Элементы конструкции и вспомогательные устройства для приборов, отнесенных к группам  ,5/00: ...измерительные зонды – G01R 1/067

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к устройствам для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых или диэлектрических пластинах. В устройстве согласно изобретению коаксиальный разъем с помощью гермоввода соединен с копланарной линией передачи, проводники которой зажаты между двумя диэлектрическими пластинами. Копланарная линия передачи и гермоввод расположены в корпусе. Одни концы проводников воздушной копланарной линии передачи соединены с проводниками копланарной линии передачи, другие ее концы выполнены усеченными, а диаметр гермоввода d находится в пределах: h d l, где l - ширина копланарной линии передачи; h - высота копланарной линии передачи. Изобретение обеспечивает улучшение воспроизводимости электрических характеристик, повышение надежности зонда и упрощение технологии его изготовления. 2 ил.

Предложенное изобретение относится к электронной технике, а именно к устройствам для испытания планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых пластинах. Техническим результатом изобретения является повышение прочности и долговечности многоконтактного зонда для испытания планарных элементов интегральных схем и возможность восстановления его работоспособности. Многоконтактный зонд для испытания планарных элементов интегральных схем содержит корпус с крышкой, расположенную в нем диэлектрическую пластину с микрополосковыми металлическими проводниками на ней, которые на одном конце диэлектрической пластины соединены со средствами связи с испытательным оборудованием, а на другом конце диэлектрической пластины имеют средство для контактирования с контактными площадками планарных элементов интегральных схем. При этом средство для контактирования с контактными площадками планарных элементов интегральных схем выполнено в виде съемного блока, представляющего собой систему плоских упругих металлических полосковых проводников типа гребенки, одни концы которых закреплены на поперечной пластине из диэлектрика и осуществляют контактирование с микрополосковыми металлическими проводниками на диэлектрической пластине, а другие концы плоских упругих металлических полосковых проводников осуществляют контактирование с контактными площадками планарных элементов интегральных схем, при этом поперечная пластина из диэлектрика выполнена шириной более 1/3 ее длины. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.

3онд содержит коаксиальный разъем, коаксиальную линию передачи, воздушную копланарную линию передачи из плоских упругих проводников. Проводники воздушной копланарной линии передачи имеют выступы для контактирования с контактными площадками планарных элементов интегральных схем. На торцах проводников коаксиальной линии передачи выполнены прорези. В этих прорезях токопроводящим клеем закреплены проводники воздушной копланарной линии передачи. На конце коаксиальной линии передачи в области прорезей размещена диэлектрическая втулка. На поверхность коаксиальной линии передачи нанесен слой, поглощающий СВЧ-излучение. Изобретение направлено на упрощение технологии изготовления зонда, обеспечение воспроизводимости его электрических характеристик, повышение его надежности и долговечности. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к ядерной технике, а более конкретно к устройствам для контроля геометрических параметров технологических каналов ядерных реакторов типа РБМК. Устройство для контроля геометрических параметров технологических каналов ядерного реактора содержит измерительный зонд с датчиком и передатчиком сигнала, сообщенным линией связи с приемником сигнала, средство для перемещения зонда по длине канала и источник питания, датчик выполнен гидравлическим в виде струйного измерителя, а передатчик сигнала - акустическим, при этом в качестве средства для перемещения использована разгрузочно-загрузочная машина ядерного реактора, а в качестве линии связи - рабочая среда канала и стенки канала или рабочая среда канала и стенки корпуса упомянутой машины, источник питания выполнен гидравлическим в виде дросселя, установленного на нижней части измерительного зонда, и вертикально размещенного напорного коллектора, вход которого расположен ниже дросселя. Изобретение позволяет проводить измерение геометрических параметров герметично закрытого канала во время проведения перегрузочных работ. 5 ил.