Приборы с ионным пучком: ...другие ионные источники на дуговом разряде с использованием магнитного поля – H01J 27/14
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы
H01J 27/00 Приборы с ионным пучком
H01J 27/14 ...другие ионные источники на дуговом разряде с использованием магнитного поля
Патенты в данной категории
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИОННОГО ЛУЧА Изобретение относится к электронике, а более конкретно к способам получения ионного луча. Технический результат - повышение сфокусированности луча при малой интенсивности ионного луча прямолинейной направленности. Поток электронов и первичный ионный луч создают от мишени к зонду путем последовательного воздействия прямым электрическим, магнитным и обратным электрическим полями, затем между мишенью и зондом устанавливают подложку и вновь воздействуют прямым электрическим полем, причем мишень и подложку предварительно электрически связывают и создают вторичный ионный луч. 2 ил. | 2219618 патент выдан: опубликован: 20.12.2003 |
|