Рентгеновские трубки: .специально рассчитанные на прохождение тока большой силы в течение короткого промежутка времени, например для работы в импульсном режиме – H01J 35/22

Использование: для фотолитографии и рентгеновской микроскопии. В вакуумную разрядную камеру подается рабочий плазмообразующий газ через несколько осесимметричных кольцевых сопел (5), образующих полые газовые цилиндры (15) (каскадированный газовый лайнер), в центре внутреннего кольцевого сопла высоковольтного электрода устроен канал для вывода излучения в виде конуса. При включении сильноточного импульсного генератора (4) происходит пробой внешней оболочки каскадированного лайнера (15). Нарастающий сильноточный разряд ионизирует преимущественно наружный слой внешней газовой оболочки, и под воздействием магнитного давления плазма начинает ускоренно двигаться к оси лайнера, ионизируя и вовлекая в движение внутренние оболочки. Рэлей-Тейлоровские неустойчивости, возникающие при движении внешних цилиндрических оболочек к оси, гасятся при столкновении с неподвижными внутренними оболочками. Ионы сталкиваются на оси вакуумной разрядной камеры при скорости 100-500 км/сек. Кинетическая энергия плазмы переходит в тепловую энергию, на оси вакуумной разрядной камеры образуется столб горячей плазмы (16) с температурой, достаточной для многократной ионизации атомов газа. При рекомбинации атомов происходит генерация мягкого рентгеновского излучения. Технический результат: повышение средней мощности излучения и увеличение эффективности преобразования запасенной энергии генератора в энергию мягкого рентгеновского излучения. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к импульсным рентгеновским трубкам с взрывной эмиссией, предназначенным для использования в малогабаритных рентгеновских аппаратах для дефектоскопии металлоконструкций, а также для регистрации быстропротекающих процессов с временем развития порядка 10^-9-10^-8 с. Импульсная рентгеновская трубка содержит металлический корпус в виде цилиндрического стакана, соединенное с корпусом окно для вывода рентгеновского излучения, выполненное из металла, обладающего свойствами газопоглотителя, мишень, расположенную в корпусе на расстоянии от окна, и изолирующий элемент с катодом. Корпус трубки выполнен из металла с высокой теплопроводностью, например меди, при этом мишень расположена на внутренней поверхности дна цилиндрического стакана, а окно выполнено в виде шарового сегмента или полушара, край которого охватывает дно цилиндрического стакана. Технический результат: высокая долговечность при обеспечении высоких рентгенотехнических параметров. 1 ил.

Изобретение относится к источникам импульсного рентгеновского излучения, предназначенным для использования в медицине, для решения задач рентгенодиагностики, рентгенотерапии, в различных технологических процессах, в частности для дефектоскопии, а также в научных исследованиях. Генератор импульсного рентгеновского излучения содержит рентгеновскую трубку, катод и анод которой выполнены точечными, с площадью рабочей поверхности не более 10^-6 м², при этом расстояние между катодом и анодом заданы не менее 10^-3 м, и генератор высоковольтных импульсов напряжения, в котором высоковольтный сильноточный формирователь импульсов выполнен в виде высоковольтного сильноточного вакуумного либо газоразрядного коммутатора, в состав которого включен электрод, управляющий запуском коммутатора, в цепь управляющего электрода включен дополнительный высоковольтный фильтр. Технический результат: получение высокоинтенсивного пучка импульсного рентгеновского излучения с линейными размерами фокусного пятна рентгеновского излучателя 0.1-0.5 мм, с возможностью регулирования энергии рентгеновских квантов в пределах 20-150 кэВ и длительностью импульса рентгеновского излучения ˜1.0^-8-1.0^-6 c, при малых габаритах рентгеновской трубки. 1 ил.