Фиксация или размещение оригиналов, масок, растров, фотографических листов или рельефных или текстурированных поверхностей, например автоматически – G03F 9/00

Раздел G ФИЗИКА

G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография

G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей

G03F 9/00 Фиксация или размещение оригиналов, масок, растров, фотографических листов или рельефных или текстурированных поверхностей, например автоматически

G03F 9/02

.в комбинации со средствами для автоматической фокусировки

автоматическая фокусировка вообще G 02B 7/09; системы для автоматического генерирования сигналов фокусировки G 02B 7/28

Патенты в данной категории

	УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТИ И СПОСОБ СОВМЕЩЕНИЯ ОБРАБАТЫВАЕМОЙ ПОДЛОЖКИ И ТРАФАРЕТА Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в устройствах и способах трафаретной печати, например печатных схем на подложке. Техническая задача данного изобретения состоит в повышении эффективности и точности совмещения сетчатого трафарета и обрабатываемой подложки. Сущность изобретения: предложено устройство для использования при трафаретной печати, содержащее координатный стол, станину устройства, устройство визуального контроля, приспособление для закрепления подложки на координатном столе и приспособление для крепления сетчатого трафарета, отличающееся тем, что координатный стол установлен на станине устройства, опорное устройство жестко прикреплено к координатному столу, устройство визуального контроля установлено на опорном устройстве, расположенном так, что устройство визуального контроля просматривает основную часть поверхности координатного стола, причем устройство дополнительно содержит устройство для относительного перемещения между координатным столом и приспособлением для крепления сетчатого трафарета, при этом устройство визуального контроля позиционируется с возможностью наблюдения знаков совмещения, нанесенных на подложку, так что, когда сетчатый трафарет находится между устройством визуального контроля и подложкой, устройство визуального контроля может наблюдать знаки совмещения, нанесенные на сетчатый трафарет, посредством чего облегчается регулировка относительных положений сетчатого трафарета и подложки для совмещения знаков совмещения на сетчатом трафарете и подложке, таким образом осуществляется совмещение сетчатого трафарета и подложки. Предложен также способ совмещения нанесенных на обрабатываемую подложку и сетчатый трафарет знаков совмещения, осуществляемый с помощью охарактеризованного выше устройства. 2 с.п. и 6 з.п.ф-лы, 2 ил.	2189707 выдан: опубликован: 20.09.2002
	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАРИОИЗОБРАЖЕНИЙ Способ получения вариоизображений для повышения качества заключается в том, что фрагменты наносят на две противоположные стороны прозрачной безлинзовой основы, причем растровое кодирование осуществляют растром произвольной формы, акцентирующим сюжет исходного изображения. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.	2164705 выдан: опубликован: 27.03.2001
	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУНКА Изобретение относится к технологии создания рисунков с помощью заряженных частиц и может быть использовано при изготовлении различных электронных приборов, запоминающих устройств и т.д., имеющих сложные структуры, состоящие из множества сверхмалых элементов. Способ получения рисунка включает в себя пропускание пучка заряженных частиц через маску и его последующую фокусировку на облучаемую поверхность, при этом пучок, направляемый на маску, формируют с расходимостью 510^-2 - 10^-4рад и дисперсией заряженных частиц по энергиям в пучке 0,1-5 эВ. Изобретение позволяет повысить разрешающую способность и получать единичные элементы изображения с геометрическими размерами порядка нескольких нанометров. 1 ил., 2 табл.	2129294 выдан: опубликован: 20.04.1999