Получение и подготовка образцов для исследования: ..встраивание или аналогичное крепление образцов – G01N 1/36

Группа изобретений относится к методам моделирования процессов вакуумной ионной обработки при исследовании потоков заряженных частиц. Способы включают размещение образца, содержащего участок в форме призмы, в вакуумной камере. Затем потоком заряженных частиц воздействуют на поверхность боковой грани образца. При воздействии потоком на поверхность боковой грани образца образуют покрытие. Затем осуществляют визуальный контроль и/или измеряют параметры образованного на поверхности образца покрытия для проведения исследований свойств упомянутого потока заряженных частиц. Либо при воздействии потоком заряженных частиц на поверхность боковой грани образца удаляют его поверхностный слой. Затем осуществляют визуальный контроль и/или измеряют параметры удаленного поверхностного слоя для проведения исследований свойств упомянутого потока заряженных частиц. Техническим результатом изобретения является повышение информативности и оперативности измерений, проводимых при контроле параметров поверхности образца, на которую воздействуют потоком заряженных частиц. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 5 ил.