Фотографические процессы, агенты для них, регенерация агентов: .способы фотографирования в рентгеновских, инфракрасных и ультрафиолетовых лучах – G03C 5/16
Раздел G ФИЗИКА
G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
G03C Светочувствительные материалы для фотографических целей; фотографические способы и процессы, например кинематографические, рентгенографические, цветные, стереофотографические; вспомогательные способы и процессы в фотографии
G03C 5/00 Фотографические процессы, агенты для них; регенерация агентов
G03C 5/16 .способы фотографирования в рентгеновских, инфракрасных и ультрафиолетовых лучах
Патенты в данной категории
| СПОСОБ СУХОГО ПОЛУЧЕНИЯ ПОЗИТИВНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ В ФОТОЛИТОГРАФИИ Использование: в электронной промышленности для формирования скрытых изображений и их сухого проявления. Сущность изобретения: способ заключается в том, что полимерная пленка на подложке облучается через фотошаблон вакуумным ультрафиолетовым светом в парах стирола, затем она облучается в вакууме без фотошаблона излучением с длиной волны в интервале 20 - 250 НМ. После этого полимерная пленка на подложке выдерживается в насыщенных парах йода при температуре от 20°С до температуры, не превышающей температуру стеклования полимерной пленки, затем полимерная пленка выдерживается в среде газообразного озона, и проявляется скрытое позитивное изображение травлением в кислородной плазме. | 2029979 патент выдан: опубликован: 27.02.1995 |
|