Конструктивные элементы устройств, использующих метод сканирующего зонда: ..зонды с туннельным эффектом – G12B 21/04

Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании сенсоров, функционирующих на основе туннельного эффекта, обеспечивающих преобразование «перемещение-электрический сигнал», в информационных системах мониторинга для прогнозирования, диагностики и контроля воздействий ударных волн и акустических колебаний на различные конструкции, транспортные средства, промышленные здания и сооружения, температуры, для создания сверхчувствительных микрофонов и диагностического медицинского оборудования. Технический результат изобретения - повышение чувствительности, вибро- и ударопрочности, технологичности туннельного наносенсора механических колебаний и воспроизводимости процесса изготовления, что понижает затраты на его производство. Сущность изобретения: в туннельном наносенсоре механических колебаний кантилеверный электрод выполнен в виде биморфной балки на основе последовательно сформированных слоев с отличающимися друг от друга коэффициентами термического расширения, причем коэффициент термического расширения нижнего больше, чем верхнего слоя, а туннельный электрод выполнен на основе массива нанотрубок. Наносенсор содержит тонкопленочный нагреватель, что обеспечивает возможность десорбции низкомолекулярных веществ, прецизионной юстировки туннельного зазора и формирования нанотрубок после удаления «жертвенного» технологического слоя. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.