Микроскопы: ..предметные столики, регулирующие устройства для них – G02B 21/26

Изобретение относится к области приборостроения и может быть применено для точной ориентации объекта в целях наблюдения или обработки, например, в микроскопах. Устройство для позиционирования объекта содержит средство угловой ориентации, состоящее из подвижной и неподвижной частей, и средство вертикальной подачи, связанное с подвижной частью средства угловой ориентации. Средство угловой ориентации обеспечивает угловую ориентацию объекта относительно двух пересекающихся взаимно перпендикулярных горизонтальных осей и может быть выполнено в виде сферического шарнира. Средство вертикальной подачи обеспечивает перемещение объекта относительно подвижной части средства угловой ориентации вдоль вертикальной оси и может быть выполнено в виде линейного электродвигателя или пъезоприводного исполнительного механизма. Обеспечивается нахождение исследуемого фрагмента поверхности в фокусе объектива при выполнении угловой ориентации объектов различной толщины. 7 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к области нанотехнологии и направлено на обеспечение перемещения образца по трем координатам (X, Y, Z), в частности, для перемещения образцов, держателей образцов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии. Изобретение обладает расширенными функциональными возможностями за счет возможности исследования образцов с большими размерами и массой, а также обеспечивает быструю замену образцов при их жестком креплении к каретке, прецизионную повторяемость позиции каретки с образцом, что обеспечивается за счет того, что устройство подвижки образца содержит корпус, на котором посредством первых направляющих установлена первая каретка со вторыми направляющими, закреплены первый и второй пьезоприводы, сопряженные с первой кареткой. Вторая каретка с держателями образца установлена посредством вторых направляющих на первой каретке. В устройство введен, по меньшей мере, один дополнительный пьезопривод. Все пьезоприводы первыми концами сопряжены с корпусом, а вторыми концами с первой кареткой посредством шарниров и представляют собой первые направляющие. Вторая каретка установлена на первой каретке с возможностью съема с нее. 4 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к средствам юстировки оптических элементов и направлено на уменьшение габаритов и повышение жесткости конструкции, на повышение чувствительности и точности подвижек, упрощение технологии изготовления и сборки, что обеспечивается за счет того, что трехкоординатный прецизионный столик включает три пары параллельно размещенных оснований. Одна пара установлена с возможностью продольного перемещения одного основания в паре относительно второго по двум опорным шарикам, которые размещают в направляющем пазу, расположенном вблизи края внутренней стороны на каждом основании в этой паре и образованном двумя поверхностями, размещенными под углом меньше 90°, причем одна поверхность паза параллельна плоскости основания. В качестве третьей точки опоры между основаниями на противоположном от опорных шариков крае установлен упор, закрепленный только на одном из оснований, либо выполненный в виде одного упорного шарика. Для продольного перемещения одного основания относительного второго установлен толкатель. Две других пары оснований выполнены с возможностью отклонения от параллельности одного основания в паре относительно второго за счет поворота основания вокруг оси, проходящей через центры двух опорных шариков и параллельной оси продольного перемещения первой пары, причем основания в каждой паре контактируют между собой в трех точках опоры, две из которых составляют два опорных шарика, расположенных на одном крае внутренних сторон пары оснований и третью точку опоры составляет толкатель, расположенный на противоположном от опорных шариков крае внутренних сторон пары оснований. Толкатель может быть выполнен в виде юстировочного винта или в виде рычага с двумя котировочными винтами. Основания подпружинены относительно друг друга таким образом, что исключаются зазоры между контактными поверхностями. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к областям техники, связанным с прецизионными координатными измерениями геометрии и локальных свойств материала нано- и микроструктур, протяженных в горизонтальном направлении, в частности интегральных микросхем, микроэлектромеханических систем и наномеханизмов. Изобретение направлено на расширение функциональных возможностей, увеличение достоверности измерений, повышение механической жесткости системы, а также на повышение чувствительности и быстроты реакции системы на отклонение координаты исполнительного органа от номинала. Этот результат обеспечивается за счет того, что многокоординатная метрологическая платформа содержит рабочий стол с нанесенными координатными метками для координатной привязки вертикально подвижных измерительных головок, а также двухкоординатный линейный привод для перемещения рабочего стола в горизонтальной плоскости во взаимно перпендикулярных направлениях по бесконтактным аэростатическим направляющим, сопрягаемые наклонные поверхности базы и каретки которых установлены с образованием зазоров для нагнетания текучей среды под давлением. Каретка одной из направляющих механически соединена с базой другой направляющей с возможностью их совместного перемещения. Одна из направляющих (по координате Y) выполнена с сужающейся, а другая (по координате X) - с расширяющейся в направлении рабочего стола кареткой. На образующей зазор наклонной поверхности каретки одной из направляющих и на образующей зазор наклонной поверхности базы другой направляющей установлены постоянные магниты, а на сопрягаемых с ними поверхностях - замыкатели. Постоянные магниты выполнены в виде вставок из намагниченного ферромагнитного материала с полюсными наконечниками из магнитомягкого материала, а замыкатели - из магнитомягкого материала. База верхней направляющей соединена с кареткой нижней направляющей, а база нижней направляющей неподвижно установлена в мостовой конструкции, на которой закреплены измерительные головки. В качестве измерительных головок - лазерный или амплитудный интерференционный фазово-поляризационный микроскоп. 9 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к оборудованию для микроэлектронной области техники. Изобретение направлено на повышение процента соединенных контактов до 99,75 за счет значительного повышения точности установки плоскопараллельности двух плоских подложек, имеющих множество контактов в виде выступов, в том числе, с уменьшенной величиной высоты выступов контактов. Указанный технический результат достигается тем, что штатив для подложки состоит из основания штатива, шарового упора, на котором свободно балансирует основание штатива, дополнен выравнивающим элементом, состоящим из двух полированных прозрачных пластин, скользящих друг по другу. Причем несоприкасающиеся плоскости пластин плоскопараллельны, выравнивающий элемент помещен на одну из двух соединяемых подложек, находящуюся на основании штатива. 3 ил.

Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано при разработке технологического и тестового оборудования. Изобретение направлено на обеспечение возможности фиксировать на одном и том же предметном столике образцы различного размера и конфигурации без ухудшения предельно допустимых усилий сдвига, при этом на несколько порядков уменьшаются прогибы образцов под вакуумными областями, что позволяет работать с утоненными образцами. Упрощение конструкции значительно упрощает технологию изготовления предметного столика. Указанный технический результат достигается тем, что в предметном столике, состоящем из основания с плоской поверхностью, на которой выполнены углубления и отверстие, ведущее к вакуумному насосу, углубления соединены с отверстием, ведущим к вакуумному насосу, и углубления выполнены в виде сплошного рельефа с размером углублений от 3 до 100 мкм, кроме того, все углубления соединены между собой. 2 ил.

Изобретение относится к устройствам для установки изделий в заданное пространственное положение в принятой системе координат. Позиционирующее устройство включает не менее трех модулей координатных перемещений. Каждый модуль имеет три блока для перемещений соответственно по трем координатным направлениям. На каждом модуле расположен внешний носитель базовых точек, выполненный с возможностью перемещения раздельно и независимо от других внешних носителей базовых точек для того, чтобы расположение внешних носителей базовых точек в пространстве в принятой системе координат соответствовало расчетному положению носителей базовых точек устанавливаемого изделия. Геометрический профиль каждого носителя внешних базовых точек выполнен геометрически ответным носителю базовых точек изделия. В каждом модуле блоки координатных перемещений выполнены с возможностью раздельного и независимого друг от друга переключения из фиксирующего положения, в котором положение внешних носителей базовых точек совпадает с расчетным положением носителей базовых точек устанавливаемого изделия, в расфиксированное положение со свободным вдоль координатного направления перемещением для выборки всех зазоров между внешними носителями базовых точек и носителями базовых точек устанавливаемого изделия и устранения монтажных напряжений. В результате расширяются функциональные возможности устройства. 3 ил.

Изобретение относится к медицинской технике, а точнее к устройствам, применяемым для совершенствования микробиологических исследований, и касается технического обеспечения прямого просмотра микроорганизмов, взятых с ограниченных мест, в сканирующем электронном микроскопе JEOL jsm-35 С, JP. Изобретение направлено на повышение эффективности топического обнаружения микроорганизмов в естественных местах обитания, их сравнительного и атравматичного электронно-микроскопического изучения, ускорение и упрощение процесса исследований. Этот результат обеспечивается за счет того, что объектный столик для исследования микроорганизмов с помощью сканирующего электронного микроскопа JEOL jsm-35 С имеет форму цилиндра и выполнен с несколькими внутренними сквозными каналами, в которых размещаются стержни со шляпками, и удерживаются в них, упираясь шляпками на края сквозных каналов, при этом на шляпках наклеена двухсторонняя клейкая лента, наружная клейкая поверхность которой предназначена для получения и размещения на ней препарата-отпечатка исследуемого микроорганизма. 4 ил.

Изобретение относится к области оптического приборостроения. Техническим результатом изобретения является повышение точности настройки на резкость при упрощении конструкции, что достигается за счет повышения чувствительности фокусировочного механизма микроскопа путем обеспечения плавной и точной микроподачи. Это обеспечивается за счет того, что известный фокусировочный механизм микроскопа содержит корпус, микрометрический винт с резьбовым элементом и рычажную систему. Корпус имеет две цилиндрические взаимно-перпендикулярные полости. Рычаг расположен в вертикальной полости корпуса и верхним концом при помощи шарнира связан с подвижно-закрепленной на пластине корпуса опорой. Нижним концом рычаг связан с установленными в горизонтальной полости винтом и пружиной. К верхней части рычага при помощи шарнира крепится тяга, обуславливающая отношение плеч рычага как 1:5. Тяга выполнена в виде стержня с ломаной под прямым углом геометрической осью, правая часть стержня тяги жестко связана с подвижной частью микроскопа при помощи винта и контргайки, а горизонтальная ось левой части стержня тяги расположена в одной горизонтальной плоскости и на одной прямой с плоскостью основания подвижной части микроскопа, а угол наклона винтовой линии в винтовой паре выполнен меньше угла трения. 1 ил.

Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам перемещения по трем координатам. Например, устройство перемещения может быть использовано в качестве сканера в зондовой микроскопии. В устройстве перемещения, состоящем из основания с закрепленным на нем одним концом совмещенным узлом блока перемещения по одной координате (Z) и блока перемещений по двум взаимно перпендикулярным координатам (X, Y), другим свободным концом совмещенного узла вместе с расположенным на нем держателем объекта, на упомянутом основании введены упоры, размещенные через зазоры напротив упомянутых свободного конца совмещенного узла и держателя объекта, а величины зазоров превышают величины функциональных перемещений конца совмещенного узла и держателя объекта в направлении соответствующих упоров, но меньше, чем предельно допустимые по прочности совмещенного узла отклонения в тех же направлениях. Подобное исполнение устройства перемещения повышает его надежность и придает ему метрологические качества. 6 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим перемещения объекта по трем координатам (X, Y, Z) и точную повторяемость положений объекта при его переустановке, например для перемещения образцов, держателей образцов, зондов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии. Изобретение направлено на обеспечение широкого диапазона перемещения по всем трем координатам с возможностью быстрой замены образцов и зондов и сохранения их первоначального положения. Координатный стол содержит платформу, на которой посредством устройства перемещения с первыми направляющими установлены первая каретка, вторая каретка с основанием и держатель объекта с возможностью перемещения по первой и второй взаимно перпендикулярным координатам. Введены вторые направляющие, закрепленные на первой каретке, третьи направляющие, закрепленные на второй каретке, третья каретка, установленная посредством третьих направляющих на второй каретке, содержащая ферромагнитный вкладыш и держатель объекта. Устройство перемещения с первыми направляющими выполнено в виде трехкоординатного пьезодвигателя, вторая каретка установлена на вторых направляющих, на платформе установлен первый магнит с возможностью перемещения и фиксации по третьей координате, перпендикулярной плоскости первой и второй координат. На второй каретке установлен второй магнит с возможностью взаимодействия с первым магнитом и ферромагнитным вкладышем третьей каретки. Вторые направляющие могут быть выполнены в виде трех первых сферических опор. Третья каретка может содержать три вторые сферические опоры. Третьи направляющие изготовлены в виде стоек, на первых концах которых выполнено по одной гладкой поверхности, а на вторых концах - по две V-образно расположенных гладких поверхности. При этом стойки установлены с возможностью перемещения и фиксации по третьей координате на второй каретке и расположены возможностью взаимодействия первыми концами с тремя первыми сферическими опорами, а вторыми концами - со вторыми сферическими опорами. Три стойки могут быть установлены на второй каретке таким образом, что линии пересечения их V-образно расположенных гладких поверхностей расположены под углами друг к другу либо параллельно друг другу. Второй магнит установлен с возможностью перемещения и фиксации по третьей координате. 5 з.п.ф-лы, 3 ил.