Приборы с ионным пучком: ...дуоплазматроны – H01J 27/10

Изобретение относится к области фотохимических и фотофизических технологий и может найти широкое применение в квантовой электронике при фотоионизационном возбуждении лазерных и плазмохимических сред, в микроэлектронике при производстве интегральных схем, в медицине и экологии при создании бактерицидных установок, а также при создании фотохимических реакторов различного назначения. Импульсно-периодический широкоапертурный источник ультрафиолетового излучения на основе матрицы микрошнуров плазмы содержит многозазорную структуру электродов, выполненную в виде колец, размещенных с шагом друг от друга с заданными щелевыми промежутками и расположенных на покрытых диэлектрической пленкой поджигающих электродах, выполненных в виде металлических стержней, соединенных между собой параллельно, при этом кольцевые электроды, расположенные на разных стержнях, расположены напротив друг друга и соединены в электрическую цепь, подключенную к емкостному накопителю энергии. Ширина каждого кольцевого электрода, толщина и коэффициент диэлектрической проницаемости диэлектрической пленки, покрывающей стержневой электрод, выполнены таким образом, что электрическая емкость между кольцевым и поджигающим электродом больше емкости щелевого разрядного промежутка. Технический результат: увеличение эффективности генерации фотонов повышенной энергии. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.