Приборы с ионным пучком: ..с использованием дугового разряда – H01J 27/08
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы
H01J 27/00 Приборы с ионным пучком
H01J 27/08 ..с использованием дугового разряда
Патенты в данной категории
| СПОСОБ ГЕНЕРИРОВАНИЯ ИОННОГО ПУЧКА Использование: для вакуумно-плазменной обработки инструмента, деталей машин и прочих изделий. Сущность изобретения: в разрядной полости вакуумной камеры возбуждают двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд с интегрально-холодным катодом, включающий разделенные металлогазовую и газовую ступени. Эмиссионную сетку располагают в зоне газовой ступени разряда. Подачу отрицательного потенциала на сетку и в зону рабочей полости вакуумной камеры осуществляют после поджига дуги разряда. При этом металло-газовую ступень последнего отделяют от рабочей полости камеры. Кроме того, в зоне столба газовой плазмы создают магнитное поле, силовые линии которого расположены в плоскостях, перпендикулярных направлению тока разряда и имеют направление, обеспечивающее смещение разрядного канала в сторону сетки. 6 з.п. ф-лы, 5 ил. | 2038643 патент выдан: опубликован: 27.06.1995 |
|