Разрядные приборы и соединенные с ними средства, предназначенные для измерения давления газа: ...с использованием газопоглотительных сорбционных материалов, т.е. геттеров – H01J 41/20

Предложена комбинированная насосная система (10), содержащая геттерный насос (12) и ионный насос (13), обеспечивающая создание сверхвысокого вакуума. Геттерный и ионный насосы (12, 13) установлены на одном и том же фланце (11) и расположены на одной и той же стороне фланца (11) в двух разных точках на нем. Конструктивное выполнение заявленной системы позволяет легко извлекать постоянный магнит из посадочного места, предотвращая его размагничивание, а также крепить магнит к фланцу различными способами, что обеспечивает повышение надежности работы системы. 7 з.п. ф-лы, 5 ил.