Приборы с ионным пучком: ..с использованием поверхностной ионизации, например ионные источники с эмиссией под действием поля, термоионные источники ионов – H01J 27/26

МПК Раздел H H01 H01J H01J 27/00 H01J 27/26

Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО

H01 Основные элементы электрического оборудования

H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы

H01J 27/00 Приборы с ионным пучком

H01J 27/26 ..с использованием поверхностной ионизации, например ионные источники с эмиссией под действием поля, термоионные источники ионов

Патенты в данной категории

	УСТРОЙСТВО СОЗДАНИЯ ИОННЫХ ПОТОКОВ Изобретение относится к области создания полупроводниковых приборов методом легирования и предназначено для получения направленных потоков (пучков) ионов. Устройство создания ионных потоков состоит из вакуумной камеры с источником ионов и двух электродов, причем источник ионов выполнен в виде резервуара с жидкостью, внутри которого установлен электрод (анод). Электрод и стенки резервуара расположены с некоторым зазором, создающим капиллярное движение потока жидкости из резервуара, второй электрод (катод) выполнен в форме пластины со щелью, расположенной над первым электродом (анодом). Электрод (анод) выполнен в виде пластины - лезвия. Резервуар может быть соединен как с нагревательным элементом, так и с криогенной установкой. Технический результат - повышение мощности автоэмиссионного источника ионов за счет одновременного повышения силы тока и энергии ионов в пучке. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.	2389105 патент выдан: опубликован: 10.05.2010
	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОТОКА ПОЛОЖИТЕЛЬНЫХ ИОНОВ Изобретение относится к технике получения потока положительных ионов и предназначено для генерирования ионов в технологическом оборудовании. Техническим результатом изобретения является создание способа получения потока положительных ионов электропроводящих материалов при значительно меньших пороговых ускоряющих напряжениях и с увеличенным сроком службы эмиттера за счет исключения ускоренного износа эмиттера и создания в нем дефицита электронного газа. Сущность изобретения: в способе получения потока положительных ионов, заключающемся в приложении между твердотельным эмиттером и электродом-экстрактором напряжения, величина которого достаточна для взрывной ионной эмиссии, через эмиттер произвольной формы пропускают электрический ток и со стороны, противоположной электроду-экстрактору, устанавливают дополнительный электрод-экстрактор, к которому прикладывают положительный потенциал. 2 табл.	2288520 патент выдан: опубликован: 27.11.2006
	АВТОЭМИССИОННЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ С ПОНИЖЕННЫМ РАБОЧИМ НАПРЯЖЕНИЕМ Использование: ионные микроскопы, ионные реактивные двигатели, ускорители ионов, производство ядерных фильтров. Сущность изобретения: ионизацию атомов рабочего газа производят через слой молекул-посредников, напряженность электрического поля у свободных концов которых выше, чем средняя по поверхности электрода. Техническим результатом изобретения является снижение необходимой для работы источника величины электрического напряжения. 2 ил.	2206937 патент выдан: опубликован: 20.06.2003

	ЭМИТТЕР ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ Изобретение относится к электронике и может быть использовано в качестве источника интенсивных электронных потоков, а также в качестве источника ионов. Техническим результатом является обеспечение стабильных эмиссионных свойств эмиттера, в результате чего он может быть источником мощных токов электронов и ионов как в импульсном режиме, так и в режиме постоянной эмиссии. Эмиттер заряженных частиц содержит подложку и диэлектрическую мелкоструктурную сетку в виде пленки со сквозными каналами, между которыми размещен слой из проводящего материала. Новым является выполнение проводящего слоя из жидкого металла или металлического сплава, которым заполнены и сквозные каналы пленки. Проводящий слой может быть выполнен из галлия, сплава галлия и индия, сплава калия и натрия, взятых в соотношении 1:1,45 - 1:1,55, а также из ртути. Подложка может быть снабжена по краям буртиками. Пленка может быть выполнена из слюды, кварца или полимерного материала, например полиэтилентерефталата. 9 з.п.ф-лы, 6 ил.	2143766 патент выдан: опубликован: 27.12.1999
	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОТРИЦАТЕЛЬНЫХ ИОНОВ В ПОВЕРХНОСТНО- ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКАХ Изобретение относится к поверхностно-плазменным источникам отрицательных ионов, а именно к способам получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках, и может быть использовано в ускорителях заряженных частиц или устройствах для осуществления термоядерного синтеза. Способ получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках заключается в том, что в качестве поверхности электрода-конвертора для генерации отрицательных ионов в источнике используют поверхность, получаемую с помощью магнитного керамического порошка, нанесенного на поверхность электрода, выполненного из материала, обладающего магнитными свойствами. Магнитный керамический порошок удерживается на поверхности электрода за счет собственного магнитного поля, при этом наличие собственного замкнутого магнитного поля вблизи поверхности, а также между отдельными частицами порошка позволяет снизить вероятность выхода свободных электронов в плазму и соответственно увеличить выход отрицательных ионов. Сепарация отрицательных ионов и электронов происходит не только в разрядной камере источника, но и на поверхности, полученной с помощью магнитного керамического порошка. Условия генерации отрицательных ионов на поверхности магнитного керамического порошка не изменяют в процессе работы источника. Магнитный керамический порошок получают из барийферритового магнита. 2 з.п. ф-лы.	2109367 патент выдан: опубликован: 20.04.1998
	ИСТОЧНИК ИНТЕНСИВНЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ Использование: в ускорительной технике и в технологических процессах при имплантации, нанесении покрытий. Сущность изобретения заключается в введении жидкого диэлектрика в конструкцию источника ионов, что позволяет повысить интенсивность генерируемого пучка заряженных частиц за счет концентрации электрического поля на возникающих неоднородностях поверхности эмиттера и ионизации паров жидкости в тлеющем разряде. Источник интенсивных ионных пучков содержит соосно расположенные электрод-экстрактор и эмиттер, выполненный в виде острийных токовводов, смачиваемых диэлектрической жидкостью, давление остаточных паров которой достаточно для зажигания в межэлектродном промежутке тлеющего разряда. 1 ил.	2075132 патент выдан: опубликован: 10.03.1997
	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПУЧКА ОТРИЦАТЕЛЬНЫХ ИОНОВ ФУЛЛЕРЕНОВ И/ИЛИ ИХ ПРОИЗВОДНЫХ Назначение: плазменная техника. Сущность изобретения: при получении пучка отрицательных ионов фуллеренов и/или их производных осуществляют испарение фуллеренов и/или их производных, ионизацию и извлечение ионов для формирования пучка. Испарение осуществляют из внутренней эффузионной ячейки, помещенной во внешнюю эффузионную ячейку, а ионизацию проводят при контакте паров фуллеренов с внутренней поверхностью внешней эффузионной ячейки, выполненной из материала, понижающего работу выхода электрона поверхности. 2 з. п. ф-лы, 1 ил.	2074451 патент выдан: опубликован: 27.02.1997
	ПОЛЕВОЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК Использование: электронная техника, в частности технологические устройства для осаждения многослойных тонкопленочных структур испарением исходных материалов в вакууме. Сущность изобретения: в зоне прямой видимости острия автокатода располагается карусель с размещенными на ней мишенями исходных испаряемых материалов, на поверхность которых в одной из позиций карусели может воздействовать сфокусированный, сканирующий импульсный лазерный луч. В фокальном пятне лазерного луча формируется поток испаряемого материала, часть которого конденсируется на острие автокатода, восполняя на нем запас рабочего вещества. При приложении к автокатоду высокого напряжения вещество испаряется в ионизированном состоянии и затем попадает в ускорительную систему, расположенную на одной оси симметрии с острием автокатода. На этой же оси размещается вход в трубу дрейфа, на которой с внешней стороны размещен соленоид, создающий внутри трубы равномерное поле, вдоль силовых линий которого перемещаются образовавшиеся в результате полевого испарения ионы. Ось трубы дрейфа имеет радиус кривизны, который позволяет пройти вдоль всей трубы только тем ионам, у которых заряд, масса и энергия соответствуют выбранной напряженности магнитного поля трубы дрейфа. На выходе трубы дрейфа формируется энергетически монохроматичный пучок ионов заданного состава. 1 ил.	2071138 патент выдан: опубликован: 27.12.1996
	ЭЛЕКТРОГИДРОДИНАМИЧЕСКИЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ Использование: получение пучков заряженных частиц, в частности ионов, заряженных кластеров и микрокапель, получение субмикронных ионных пучков, а также для нанесения тонких пленок и покрытий кластерными и микрокапельными пучками. Сущность изобретения: уменьшение потерь рабочего вещества за счет уменьшения его испарения с боковой поверхности иглы, что особенно важно при работе с веществами, имеющими большое давление паров (до 10 Па) при рабочей температуре, и уменьшение гидродинамического импеданса иглы. Капиллярная игла источника ионов выполнена в виде спеченных проволочек, спирально навитых на центральную стержневую проволочку, при этом внутренние капиллярные каналы иглы образованы поверхностями соприкасающихся проволочек. 2 ил.	2036531 патент выдан: опубликован: 27.05.1995
	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОТОКА ПОЛОЖИТЕЛЬНЫХ ИОНОВ Использование: ускорительная техника, реактивные двигатели, оборудование для технологических процессов. Сущность изобретения: поток положительных ионов получают путем приложения ускоряющего напряжения между твердотельным эмиттером, на поверхности которого выполнен по крайней мере один выступ, и электродом-экстрактором. В области выступа величину ускоряющего напряжения выбирают из соотношения, при выполнении которого пондеромоторное давление сил электрического поля на поверхность острия превышает предел прочности вещества твердотельного эмиттера, что сопровождается взрывным разрушением острия. Способ исключает необходимость расплавления вещества острия.	2019880 патент выдан: опубликован: 15.09.1994