Конструктивные элементы устройств, использующих метод сканирующего зонда: ..атомные силовые зонды – G12B 21/08

Изобретение относится к области атомных силовых микроскопов и зондам, применяемым в указанных микроскопах. Зонд для использования в атомном силовом микроскопе или для нанолитографии содержит силоизмерительный элемент, соединенный с наконечником зонда с радиусом наконечника 100 нм или менее. Силоизмерительный элемент имеет низкий коэффициент добротности для, по меньшей мере, одной моды колебаний силоизмерительного элемента, при этом указанный зонд выполнен таким образом, что при воздействии на зонд приложенной извне силы усилие смещения поджимает наконечник зонда или образец, или и тот и другой друг к другу с величиной, превосходящей восстанавливающую силу, возникающую вследствие смещения наконечника зонда при зондировании им образца. Коэффициент добротности можно снизить с нанесением на пластину покрытия из материала, рассеивающего механическую энергию. Цель изобретения - усовершенствование отслеживания поверхности образца зондом, ускорение получения сканированных изображений. 5 н. и 25 з.п. ф-лы, 17 ил.

Изобретение относится к зонду для зондового микроскопа с использованием прозрачной подложки, в котором кантилевер может быть оптически возбужден и измерен, и к способу изготовления зонда, и к зондовому устройству микроскопа. Зондовый микроскоп имеет зонд, снабженный одним или несколькими кантилеверами (1202, 1204) на одной поверхности каждой из прозрачных подложек (1201, 1203), при этом прозрачные подложки образованы из материала, прозрачного для видимого света или света ближнего инфракрасного диапазона, кантилеверы поддерживаются на предварительно определенных расстояниях от поверхностей и сформированы из тонкой пленки. Прозрачная подложка (1201) разобщает среды внутренней стороны и наружной стороны контейнера и выполняет функцию смотрового окна, обеспечивающего возможность оптического наблюдения и измерения. Кантилеверы (1202, 1204) могут оптически наблюдаться или измеряться со стороны задних поверхностей прозрачных подложек (1201, 1203) и могут быть оптически возбуждены. Прозрачная подложка (1201) содержит оптическую линзу как часть подложки. 3 н. и 6 з.п. ф-лы, 29 ил.

Изобретение относится к конструкции зонда для сканирующего зондового микроскопа. Предусмотрены зонд для сканирующего зондового микроскопа и способ изготовления зонда, которые могут выполнять точные измерения без контактирования основания кантилевера с измеряемым объектом и без скрывания объекта основанием зонда. Зонд для сканирующего зондового микроскопа включает основание, опорный кантилевер, горизонтально проходящий от основания, при этом верхний конец опорного кантилевера обработан так, чтобы иметь наклонную поверхность так, чтобы не препятствовать оптическому наблюдению измерительного кантилевера, и измерительный кантилевер, предусмотренный на верхнем конце опорного кантилевера и имеющий длину, меньшую или равную 20 микронам, и толщину, меньшую или равную 1 микрону. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 13 ил.

Изобретение относится к способам и устройствам для измерения частоты колебаний мультикантилевера. Способ, в котором множество кантилеверов, имеющих различные длины и различные собственные частоты и расположенных группами по радиусам от спирального основания, освещают общим лазерным возбуждающим пятном. Одновременно возбуждают собственные колебания множества кантилеверов постоянным световым возбуждением для измерения колебаний. Устройство содержит множество кантилеверов, имеющих различные длины и различные собственные частоты и расположенных группами по радиусам от спирального основания, средство для одновременного возбуждения собственных колебаний кантилеверов постоянным световым возбуждением. Микроскоп со сканирующим зондом с использованием устройства для измерения частоты колебаний мультикантилевера для самовозбуждения собственных частот кантилеверов, для обнаружения взаимодействия между образцом и зондом на кончике каждого кантилевера в виде изменения частоты самовозбуждающегося колебания, амплитуды самовозбуждающегося колебания или фазы самовозбуждающегося колебания. Технический результат - исключение необходимости включения в состав каждого кантилевера элемента возбуждения, обнаружение и упрощение структуры матрицы кантилеверов за счет оптической накачки и оптического измерения, обеспечение высоких значений добротности и применение разнообразных высокочастотных операций и модифицированных способов для кантилеверов. 19 н. и 2 з.п. ф-лы, 6 ил.