Электростатические реле; реле, основанные на явлении электростатического прилипания – H01H 59/00

Изобретение относится к области электротехники, а именно к способу изготовления электростатического силового микроэлектромеханического ключа, в котором формируется плоскопараллельное соединение поверхности кремниевого кристалла и печатной платы за счет сформированного микрорельефа на соединяемой поверхности кремниевого кристалла с использованием проводящего клеевого соединения. Обеспечение заданного зазора между подвижной структурой кремниевого кристалла и печатной платой и создание за счет этого оптимального соотношения между величиной управляющего напряжения и жесткостью подвижной структуры кремниевого кристалла является техническим результатом изобретения. Способ изготовления микромеханического элемента включает формирование на подложке кремния (1) технологической мембраны (2), выступов (3), рабочей мембраны (5), микрорельефа (4), приповерхностного высоколегированного n+ слоя (6) и изоляции (7) фотолитографией, формирование металлического шунта (8) путем напыления золота на подслой вольфрама и формирование подвижного электрода в виде консоли с гибкими поддерживающими балками сквозным плазмохимическим травлением щелевидных отверстий (9) в рабочей мембране, а также изготовление металлической печатной платы (10), силовых шин (11), нижнего электрода (12) и рамки для верхнего электрода (13), с последующим соединением микромеханического элемента и металлической печатной платы при помощи проводящего клея. 4 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к микросистемной технике для создания электростатически управляемых микромеханических резонаторов для датчикопреобразующей аппаратуры и микрореле для коммутации СВЧ и НЧ аналоговых электрических цепей. Система содержит микромеханический исполнительный элемент, микроэлектронный преобразователь постоянного тока, вибрирующий элемент в виде миниатюрного пьезоэлектрического резонатора, автоколебательную резонансную схему, обратную связь, фазовращатель, емкость (конденсатор), интегральные логические КМОП-элементы, жесткую пластину и упругие подвесы. Технический результат заключается в создании микромеханической системы, отличающейся простотой конструкции и устойчивыми воспроизводимыми эксплуатационными характеристиками. 5 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.

Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано в радиочастотных коммуникационных системах. РЧ МЭМС-переключатель содержит микромеханическое переключающее устройство, размещенное на подложке и выполненное с возможностью приведения в действие между двумя положениями: первым положением (отключенное состояние) и вторым положением (включенное состояние), и активирующее устройство, предназначенное для приведения переключающего устройства в соответствующее положение. При этом микромеханическое переключающее устройство содержит гибкую мембрану (6), свободно поддерживаемую опорным устройством (3) и выполненную с возможностью изгибаться под воздействием активирующего устройства (7) и свободно скользить относительно опорного устройства (3) во время своего перемещения изгиба. 24 з.п. ф-лы, 4 ил.

Устройство относится к области электротехники и может быть использовано при изготовлении миниатюрных реле. Техническим результатом является увеличение срока службы и повышение надежности работы при уменьшении габаритов миниатюрного реле. Реле содержит первую зону, обращенную ко второй зоне, первую конденсаторную пластину (3), вторую конденсаторную пластину (9), расположенную во второй зоне и имеющую размер, который меньше размера первой пластины или равен ему, промежуточное пространство (25) между двумя зонами, проводящий элемент (7), расположенный в промежуточном пространстве (25), механически независимый от примыкающих стенок и способный независимо перемещаться в промежуточном пространстве (25) как вдоль, так и поперек, в зависимости от напряжений, прилагаемых между двумя пластинами, и точки (15, 17) контакта электрической цепи, в которых проводящий элемент (7) замыкает электрическую цепь посредством вхождения в контакт с точками (15, 17) контакта. Такие реле могут использоваться, например, в качестве акселерометров, акселерометров в пневмоподушках безопасности и в наклонометрах. 5 н. и 21 з.п. ф-лы, 18 ил.