Микроскопы: .корпуса – G02B 21/24

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим поддержание температуры образцов в широком диапазоне при измерении и других технологических операциях в сканирующих зондовых микроскопах (СЗМ). Предлагаемое изобретение целесообразно использовать в вакуумном оборудовании. Сущность изобретения заключается в том, что устройство поддержания температуры объекта для сканирующего зондового микроскопа, содержащее корпус с экраном и нагревательным элементом в виде спирали, носитель объекта с прижимом и объектом, манипулятор с осевым перемещением, содержащий захваты, сопряженный с носителем объекта с возможностью размыкания с ним, а также блок измерения температуры, установленный с противоположной стороны носителя объекта относительно нагревательного элемента, снабжено криогенным вводом, соединенным тепловодами с корпусом, манипулятор имеет вращательное перемещение вокруг оси своего продольного перемещения и один из его захватов содержит выступ, расположенный с возможностью взаимодействия с носителем объекта, корпус содержит зацеп и первую пружину, установленные с возможностью взаимодействия с носителем объекта, кроме этого на корпусе закреплена вторая пружина с электроподводом, сопряженным с объектом. Подобное выполнение устройства поддержания температуры расширяет его функциональные возможности. 7 з.п. ф-лы, 4 ил.