Газонаполненные разрядные приборы с твердыми катодами: .элементы конструкции – H01J 17/02

МПКРаздел HH01H01JH01J 17/00H01J 17/02
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы
H01J 17/00 Газонаполненные разрядные приборы с твердыми катодами
H01J 17/02 .элементы конструкции 

Патенты в данной категории

ПЛАЗМЕННЫЙ КОММУТАТОР

Плазменный коммутатор относится к электронной технике и может быть, в частности, использован при создании импульсных генераторов, источников питания импульсных устройств, импульсных лазеров. Плазменный коммутатор содержит герметизируемую камеру, заполненную рабочим газом, с катодом и сетчатым анодом. Сетчатый анод выполнен с поверхностью, эквидистантной внутренней поверхности катода, а катод - в составе пластин катода, расположенных напротив друг друга с зазором. Технический результат - повышение скорости коммутации, увеличение скорости нарастания плотности тока и общего тока. 6 з.п. ф-лы, 5 ил.

2528015
патент выдан:
опубликован: 10.09.2014
ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ КОММУТАТОР

Газоразрядный коммутатор относится к электронной технике и может быть, в частности, использован при создании импульсных генераторов, источников питания импульсных устройств, импульсных лазеров. Содержит газонаполненный герметичный корпус с расположенными в нем катодом и анодом, выполненными, соответственно, в виде обечайки, охватывающей разрядную область, и в виде сетки, с зазором друг относительно друга. В корпусе между электрическими вводами катода и анода установлен изолятор. Корпус заполнен рабочим газом в составе гелия и/или неона с добавками водорода в количествах, приводящих к преимущественной ионизации водорода, с давлением от 0,05 до 0,5 Торр. Технический результат - за счет указанных добавок водорода в рабочий газ обеспечивается повышение скорости коммутации и достижение возможности коммутации высоковольтных электрических импульсов с субнаносекундным фронтом нарастания. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

2497224
патент выдан:
опубликован: 27.10.2013
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОНАПОЛНЕННОГО РАЗРЯДНИКА

Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано при разработке высоковольтных приборов, например разрядников-обострителей с субнаносекундной коммутацией для использования в мощных малогабаритных генераторах высоковольтных импульсов напряжения с длительностью фронта менее 0,5 нс. Технический результат - повышение надежности герметичности газонаполненного разрядника. Способ изготовления газонаполненного разрядника заключается в изготовлении металлического корпуса в виде полого цилиндра и сборке металлокерамического узла, включающего изолятор в виде полого усеченного конуса, большее основание которого соединено с манжетой охватывающим спаем, а на меньшем основании расположен экран с электродом, вывод которого проходит в изоляторе, размещении металлокерамического узла в корпусе и соединении корпуса с манжетой их внешними краями, например, аргонно-дуговой сваркой. При изготовлении металлокерамического узла сборку изолятора с манжетой, выводом электрода, экраном и электродом проводят с размещением в местах их соединений первого припоя, оплавляют первый припой, затем после размещения в корпусе металлокерамического узла устанавливают на экране проводники, в корпусе разделяющую его объем на верхнюю и нижнюю части поперечную перегородку со вторым электродом, через отверстия в которой проходят проводники, а на проводниках переходной контакт с размещением в местах их соединений второго припоя с температурой плавления не более температуры плавления первого припоя, оплавляют второй припой, после чего соединяют корпус с манжетой их внешними краями, затем в верхней части объема корпуса устанавливают, соединяя с переходным контактом, второй металлокерамический узел, изготовленный путем соединения охватывающим спаем манжеты с большим основанием изолятора, выполненного в виде полого усеченного конуса, размещения внутри изолятора второго вывода электрода, а на меньшем основании изолятора экрана с размещением в местах их соединений первого припоя и его последующего оплавления, соединения внешних краев манжеты и переходного кольца, а затем после установки второго металлокерамического узла в верхней части объема соединяют внешние края корпуса и переходного кольца. 1 ил.

2489765
патент выдан:
опубликован: 10.08.2013
ГАЗОНАПОЛНЕННЫЙ РАЗРЯДНИК И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Разрядник содержит металлический корпус в виде полого цилиндра с поперечной перегородкой, изолятор в виде полого усеченного конуса и два электрода. Первый электрод расположен на перегородке, а второй - на экране на меньшем основании изолятора. Внутри изолятора проходит вывод второго электрода, соединенный со вторым выводом, расположенным в изоляторе в верхней части объема цилиндра посредством проводников, проходящих через отверстия в перегородке и закрепленных на экране в нижнем объеме цилиндра и на переходном контакте в верхнем объеме цилиндра. Соединение края цилиндра с изолятором в нижней части объема цилиндра выполнено через манжету охватывающим спаем из высокотемпературного припоя, а в верхней части объема цилиндра - через манжету охватывающим спаем из высокотемпературного припоя и переходное кольцо, соприкасающееся с цилиндром. Соединения вывода второго электрода и второго вывода с торцевыми поверхностями меньших оснований изоляторов и экранов выполнены вторым припоем с температурой плавления, меньшей, чем температура плавления высокотемпературного припоя. Соединения перегородки с цилиндром, проводников с экраном и переходным контактом выполнены третьим припоем с температурой плавления не выше, чем температура плавления второго припоя. Внешние края манжеты и цилиндра в нижней части объема, манжеты и переходного кольца, переходного кольца и цилиндра в верхней части объема соединены друг с другом сваркой. Технический результат - повышение надежности и герметичности. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.

2474913
патент выдан:
опубликован: 10.02.2013
СПОСОБ ПОДБОРА ПРОФИЛЯ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРОДОВ ДЛЯ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ РАЗРЯДНИКОВ

Изобретение относится к высоковольтной технике и может быть использовано при разработке высоковольтных малогабаритных разрядников с электродами самых различных конфигураций. Способ подбора профиля поверхности электродов для высоковольтных разрядников заключается в том, что создают вспомогательные электроды, определяют форму эквипотенциальных поверхностей электрического поля между ними и выбирают образующую электродной поверхности по форме образующей одной из эквипотенциальных поверхностей. Согласно изобретению вспомогательные электроды составляют из тонких дисков, и/или цилиндров, и/или стержней, при этом потенциал эквипотенциальной линии относительно любого из двух вспомогательных электродов выбирают равным 0.4-0.6 U, где U - напряжение между вспомогательными электродами. Технический результат: повышение электрической прочности разрядника, увеличение его надежности, стабильности и ресурса работы. 13 ил.

2423765
патент выдан:
опубликован: 10.07.2011
ГАЗОНАПОЛНЕННЫЙ РАЗРЯДНИК

Изобретение касается газоразрядных искровых разрядников-обострителей с двумя электродами. Оболочка разрядника состоит из металлического корпуса в виде цилиндрического стакана с отбортовкой и размещенного в нем изолятора в виде полого усеченного конуса с боковой цилиндрической поверхностью в его нижней части. На внутренней поверхности нижней части металлического корпуса расположена манжета, повторяющая форму этой поверхности с образованием уступа, в котором установлено основание нижней части изолятора, боковая цилиндрическая поверхность которой соединена с внутренней поверхностью верхней части манжеты швом герметизации. Нижние части манжеты и металлического корпуса соединены друг с другом, например, аргонно-дуговой сваркой, за счет того, что на внутренней поверхности корпуса на уровне верхней границы соединения изолятора с манжетой выполнен дополнительный уступ, а верхняя часть манжеты выше верхней границы ее соединения с изолятором имеет утолщение, выступающее за внешнюю поверхность манжеты над дополнительным уступом. Утолщение манжеты равно ширине дополнительного уступа и выполнено со скругленными краями, обращенными внутрь полости, образованной корпусом и изолятором. Технический результат - повышение механической и электрической прочности и стабильности динамического напряжения пробоя разрядника, а также согласование его с нагрузкой при коаксиальном включении. 1 ил.

2423752
патент выдан:
опубликован: 10.07.2011
ГАЗОНАПОЛНЕННЫЙ РАЗРЯДНИК

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при разработке высоковольтных газоразрядных приборов, например разрядников для коммутации цепей сильноточных ускорителей заряженных частиц. Техническим результатом является уменьшение габаритов разрядника, повышение технологичности изготовления, повышение удобства эксплуатации, снижение собственной индуктивности, увеличение ресурса работы. Технический результат достигается за счет того, что в известном газонаполненном разряднике, содержащем два электрода, расположенных соосно друг напротив друга внутри корпуса и электрически отделенных друг от друга изолятором, а также механизм возвратно-поступательного перемещения одного из электродов вдоль оси разрядника, закрепленный на торце корпуса через диэлектрический фланец, корпус выполнен металлическим, а механизм перемещения содержит два одноплечих и два двуплечих Г-образных рычага, попарно связанных друг с другом и с фланцем, ходовой винт, перпендикулярный оси разрядника и связанный с концами двуплечих рычагов посредством поворотных втулок, и выносную диэлектрическую рукоятку, жестко связанную с ходовым винтом, при этом подвижный электрод закреплен на подпружиненном штоке и электрически соединен с корпусом при помощи металлической мембраны. 2 ил.

2396656
патент выдан:
опубликован: 10.08.2010
ГАЗОНАПОЛНЕННЫЙ РАЗРЯДНИК

Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано при разработке высоковольтных приборов, например разрядников-обострителей с субнаносекундной коммутацией, для использования в мощных малогабаритных генераторах высоковольтных импульсов напряжения с длительностью фронта менее 0,5 нс. Газонаполненный разрядник содержит оболочку, состоящую из металлического корпуса в виде цилиндрического стакана и размещенного в нем изолятора в виде полого усеченного конуса, два соосных электрода, один из которых закреплен на внутренней поверхности дна цилиндрического стакана, а второй - на торцевой поверхности меньшего основания изолятора, внутри которого проходит осевой вывод второго электрода. В разряднике образован дополнительный объем, ограниченный дном цилиндрического стакана и продолжением его цилиндрической части за дном стакана, в который введен второй изолятор в виде полого усеченного конуса с большим основанием, соединенным с краем продолжения цилиндрической части стакана и меньшим, обращенным внутрь объема. Осевой вывод второго электрода гальванически соединен с расположенным во втором изоляторе вторым осевым выводом через отверстия в дне цилиндрического стакана посредством проводников, каждый из которых проходит через отверстие, образуя зазор, обеспечивающий электрическую прочность разрядника. Технический результат - создание газонаполненного разрядника с раздельными входом и выходом, используемого для формирования высоковольтных импульсов напряжения с субнаносекундными фронтами (менее 1 нс). 1 ил.

2379781
патент выдан:
опубликован: 20.01.2010
УНИВЕРСАЛЬНЫЙ ДУГОВОЙ ИСТОЧНИК ВУФ-ФОТОНОВ И ХИМИЧЕСКИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ

Изобретение относится к источникам ВУФ-фотонов и химически активных частиц, предназначенным для поверхностной обработки ВУФ-излучением, а также для плазмохимического травления и наращивания материалов на подложках с большой общей обрабатываемой площадью. Универсальный дуговой источник ВУФ содержит разрядную трубку из охлаждаемых металлических секций с защитным покрытием, холодный дуговой катод с удержанием катодных пятен дуги внутри рабочей полости, анод, систему откачки и напуска рабочего газа, при этом в секциях трубки перпендикулярно оси разряда выполняются боковые отверстия сравнимого с длиной секции размера, в которых с помощью держателей герметично фиксируются обрабатываемые подложки с масками (либо без масок). Технический результат: возможность облучения, травления и наращивания материалов на подложках с большой общей обрабатываемой площадью за счет использования активных частиц и ВУФ-фотонов, излучаемых почти со всей боковой поверхности разряда. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

2324255
патент выдан:
опубликован: 10.05.2008
ГАЗОНАПОЛНЕННЫЙ РАЗРЯДНИК

Изобретение может быть использовано при создании газонаполненных искровых разрядников с высокой механической и электрической прочностью. Разрядник содержит оболочку, состоящую из металлического корпуса в виде цилиндрического стакана с отбортовкой и размещенного в нем изолятора в виде полого усеченного конуса с боковой цилиндрической поверхностью в его нижней части и два электрода (анод и катод). Анод закреплен на внутренней поверхности дна цилиндрического стакана, а катод - на торцевой поверхности меньшего основания изолятора. Внутри изолятора проходит осевой вывод катода. С внутренней стороны нижней части металлического корпуса расположена манжета, соединенная с основанием нижней части изолятора. Манжета расположена на внутренней поверхности металлического корпуса, повторяя ее форму с образованием уступа, в котором установлено основание нижней части изолятора, боковая цилиндрическая поверхность которой соединена с внутренней поверхностью верхней части манжеты швом герметизации. Нижние части манжеты и металлического корпуса соединены друг с другом, например, аргонно-дуговой сваркой. Технический результат - повышение электрической и механической прочности разрядника и обеспечение его согласования с нагрузкой при коаксиальном включении за счет снижения неоднородности электрического поля. 1 ил.

2321097
патент выдан:
опубликован: 27.03.2008
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ТВЕРДОГО ПОРОШКОВОГО ФТОРПОЛИМЕРА И ИСПОЛЬЗУЕМЫЙ В НИХ ЗОНД ГАШЕНИЯ ПЛАЗМЕННОГО РЕАКТОРА

Изобретение относится к способу обработки твердого порошкового фторполимера. Способ предусматривает: генерирование, в зоне высокой температуры, электрической дуги между по меньшей мере одним катодом и по меньшей мере одним анодом; генерирование, в зоне высокой температуры и при помощи электрической дуги и газообразной плазмы, горящей вверх термической плазмы, имеющей хвостовой факел; образование химически активной термической смеси термической плазмы с хвостовым факелом и фторполимера, который диссоциирует с образованием по меньшей мере одного предшественника фторуглерода или химически активных, разновидностей; и гашение газообразной фазы, которая содержит предшественник фторуглерода или химически активные разновидности, для образования по меньшей мере одного мономерного фторуглеродного соединения. Также изобретение относится к установке для обработки твердого порошкового фторполимера и зонду гашения плазменного реактора. Изобретение позволяет создать способ и установку для получения мономерных фторуглеродных соединений из твердых порошкообразных фторполимеров. 3 н. и 26 з.п. ф-лы, 2 табл., 2 ил.

2262501
патент выдан:
опубликован: 20.10.2005
ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ИНДИКАТОРНАЯ ПАНЕЛЬ

Изобретение относится к области газоразрядной техники и может быть использовано при разработке средств отображения информации на газоразрядных индикаторных панелях (ГИП) переменного тока. Технический результат – надежное подсоединение к устройству управления ГИП с высокой разрешающей способностью. Обеспечивается за счет того, что контактные площадки электродов, объединенные в группы, смещены в них друг относительно друга, образуя ряды. 3 ил.

2253920
патент выдан:
опубликован: 10.06.2005
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РАЗРЯДНИКА

Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано при разработке и производстве газоразрядных приборов, в частности разрядников для коммутации импульсов высокого напряжения. Способ заключается в сборке электродных узлов, размещении каждого узла на отшлифованный по плоскостям цилиндр и накрывании узла фиксирующим стаканом с отверстием. После чего, по плоскости электрода, выступающей из отверстия стакана, производят деформацию чашки узла электрода до устранения кривизны рабочей поверхности электрода, затем впаивают узлы в корпус прибора, откачивают и наполняют рабочим газом до давления, необходимого для получения заданного напряжения зажигания. Техническим результатом является то, что в предлагаемом способе повышается точность установки параллельности и зазора между электродами по всей поверхности электрода. 3 ил.

2231161
патент выдан:
опубликован: 20.06.2004
ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ

Изобретение относится к области газоразрядных высоковакуумных (Р<0,1 Па) устройств. Техническим результатом является повышение эффективности извлечения электронного пучка, а также газовой и энергетической эффективности. Плазменный источник электронов содержит выполненные в виде тел вращения с центральными отверстиями внутренний и внешний полюсные наконечники с расположенным между ними источником магнитодвижущей силы и размещенные в герметичном корпусе дуговой диафрагмированный полый катод с устройством подачи газа, а также установленные между соосными выходными отверстиями катода и корпуса соосно с ними выполненные в виде тел вращения с центральными отверстиями промежуточный и главный аноды. Между выходными отверстиями катода и корпуса последовательно установлены промежуточный анод, внутренний полюсный наконечник, кольцевой коллектор, главный анод и внешний полюсный наконечник. Главный анод выполнен из магнитослабого материала и расположен так, что через отверстие в нем протекает не менее 30% создаваемого в пространстве между полюсными наконечниками магнитного потока. Внутренний и внешний полюсные наконечники электрически соединены с катодом. В общем случае плазменный источник снабжен кольцевым коллектором, соединенным с дополнительным устройством подачи газа. В кольцевом коллекторе выполнены отверстия, обеспечивающие подачу газа в пространство между полюсными наконечниками. 7 з.п.ф-лы, 2 ил.
2208871
патент выдан:
опубликован: 20.07.2003
ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ПРИБОР

Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано при создании разрядников, предназначенных для коммутации электрических цепей и защиты аппаратуры и линий связи от опасных перенапряжений. Техническим результатом предложенного изобретения является повышение надежности и долговечности разрядника в режиме длинных импульсов высокого уровня коммутируемой энергии, в сильноточном непрерывном режиме, а также в импульсном режиме с высоким потенциалом погасания. Разрядник содержит два и более сообщающихся между собой разрядных промежутка, образованных анодом, катодом (2) и узлами промежуточных электродов (10, 11). Промежуточные электроды (10, 11) расположены на обеих поверхностях сплошного диска (5), выполненного с кольцевой канавкой 6 вокруг электрода, например, (10), на одной из его поверхностей и, по крайней мере, с одним сквозным отверстием (7), расположенным в кольцевой канавке, закрытой металлической кольцевой крышкой (8), выполненной, по крайней мере, с одним сквозным отверстием (9), причем отверстие (9) в крышке (8) и отверстие (7) в кольцевой канавке (6) диска (5) расположены по разные стороны от оси прибора. 1 ил.
2192067
патент выдан:
опубликован: 27.10.2002
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ КОНСТРУКТИВНОГО ЭЛЕМЕНТА ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ИНДИКАТОРНОЙ ПАНЕЛИ

Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано для формирования конструктивных элементов газоразрядных индикаторных панелей (ГИП), например электродов, разделительных элементов и др. Технический результат - создание способа формирования конструктивного элемента ГИП на поверхности пластины методом трафаретной печати, позволяющего получить конструктивные элементы заданной формы за счет исключения растекания пасты на поверхности стеклопластины. Получение конструктивных элементов заданной формы обеспечивается за счет нанесения пасты, формирующей конструктивные элементы, на слой органического материала, состоящего из компонентов, входящих в состав органического связующего пасты, сформированного на поверхности диэлектрической пластины.
2158984
патент выдан:
опубликован: 10.11.2000
ИСТОЧНИК СВЕТА ВЫСОКОЙ ЯРКОСТИ

Источник света высокой яркости состоит из корпуса с прозрачным экраном, на котором расположен токопроводящий слой с нанесенным на него люминофором, и расположенным внутри корпуса катодом. Катод выполнен плоским, между катодом и экраном на определенном расстоянии от катода расположен сетчатый анод, а корпус заполнен рабочим газом. Рабочим газом может быть инертный газ или смесь инертных газов. Катод и анод могут быть выполнены из слабораспыляемых материалов. Катод может быть выполнен сетчатым, и со стороны катода располагается дополнительный экран с расположенным на нем токопроводящим слоем и нанесенным на него люминофором. В качестве люминофора может быть использован высокоэффективный фотолюминофор. Давление рабочего газа и параметры возбуждения выбираются оптимальными для возбуждения ультрафиолетового излучения рабочего газа. Техническим результатом является повышение эффективности источника света. 4 з.п.ф-лы, 3 ил.
2155416
патент выдан:
опубликован: 27.08.2000
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ В ГАЗОРАЗРЯДНОМ ПРИБОРЕ

Изобретение относится к технологии формирования защитных покрытий в газоразрядных приборах. Способ формирования защитного покрытия в газоразрядном приборе, в частности в PDP (Plasma Display Panel), включает нанесение магний-ион содержащего электролита в органическом растворителе на защищаемую поверхность и последующий обжиг при температуре не более 450oС. Способ позволяет формировать оптически прозрачную тонкую пленку, повышающую эффективность свечения газоразрядного прибора (PDP) более чем на 10% за счет своей развитой поверхности, обуславливаемой образованием MgO в нескольких разных температурных диапазонах. 1 табл.
2140113
патент выдан:
опубликован: 20.10.1999
ГАЗОНАПОЛНЕННЫЙ РАЗРЯДНИК

Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано при разработке высоковольтных газонаполненных искровых разрядников, например, для формирования и коммутации импульсов тока наносекундной длительности и большой амплитуды. Техническим результатом является упрощение конструкции при сохранении стабильности геометрических размеров межэлектродного зазора, а также увеличение надежности мест соединения изолятора и электродного узла. Газонаполненный разрядник содержит по меньшей мере один электрод, расположенный на меньшем основании конического изолятора, и манжету, одна поверхность которой соединена с торцевой поверхностью конического изолятора. Манжета выполнена с дисковым или плоским кольцевым участком. Другая поверхность манжеты соединена с внутренней плоской поверхностью электрода. Электрод, конический изолятор и манжета выполнены из материалов с близкими по значению коэффициентами термического расширения. 2 ил., 1 табл.
2120153
патент выдан:
опубликован: 10.10.1998
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ

Сущностью изобретения является катодный узел, в котором элементы напуска газа выполнены в виде двух блоков, расположенных по периферии электрода-мишени, совмещенного с подложкой. Блоки выполнены с возможностью последовательной подачи через них инертных и активных газов посредством золотниковой системы, магнитная система выполнена с возможностью регулирования индукции магнитного поля от нуля до максимальной эксплутационной величины. Подложка имеет трафарет, установленный с возможностью перемещения относительно подложки. 1 з.п. ф-лы 4 ил.
2089661
патент выдан:
опубликован: 10.09.1997
ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ПРИБОР С ХОЛОДНЫМ КАТОДОМ

Использование : в электронной технике, в газоразрядных приборах с холодным ненакаливаемым катодом, называемых "псевдоискровыми" коммутаторами. Сущность изобретения: в известном газоразрядном приборе с холодным катодом, содержащим расположеные в герметичной газонаполненной оболочке высоковольтные электроды - анод с полой камерой либо без нее и первый катод с полой камерой, ограниченной металлическими стенками с отверстиями, образующими высоковольтный разрядный промежуток, вспомогательный анод и второй катод, расположенные в противоположной от основного анода части прибора - узле управления, служащем для управления моментом включения разряда и сообщающимися с высоковольтным промежутком через отверстия в электродах, а также резервуар с запасом рабочего газа, первый катод выполняется смежно со вторым катодом, а вспомогательный анод располагается внутри второго катода, выполненного в виде одной или нескольких замкнутых полостей с одним или несколькими отверстиями. Второй катод выполнен в виде кольцеобразной замкнутой полости, ось которой совпадает с осью прибора, с отверстиями на торцевой и внутренней цилиндрической стенке, обращенной к вспомогательному аноду. 11 з.п. ф-лы, 9 ил.
2089003
патент выдан:
опубликован: 27.08.1997
СПОСОБ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Изобретение относится к вакуумной плазменной технологии, предназначено для чистки и напыления на поверхность изделий тонкопленочных защитных или декоративных покрытий и может использоваться в машиностроении, микроэлектронике, легкой и других отраслях промышленности. Сущность изобретения: способ состоит в том, что деталь погружают последовательно в поток инертного плазмообразующего газа, достигая очистки и нагрева ее поверхности, а затем в поток плазмы транспортирующего газа, содержащего веществ: напыления. Процесс проводят при энергии ионов в плазменном потоке не меньшем 1,5 потенциалов ионизации плазмообразующего газа, газовый разряд возникает между плазменным потоком, который служит анодом, и обрабатываемой деталью, которая выполняет роль катода. Обрабатываемые детали в плазменном потоке непрерывно равномерно вращают вокруг оси, перпендикулярной оси потока, что обеспечивает их равномерную обработку. Устройство для обработки деталей содержит установленные в технологической вакуумной камере 1 плазменный ускоритель, перед выходным срезом сопла которого на валу 6 привода вращения смонтирован металлический держатель деталей 2 в виде патрона 3 с оправками 4, которые закреплены на нем таким образом, что позволяют в зависимости от размеров и формы деталей и заданных режимов обеспечить обработку поверхности деталей равномерно с заданными параметрами. 2 с.и 9 з.п.ф-лы, 3 ил.
2063472
патент выдан:
опубликован: 10.07.1996
Наверх