоблока, накопительную емкость для течи из пневмоблока, выполненную из тонкостенного эластичного материала с возможностью размещения в ней пневмоблока, снабженную окном для его прохода и устройством герметизации окна, масс-спектрометрический гелиевый течеискатель, снабженный линией отбора пробы со щупом с иглой Льюера и вакуумным насосом, сообщенным с линией отбора пробы через вентиль. Площадь свободной поверхности накопительной емкости после герметизации ее окна превышает площадь наружной поверхности пневмоблока. Система также содержит шприц тарированного объема с иглой для введения воздуха в полость накопительной емкости. Техническим результатом является упрощение эксплуатации пневмоблока и увеличение надежности сохранения его работоспособности при длительной эксплуатации. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к наполнению сосудов высокого давления газами в сжатом состоянии с измерением степени утечки газа и может найти применение в различных отраслях народного хозяйства, производящих и эксплуатирующих изделия и объекты с заряженными баллонами высокого давления. В состав рабочего газа при зарядке баллона пневмоблока вводят гелий в количестве, определяемом его парциальным давлением в баллоне, контроль герметичности пневмоблока осуществляют после зарядки баллона рабочим газом, путем измерения течи гелия масс-спектрометрическим гелиевым течеискателем, и в эксплуатацию отдают пневмоблоки, течь гелия из которых не превышает допустимой величины. Техническим результатом, на решение которого направлено изобретение, является упрощение эксплуатации пневмоблока и увеличение надежности сохранения его работоспособности при длительной эксплуатации. 2 ил.

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к способам и устройствам проверки качества герметизации транспортного средства при подготовке его к преодолению водной преграды по дну. Способ проверки качества герметизации заключается в определении мест неплотностей по звуку засасываемого внутрь транспортного средства воздуха, путем создания внутри загерметизированного транспортного средства разрежения. Места неплотностей дополнительно определяют в одной изолированной от внутреннего объема транспортного средства полости, предварительно образованной на надгусеничной полке транспортного средства. Полость соединена воздуховодом с внутренним объемом транспортного средства. Устройство для проверки качества герметизации содержит прибор для контроля разрежения внутри загерметизированного транспортного средства со шлангом отбора воздуха. Шланг соединяет прибор с внутренним объемом транспортного средства. Устройство снабжено системой для создания разрежения в одной изолированной от внутреннего объема полости, предварительно образованной на надгусеничной полке транспортного средства. Система выполнена в виде воздуховодов, соединенных посредством соединительных элементов между собой и с внутренним объемом транспортного средства. Достигается повышение достоверности проверки качества герметизации методом «разрежения» при подготовке транспортного средства к преодолению водных преград по дну. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники и может быть использовано во многих отраслях промышленности, связанных с использованием газообразных материалов, таких как газ или пар. Изобретение направлено на обеспечение возможности осуществлять непрерывный контроль любого утекающего газообразного материала одним универсальным устройством обнаружения утечки, что обеспечивается за счет того, что обнаружение утечки первого газа или пара осуществляется путем обнаружения изменения физического свойства второго газа или пара посредством устройства обнаружения утечки, включающего по меньшей мере один датчик для обнаружения изменения физического свойства второго газа или пара, причем датчик включает источник излучения и средство для измерения поглощения излучения вторым газом или паром. 2 н. и 20 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники и может быть использовано при испытаниях на герметичность систем ракетно-космической техники, содержащих в процессе штатной эксплуатации в ампулизированном состоянии рабочие жидкости, а также может найти применение в тех областях техники, где предъявляются высокие требования к надежности изделий по параметру «герметичность». Изобретение направлено на повышение чувствительности и надежности контроля герметичности, что обеспечивается за счет того, что изделие помещают в герметичную вакуумную испытательную камеру, заполняют полости изделия контрольной жидкостью и повышают ее давление, осуществляют выдержку под этим давлением, а затем измеряют количество накопленных в объеме камеры паров контрольной жидкости, оценивая величину ее утечки через сквозные микродефекты изделия. При этом согласно изобретению в качестве контрольной жидкости используют растворители - хлорфторуглеводороды, кроме того, перед заполнением контрольной жидкостью из полостей изделия удаляют атмосферный воздух, а после подачи в полости изделия контрольной жидкости в отвакуумированный объем испытательной камеры напускают сухой газ, с точкой росы не выше -40°С. 3 з.п.ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники. Устройство для исследования манжетных уплотнений состоит из корпуса с размещенными в нем основным и вспомогательным манжетными уплотнениями, контактирующего с ними исследуемого вала, электродвигателя привода вала и устройства для подачи жидкости в полость между двумя исследуемыми уплотнениями. Устройство снабжено системой непрерывной фиксации и обработки светового сигнала, включающей объектив с обоймой светодиодов ультрафиолетового излучения, управляемую диафрагму, прибор с зарядовой связью, усилитель, аналогово-цифровой преобразователь, блок управления и персональный компьютер, при этом жидкость имеет флюоресцирующие добавки, а манжетные уплотнения охватываются специальными упорными кольцами. Изобретение позволяет осуществлять непрерывный мониторинг и определять время от начала испытания манжетного уплотнения до нарушения его герметичности, и динамику изменения этого объема во времени, а также повышается надежность работы. 1 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники по проверке герметичности полых изделий и направлено на повышение качества их испытаний для повышения надежности при эксплуатации. Способ согласно изобретению позволяет исключить влияние диффузии молекул гелия через уплотнение технологической заглушки путем откачки молекул гелия из кольцевой полости вакуумного барьера. Для этого герметизированное изделие помещают в испытательную камеру, которую вакуумируют. Затем заполняют изделие гелием, откачивают воздух из кольцевой полости до достижения равновесного состояния с испытательной камерой, производят замеры течеискателя, определяют время начала процесса диффузии газа через уплотнение технологической заглушки и удаляют молекулы гелия из кольцевой полости вакуумным насосом. 2 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники и предназначено для применения в космической отрасли при испытании космических аппаратов (КА), а также может быть использовано в атомной, химической промышленности, в различных отраслях машиностроения. Изобретение направлено на повышение точности и производительности контроля, а также на расширение диапазона выявляемых утечек в сторону меньших течей с осуществлением прямого измерения утечки с наибольшей точностью при минимальном объеме необходимых расчетов, что обеспечивается за счет того, что изделие размещают в вакуумной камере, вакуумирование которой производят до достижения в ней равновесного давления и установившегося постоянным значения сигнала течеискателя, отображающего остаточную концентрацию (фон) контрольного газа Аост. При этом согласно изобретению после вакуумирования вакуумной камеры в нее подают изменяемый фиксируемый тарированный поток контрольного газа Qкт, вызывающий отсчет течеискателя, равный значению остаточной концентрации контрольного газа в ВК (Аост), умноженному на два («нулевой» замер), затем прекращают подачу тарированного потока и заполняют контрольным газом изделие до рабочего давления Рраб, фиксируют на течеискателе значение Аост+изд и подают в вакуумную камеру изменяемый фиксируемый тарированный поток контрольного газа Q'кт, вызывающий отсчет течеискателя, равный значению Аост+изд, умноженному на два (контрольный замер), удаляют контрольный газ из изделия, а величину негерметичности изделия определяют по разности значений Q'кт и Qкт. 3 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в электронной, атомной промышленности, в машиностроении, где испытания изделий связаны с высокими требованиями по герметичности. Изобретения направлены на повышение точности создания эталонного потока пробного газа и расширение диапазона создаваемых калибровочных потоков в сторону уменьшения их величины, что обеспечивается за счет того, что устройство содержит по ходу газового потока емкости для хранения и подачи пробного газа, элемент малой проводимости при молекулярном режиме течения пробного газа, подключенные к емкости подачи вакуумный насос, измеритель давления и коммутационную арматуру. Согласно изобретению, устройство дополнительно содержит подключенную к емкости подачи пробного газа емкость перепуска, а элемент малой проводимости, установленный на выходе пробного газа из устройства, выполнен в виде стеклянного капилляра. При этом поток пробного газа от устройства определяется по соотношению, приведенному в формуле изобретения, которая включает показатели, относящиеся к эталонному потоку пробного газа, к проводимости капилляра, к объему емкости подачи, к времени с момента поступления потока пробного газа через капилляр в технологическую установку, к первоначальному давлению пробного газа на входе в капилляр. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники и направлено на обеспечение максимально возможной точности и без значительных расходов определения воздухонепроницаемости замкнутого пространства. Этот результат обеспечивается за счет того, что при определении воздухонепроницаемости замкнутых пространств задают градиент концентрации между атмосферой внутренней среды замкнутого пространства и атмосферой воздушного пространства, окружающего упомянутое замкнутое пространство, путем регулирования значения молярной концентрации по меньшей мере одного составляющего компонента атмосферы внутренней среды замкнутого пространства, в частности кислорода, которое отличается от значения молярной концентрации по меньшей мере одного составляющего компонента атмосферы воздушного пространства, окружающего упомянутое замкнутое пространство. Затем определяют скорость изменения концентрации путем измерения в атмосфере внутренней среды замкнутого пространства изменения во времени молярной концентрации по меньшей мере одного составляющего компонента и вычисляют значение воздухонепроницаемости для замкнутого пространства с учетом определенной на предыдущем этапе скорости изменения концентрации. 15 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области контроля герметичности оборудования, разгерметизация которого сопровождается появлением водорода в контролируемой среде и может использоваться преимущественно на атомных энергетических установках с реакторами на быстрых нейтронах для контроля нарушения межконтурной плотности парогенераторов натрий-вода. Изобретение направлено на обеспечение контроля не герметичности в начальной стадии на уровне микротечей, что обеспечивается за счет того, что устройство содержит одну вакуумную камеру, отделенную от контролируемой среды водородопроницаемой мембраной и соединенную с вакуумным магниторазрядным насосом, а также дополнительную вакуумную камеру, отделенную от среды водородопроницаемой мембраной и соединенную с вакуумметром. Между основной и дополнительной вакуумными камерами включен вакуумный вентиль, а доставка контролируемой среды к вакуумным камерам осуществляется за счет напора набегающего потока, а для подогрева используется рекуператор. Контроль концентрации водорода в контуре производится путем периодического сравнения показаний тока магниторазрядного насоса и показаний вакуумметра. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области испытательной и контрольной техники и предназначено для настройки систем течеискания, калибровка которых осуществляется пузырьковым методом и которые могут быть использованы в любых отраслях промышленности в качестве имитаторов течи, контрольной течи, эталона течи, а также в качестве стандартного образца предприятия. Техническим результатом изобретения является повышение достоверности и точности контроля герметичности, расширение эксплуатационных возможностей, простота, удобство и недороговизна процесса калибровки систем течеискания. Этот технический результат обеспечивается за счет того, что диффузионная течь содержит корпус с входным и выходым каналами, в выходном канале выполнен опорный поясок и на нем прижимным кольцевым элементом герметично закреплена проницаемая мембрана. При этом согласно изобретению, между прижимным элементом и проницаемой мембраной контактно ее поверхности установлен конденсор газа с отверстием в виде капилляра, который установлен между прижимным кольцевым элементом и проницаемой мембраной, а на контактной поверхности конденсора выполнена заданная шероховатость или между конденсором газа и проницаемой мембраной размещена сетка. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники и направлено на повышение точности и достоверности результатов контроля герметичности за счет исключения влияния фона контрольного вещества и газовыделения материалов, входящих в состав изделия и оболочек. Этот результат обеспечивается за счет того, что при осуществлении контроля герметичности изделие заключают в замкнутую оболочку, заполняют его полость контрольным веществом до требуемого давления, выдерживают в течение определенного времени, определяют реакцию течеискателя на контрольное вещество, накопленное в замкнутой оболочке, а о герметичности судят по сравнению с реакцией течеискателя на эталонную концентрацию контрольного вещества. При этом используют заключенный в дополнительную замкнутую оболочку макет изделия, полностью имитирующий контролируемое, но не заполненный контрольным веществом, который выдерживают в течение определенного времени, равного времени выдержки изделия, определяют реакцию течеискателя на фоновое содержание контрольного вещества и газовыделение материалов в дополнительной замкнутой оболочке, а расчет негерметичности изделия проводят по соотношению, приведенному в формуле изобретения. 2 ил.

Изобретение относится к железнодорожному транспорту. Способ испытаний в автоматическом режиме отремонтированного пневматического тормозного оборудования единиц подвижного состава железнодорожного транспорта, преимущественно грузовых вагонов, проходит ремонт с отцепкой вагонов и требует отделения ходовых тележек. Из цикла проверок тормозного оборудования выделяют в отдельный цикл проверки, которые можно выполнить до установки вагона на тележки. Достигается сокращение общих затрат времени на испытания отремонтированного и установленного тормозного оборудования вагона. 3 ил.

Изобретение относится к средствам контрольно-измерительной техники и направлено на повышение чувствительности, качества и надежности контроля герметичности давлением жидкой среды. Этот результат обеспечивается за счет того, что при контроле герметичности изделие размещают в герметичной испытательной камере, заполняют полости изделия контрольной жидкостью, выдерживают изделие для накопления в камере паров проникающей жидкости и обнаруживают и измеряют утечку жидкости путем регистрации содержания паров контрольной жидкости в объеме испытательной камеры. Согласно изобретению после заполнения полости изделия контрольной жидкостью повышают ее температуру и давление до значений, приводящих жидкость в сверхкритическое состояние. Практическое использование способа обеспечивает наибольший эффект при контроле систем, эксплуатирующихся в режиме высоких температур и давлений заполняющих жидкостей. 1 ил., 1 табл.

Изобретение относится к трубопроводной арматуре для газовой промышленности, предназначено для проведения испытаний при разработке и создании клапанов-отсекателей, устанавливаемых в насосно-компрессорные трубы. Технический результат - снижение трудоемкости установки клапана-отсекателя в ниппель и проведения его испытаний. Ниппель для испытаний клапана-отсекателя содержит корпус в виде профилированного полого цилиндра с резьбой на концах и с профилированной внутренней поверхностью с кольцевой проточкой для подачи управляющего агента в рабочую полость клапана. В корпусе выполнен канал для подвода рабочего тела в кольцевую проточку. На внешней поверхности ниппеля выполнен упорный бурт, на корпусе ниппеля установлена с возможностью осевого перемещения и перестановки с одного конца корпуса на другой, по крайней мере, одна шайба, в которой одним концом установлены крепежные элементы, например, шпильки с гайками, а на другом конце крепежных элементов установлен с возможностью осевого перемещения крепежный элемент, взаимодействующий с выходной частью клапана-отсекателя. Для установки клапана-отсекателя в ниппель предложен также способ установки клапана-отсекателя в ниппель для проведения испытаний. 2 н.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к контролю технического состояния магистрального газопровода и может быть использовано для исследований запорно-регулирующей арматуры газопровода концентрационным способом. Техническим результатом, получаемым от внедрения изобретения, является повышение точности измерения расхода за счет использования концентрационного способа измерения. В способе в полость объемом V_п между корпусом запорно-регулирующей арматуры и ее негерметичным затвором инжектируют индикаторный газ, а за запорно-регулирующей арматурой из магистрального газопровода осуществляют отбор газа, измеряя его расход Q_о и концентрацию С _о индикаторного газа в нем. Зная объем V _и инжектируемого индикаторного газа, определяют расход Q_3PA газа через негерметичный затвор запорно-регулирующей арматуры по математическому соотношению

4 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники и может быть использовано для контроля потери герметичности разделителя бака в вытеснительной системе подачи топлива двигательной установки при эксплуатации в космосе. До режимов наддува топливного бака и перелива топлива из бака периодически проводят контроль потери герметичности разделителя бака после каждого механического воздействия на вытеснительную систему, измеряют перепад давления Р на разделителе бака и одновременно измеряют температуру Т топлива в баке и считают разделитель бака негерметичным по истинности высказывания, полученного после подстановки значений Р и Т в выражение, защищаемое данным изобретением. Данное изобретение позволяет применить его в условиях существенного изменения температуры топлива в жидкостной полости бака и тем самым повысить достоверность контроля потери герметичности разделителя бака; автоматизировать процесс контроля герметичности разделителя бака с помощью системы управления, используя аналоговую информацию, поступающую с соответствующих датчиков перепада давления и температуры; получить условие, достаточное для утверждения о потере герметичности разделителя бака и тем самым предотвратить, еще до режимов наддува газовой полости бака и перелива топлива из жидкостной полости бака, попадание вытесняющего газа в топливо; обнаружить быстро развивающуюся неисправность разделителя бака. 1 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники и направлено на повышение чувствительности контроля герметичности и точности измерения величины негерметичности. Этот результат обеспечивается за счет того, что контролируемое изделие помещают в герметичную испытательную камеру, из которой удаляют воздух. Полость контролируемого изделия заполняют пробным веществом (газом, паром или жидкостью) при давлении испытания, после чего прекращают откачку камеры высоковакуумным насосом. В таком состоянии выдерживают контролируемое изделие в течение определенного времени. Затем накопленное в камере или в объеме изделия пробное вещество (газ, пар жидкости) с помощью высоковакуумного насоса перекачивают в предварительно отвакуумированную контрольную камеру меньшего, чем испытательная камера, объема. Негерметичность контролируемого изделия оценивают, измеряя реакцию регистрирующего прибора (течеискателя) на содержание пробного вещества (газа, пара жидкости) в полости контрольной камеры. 2 ил.

Изобретение относится к области испытательной техники и направлено на повышение точности и достоверности результатов контроля измерения герметичности за счет исключения влияния фона контрольного газа. Этот результат обеспечивается за счет того, что при проведении контроля герметичности изделие размещают в герметичной испытательной камере и измеряют в ней фоновую концентрацию контрольного газа. Регистрируют значение фона в дополнительной камере и уравнивают его значение со значением фоновой концентрации контрольного газа в испытательной камере. Изделие заполняют контрольным газом и выдерживают определенное время. О герметичности судят по изменению концентрации контрольного газа в камере по сравнению с фоновой. После выдержки изделия регистрируют значение фона в дополнительной камере, а расчет негерметичности производят по соотношению, приведенному в формуле изобретения. 1 ил.

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано в космической технике, а именно при проверке герметичности участков трубопроводов пневмогидравлических систем в условиях существенного изменения температуры. Изобретение направлено на повышение точности определения величины утечки и возможность обеспечения автоматизации процесса проверки герметичности замкнутых объемов за счет использования информации о давлении и температуре, получаемой с помощью изобретения. Этот результат обеспечивается за счет того, что способ включает создание в проверяемом замкнутом объеме V заданного давления газа, замер давления в начале Р_н и в конце Р_к установленного промежутка времени _к. При этом одновременно с определением начального давления Р_н измеряют начальную температуру Т_н газа. Измеряют в конце установленного промежутка времени _к одновременно с определением давления газа Р _к температуру Т_к. Определяют суммарную массовую утечку газа G_к и в случае выполнения соотношения G _к<G_зад считают проверяемый замкнутый объем герметичным, при этом G_к и _к должны удовлетворять соотношениям, приведенным в формуле изобретения. 2 ил.

Изобретение относится к управляемым снарядам и ракетам, в частности к контролю герметичности их автопилотных блоков. В способе контроля герметичности автопилотный блок в выключенном состоянии со сложенными внутрь его корпуса рулями предварительно устанавливают на установочном столе, покрытом электропроводной резиной. Рули закрывают герметизирующими щитками. На наружную поверхность блока надевают защитный хомут и устанавливают технологические перемычки. Затем снимают перемычки запальных цепей, измеряют сопротивление электрических цепей и сопротивление изоляции электрически изолированных цепей автопилотного блока на соответствие требуемым и проводят контроль герметичности блока. Для этого блок устанавливают в технологическое приспособление, обеспечив при этом герметичность по крышкам приспособления со стороны торцевых поверхностей блока, смещают хомут в положение вне щитков, подключают блок через технологическое отверстие в его корпусе с помощью гибкого шланга к источнику сжатого воздуха с установленными в нем манометром и предохранительным клапаном сброса, нагнетают в корпус блока воздух до избыточного давления, погружают блок в резервуар с водой, имеющей температуру нормальных климатических условий, на время не менее заданного времени выдержки и нагнетают в корпус блока воздух до избыточного давления. Проводят в течение заданного времени выдержки визуальную индикацию утечек воздуха из корпуса блока по пузырькам воздуха и изменению давления, плавно уменьшают давление до величины, определяемой техникой безопасности, извлекают блок из резервуара, удаляют влагу, уменьшают давление до нулевого и отключают блок от источника сжатого воздуха, после чего ставят заглушку на технологическое приспособление в корпусе блока, смещают хомут в среднее положение щитков по высоте, снимают крышки приспособления и ставят блок на стол. Снимают перемычки запальных цепей, измеряют сопротивление электрических цепей и сопротивление изоляции электрически изолированных цепей блока, устанавливают перемычки запальных цепей и по результатам контроля отсутствия пузырьков воздуха, отсутствия падения давления и стабильности результатов измерения сопротивлений принимают решение о пригодности автопилотного блока в части герметичности. Устройство содержит соответствующие элементы для реализации способа. Реализация изобретения позволяет повысить информативность, объективность и достоверность контроля герметичности автопилотного блока. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний и предназначено для использования при проведении испытаний устройств на герметичность. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности течеискателя, что обеспечивает более качественный контроль герметичности изделий. Это обеспечивается за счет того, что течеискатель содержит соединенные между собой трубопроводами масс-спектрометрический анализатор с расположенными в нем ионным источником и приемником ионов, высоковакуумный насос, первый и второй клапаны, первый и второй регулирующие клапаны, входной и выходной трубопроводы, а также средства питания, управления и индикации, при этом входной трубопровод через первый регулирующий клапан соединен с масс-спектрометрическим анализатором, который соединен с входом высоковакуумного насоса, выход которого через первый клапан соединен с выходным трубопроводом, а через второй регулирующий клапан - с масс-спектрометрическим анализатором, кроме того, входной и выходной трубопроводы соединены между собой через второй клапан. 4 з.п.ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике. Изобретение направлено на повышение чувствительности течеискателя и повышение точности испытания на герметичность. Согласно изобретению способ испытания на герметичность, содержащий статическую калибровку течеискателя, напуск в масс-спектрометрическую камеру разреженной исследуемой смеси газов с пробным газом от объекта, выделение в масс-спектрометрической камере электрического сигнала от парциального давления пробного газа, причем при увеличении электрического сигнала от найденной течи его регистрируют и рассчитывают поток газа через течь, отличается тем, что выделяют пробный газ из потока исследуемой смеси газа в форбачке сепарированием с помощью первого высоковакуумного насоса, подают его в масс-спектрометрическую камеру, проводят статическую и динамическую калибровку течеискателя по контрольной течи пробного газа или по парциальному давлению пробного газа из газовой среды, окружающей течеискатель путем накопления смеси с пробным газом в форбачке при различных давлениях, измеряемых датчиками давления как в форбачке, так и перед вторым высоковакуумным насосом, при этом каждый раз фиксируют масс-спектрометром изменение сигнала от пробного газа при калибровках, ведут поиск мест негерметичности объекта, пропуская через второй высоковакуумный насос поток исследуемой смеси газа от объекта в форбачок и в форвакуумный насос, выделяют пробный газ из исследуемой смеси в форбачке сепарированием первым высоковакуумным насосом, подают его в масс-спектрометрическую камеру, фиксируют от него сигнал и сравнивают с сигналом от статической калибровки при соответствующих давлениях в форбачке и перед вторым высоковакуумным насосом, при увеличении сигнала от найденной течи рассчитывают поток газа через течь, если необходимо уточнить величину потока газа через течь, то увеличивают давление смеси газа в форбачке при помощи дросселирующих вентилей, фиксируют увеличение сигнала, сравнивают его со статической калибровкой при соответствующих давлениях и, если изменение сигнала признано достоверным и достаточным, то рассчитывают поток газа через течь, если изменение сигнала признано не достаточным, то вновь производят повышение давления потока газа в форбачке или накапливают смесь газов в форбачке при полностью закрытом дросселирующем вентиле на форвакуумной магистали, регулируют время накопления смеси газов в форбачке при помощи дросселирующего вентиля на высоковакуумной магистрали или проводят дополнительную динамическую калибровку течеискателя для нахождения достоверного и достаточного изменения сигнала от пробного газа и рассчитывают поток газа через течь, если необходимо дополнительное уточнение величины потока газа через течь, то изменяют откачные характеристики первого высоковакуумного насоса с повторением определения достоверной величины потока газа через течь. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.