Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности, материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты, устройства, специально приспособленные для этих целей: .изготовление форм для трафаретной печати или подобных печатных форм, например шаблонов – G03F 7/12
Патенты в данной категории
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШТАМПА ДЛЯ НАНОИМПРИНТ ЛИТОГРАФИИ
Изобретение относится к микроэлектронике, к способам изготовления штампов для наноимпринт литографии с субмикронными и нанометровыми проектными нормами для использования при изготовлении полупроводниковых устройств. Сущность изобретения: для уменьшения неровности края воспроизводимого субмикронного либо наноразмерного рисунка на штампе и уменьшения стоимости изготовления штампа для наноимпринт литографии, штампы изготавливают на специальных круглых пластинах, имеющих линейные размеры, соответствующие линейным размерам кремниевых пластин, применяемых при изготовлении интегральных схем с аналогичными изготавливаемому штампу топологическими размерами. При этом перенос необходимой топологии на такие пластины осуществляют с использованием изготовленного, с применением прецизионного электронно-лучевого либо ионно-лучевого генератора изображений, шаблона для проекционной литографии с увеличенными в N раз размерами элементов рисунка, по сравнению с рисунком на штампе, и установки для проекционной литографии, уменьшающей в N раз размеры переносимого рисунка и предназначенной для переноса топологии данного уровня на кремниевые пластины. 10 з.п. ф-лы. |
2476917 патент выдан: опубликован: 27.02.2013 |
|
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА ОСНОВЫ ДЛЯ ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТИ И МАТЕРИАЛ ОСНОВЫ ЭТОГО ТИПА
Заявлен способ изготовления материала основы для трафаретной печати. Согласно способу наносят первый слой резиста на одну сторону защитной пленки, затем высушивают первый слой резиста и наносят дополнительный слой резиста на первый слой резиста. После этого наносят трафаретную сетку на дополнительный слой резиста, при этом сторона дополнительного слоя резиста влажная. Трафаретную сетку вжимают в дополнительный слой резиста под давлением прижимного элемента, который непосредственно контактирует с трафаретной сеткой. Причем слой резиста содержит дополнительный слой резиста и первый слой резиста. Технический результат - обеспечение способа изготовления материала основы, в котором отверстия в материале трафаретной сетки единообразно заполнены светочувствительным материалом без потерь светочувствительного материала. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 1 ил. |
2375735 патент выдан: опубликован: 10.12.2009 |
|
| МАТРИЦЫ ДЛЯ ГАЛЬВАНОПЛАСТИКИ ТРАФАРЕТНЫХ СЕТОК И ГАЛЬВАНОПЛАСТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО
Изобретение относится к гальванопластике. Матрица для гальванопластики трафаретных сеток содержит пластину матрицы, на которую осаждают металл для формирования трафаретной сетки. Пластина матрицы включает основную поверхность осаждения, на которую осаждают металл для образования основного тела трафаретной сетки, по меньшей мере, одну пару краевых участков у противоположных краев основной поверхности осаждения, которые включают краевые поверхности осаждения, выходящие из плоскости, образованной основной поверхностью осаждения, на которую осаждают металл для образования крепежных элементов трафаретной сетки, и угловые участки в соответствующих углах поверхности осаждения. Матрица также включает непроводящие элементы в виде краевых элементов, которые расположены у краевых участков таким образом, что образуют протяженность этих краевых участков, и непроводящие элементы в виде угловых элементов, которые расположены у угловых участков таким образом, что защищают их и образуют протяженность основной поверхности осаждения у этих угловых участков. Изобретение позволяет расширить ассортимент получаемых изделий. 6 н. и 61 з.п. ф-лы, 37 ил. |
2363587 патент выдан: опубликован: 10.08.2009 |
|
| РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЧЕСКИЙ ШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
Изобретение относится к измерительной технике. В изобретении топологические рентгенопоглощающие рисунки из металла с большим атомным номером формируются на обеих поверхностях несущей мембраны рентгенолитографического шаблона в виде симметричных пространственно совмещенных структур одинаковой толщины. Технический результат - уменьшение величины неплоскостности рабочей поверхности рентгенолитографического шаблона. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил. |
2339067 патент выдан: опубликован: 20.11.2008 |
|
| ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ФЛЕКСОГРАФСКИЙ ЭЛЕМЕНТ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОРМНЫХ ПЛАСТИН ФЛЕКСОГРАФСКОЙ ПЕЧАТИ ДЛЯ ПЕЧАТАНИЯ ГАЗЕТ
Изобретение относится к фоточувствительному флексографскому элементу для изготовления формных пластин флексографской печати для печатания газет. Элемент включает упругий металлический носитель, нанесенный на него адгезионный слой, органически проявляемый фотополимеризируемый слой, прозрачный субстратный слой, снимаемую защитную пленку. Толщина флексографского элемента составляет от 300 до 1000 мкм. Эластомерное связующее имеет среднее весовое значение Mw от 80 000 до 150 000 г/моль и твердость по Шору А от 50 до 80 и количество пластификатора составляет от 10 до 40 мас.% в пересчете на количество всех компонентов фотополимеризируемого слоя. Технический результат - разработка быстрого способа изготовления флексографских формных пластин для печатания газет, которым можно значительно сократить время переработки, разработка фоточувствительных флексографских элементов, позволяющих быструю переработку флексографских печатных форм, обеспечивающих печатание на шершавой газетной бумаге с высокой разрешающей способностью. 4 н. и 9 з.п. ф-лы, 2 табл. |
2295145 патент выдан: опубликован: 10.03.2007 |
|
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТНОЙ ФОРМЫ (ВАРИАНТЫ)
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве газоразрядных индикаторных панелей. Формирование копировального слоя в трафаретной печатной форме с большой толщиной, точностью, с печатными элементами сложной геометрической формы, расположенными с высокой плотностью, достигается за счет использования для нанесения копировального слоя плоского фотошаблона со сквозными отверстиями. 2 н.п. ф-лы, 2 ил. |
2278406 патент выдан: опубликован: 20.06.2006 |
|
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТНОЙ ФОРМЫ Изобретение относится к областям техники, применяющим метод трафаретной печати, и может быть использовано для изготовления трафаретных печатных форм в производстве газоразрядных индикаторных панелей. Описывается способ изготовления трафаретной печатной формы, включающий нанесение на сетку, натянутую на раму, слоя светочувствительной композиции, его высушивание, нанесение фотошаблона, с размещением на нем полиэтиленовой пленки, экспонированием и проявлением. Техническим результатом является создание способа изготовления трафаретной печатной формы, обеспечивающего получение трафаретной печатной формы высокого качества за счет повышения точности формирования пробельных мест. 2 з.п.ф-лы, 1 ил. | 2222037 патент выдан: опубликован: 20.01.2004 |
|
| НОСИТЕЛЬ ИНФОРМАЦИИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ 1. Носитель информации, представляющий пленочную структуру, содержащую по меньшей мере один слой полимерного материала, имеющего рельефную поверхность, отличающийся тем, что рельефная поверхность, образована углублениями и/или сквозными отверстиями, имеющими форму тел вращения. 2. Носитель по п.1, отличающийся тем, что углубления, отверстия и участки деструктурированного полимерного материала рельефной поверхности имеют диаметр на поверхности полимерного материала в пределах от 0,001 до 0,01 мкм. 3. Носитель по п.1, отличающийся тем, что углубления и отверстия имеют одинаковый диаметр. 4. Носитель по п. 1, отличающийся тем, что углубления имеют различную глубину. 5. Носитель по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере часть углублений и отверстий заполнена анизотропным материалом. 6. Носитель по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере часть углублений и отверстий заполнена прозрачным электропроводным материалом. 7. Носитель по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере часть углублений и отверстий заполнена веществом с магнитными свойствами. 8. Носитель по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере часть углублений и отверстий заполнена красящим веществом. 9. Носитель по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере часть углублений и отверстий заполнена гидрофобным или гидрофильным веществом. 10. Носитель по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере часть углублений и отверстий заполнена люминесцирующим веществом. 11. Носитель по пп.1 - 4, отличающийся тем, что по меньшей мере часть углублений и отверстий заполнена деструктурированным материалом соответствующего полимерного слоя. 12. Носитель по п.1, отличающийся тем, что пленочная структура содержит по меньшей мере один слой из магнитного материала. 13. Носитель по п.1, отличающийся тем, что пленочная структура содержит по меньшей мере один слой из поляроидного материала. 14. Носитель по п.1, отличающийся тем, что пленочная структура содержит по меньшей мере один гидрофильный или гидрофобный слой. 15. Носитель по п.1, отличающийся тем, что пленочная структура содержит по меньшей мере один слой из люминесцирующего материала. 16. Носитель по п.1, отличающийся тем, что пленочная структура содержит по меньшей мере один металлический слой, частично перекрывающий слой полимерного материала. 17. Носитель по п. 1, отличающийся тем, что по меньшей мере один слой пленочной структуры выполнен из термопластичного материала. 18. Носитель по п.1, отличающийся тем, что полимерные материалы слоев пленочной структуры имеют различные спектральные характеристики. 19. Носитель по п.1, отличающийся тем, что полимерные материалы слоев пленочной структуры имеют различные коэффициенты преломления. 20. Носитель по п.1, отличающийся тем, что пленочная структура содержит на одной из сторон сетку из полимерного материала или металла с диаметром отверстий, равным или превышающим 20 мкм. 21. Носитель по п.20, отличающийся тем, что в качестве полимерного материала сетки использован полиэтилентерефталат. 22. Устройство для изготовления носителей информации, содержащее последовательно расположенные источник тяжелых ионов, систему формирования потока тяжелых ионов, ионопровод и мишень, преобразуемую при облучении тяжелыми ионами в носитель информации, отличающееся тем, что введены блок пространственной амплитудной модуляции, установленный в ионопроводе за системой формирования потока тяжелых ионов и связанный с приводом вращения и/или перемещения, блок перемещения мишени и блок управления, соответствующими выходами соединенный с входами привода и блока перемещения мишени. 23. Устройство по п. 22, отличающееся тем, что блок пространственной амплитудной модуляции потока тяжелых ионов выполнен в виде матрицы подвижных пластин, расположенных по меньшей мере в два ряда и в два столбца. 24. Устройство по п.23, отличающееся тем, что каждая пластина установлена с возможностью вращения относительно ее оси симметрии. 25. Устройство по п.24, отличающееся тем, что пластины установлены с возможностью перемещения относительно друг друга в пределах одного ряда и/или одного столбца. 26. Устройство по пп.23 - 25, отличающееся тем, что каждый ряд матрицы содержит от 10 до 100 пластин. 27. Устройство по пп.23 - 26, отличающееся тем, что каждый столбец матрицы содержит от 1 до 10 пластин. 28. Устройство по п.23, отличающееся тем, что каждая пластина выполнена из материала, частично или полностью поглощающего тяжелые ионы. 29. Устройство по любому из пп.23 - 28, отличающееся тем, что высота каждой пластины выбрана с возможностью полного перекрытия потока тяжелых ионов в вертикальной плоскости. 30. Устройство по любому из пп.23 - 28, отличающееся тем, что ширина пластин составляет от 1,0 до 100 мм. | 2060608 патент выдан: опубликован: 20.05.1996 |
|