Пьезоэлектрические приборы вообще, электрострикционные приборы вообще, магнитострикционные приборы вообще, способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов и их частей, конструктивные элементы таких приборов: ..с электрическим вводом и механическим выводом – H01L 41/09

Группа изобретений относится к обработке поглощающих изделий, непрерывно подаваемых в устройство для обработки и имеющих переменную толщину в направлении обработки. Обработку ведут в устройстве, которое содержит первый вращающийся ролик, в качестве которого использован ролик тиснения или уплотняющий ролик, и второй вращающийся ролик. Между роликами образован зазор обработки. В устройстве предусмотрено регулирующее средство для оперативного регулирования номинального размера зазора. Упомянутое средство содержит по меньшей мере один пьезоэлектрический элемент для смещения положения первой оси вращения для первого ролика и/или второй оси вращения для второго ролика для изменения величины зазора обработки. Регулирующее средство связано с устройством управления, которое функционально связано с датчиком для определения по меньшей мере одного характерного свойства обрабатываемого изделия. Указанным свойством является толщина профиля изделия. Устройство управления обеспечивает управление регулирующим средством в зависимости от толщины профиля. В результате обеспечивается повышение качества обработки. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к области пьезоэлектрических преобразователей. Сущность: генератор содержит два трансформатора (11А, 11В), каждый из которых содержит первичную обмотку (L1) и вторичную обмотку (L2), и четыре выключателя (19А, 19В, 21А, 21В), приводимых в действие генератором сверхзвуковой частоты. Два (21А, 21В) из четырех выключателей соединяют поочередно вторичную обмотку каждого трансформатора с пьезоэлектрической нагрузкой (5). Два других выключателя (19А, 19В) соединяют поочередно две первичные обмотки с источником питания (17). При этом в течение первого полупериода, называемого «положительным полупериодом», первичная обмотка одного из указанных трансформаторов заряжается энергией, в то время как вторичная обмотка другого трансформатора отдает мощность на пьезоэлектрическую нагрузку. В течение второго полупериода, называемого «отрицательным полупериодом», вторичная обмотка одного трансформатора отдает мощность на пьезоэлектрическую нагрузку, в то время как первичная обмотка другого трансформатора заряжается энергией. Технический результат: обеспечение постоянства мощности в интервале изменения импеданса. 5 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к электротехнике, к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты и может быть использовано, например, в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) для сближения зонда и образца либо для перемещения образцов в установках электронного, ионного, зондового или иного воздействия. Инерционный шаговый двигатель включает основание с первым пьезомодулем, соединенным с держателем пьезомодуля, толкатель, направляющую, подвижную каретку и блок управления. Прижим установлен на основании. Держатель пьезомодуля имеет П-образную форму и закреплен на прижиме. Подвижная каретка установлена на направляющих на основании. Толкатель сопряжен с подвижной кареткой, закреплен на держателе пьезомодуля и может быть выполнен из твердого сплава, иметь форму пластины, либо цилиндра, либо шара. Держатель пьезомодуля может быть закреплен на прижиме с возможностью вращения относительно него. Прижим может содержать плоскую пружину и быть сопряженным с регулируемым упором. Первый пьезомодуль может иметь первую накладку, сопряженную с первым плечом П-образного держателя, либо вторую накладку, сопряженную со вторым плечом П-образного держателя. Подвижная каретка может быть снабжена поликором или керамической пластиной, сопряженной с толкателем. Может быть введен второй пьезомодуль между первым пьезомодулем и держателем пьезомодуля. Технический результат состоит в повышении стабильности работы и надежности устройства. 10 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты. Оно может быть использовано, например, в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) для сближения зонда и образца. Сущность изобретения заключается в том, что в инерционный шаговый двигатель, включающий основание, на котором первым концом закреплен первый пьезомодуль, соединенный вторым концом с первым концом направляющей, сопряженной с подвижной кареткой, введен кронштейн, закрепленный на основании и сопряженный со вторым концом направляющей. Технический результат изобретения заключается в повышении стабильности работы двигателя и его надежности, а именно в повышении долговечности работы устройства за счет уменьшения вероятности разрушения первого пьезомодуля, в уменьшении внутренних люфтов в цепочке: основание - первый пьезомодуль - направляющая. Данная конструкция позволяет также исключить клеевое соединение этих элементов, что целесообразно в условиях термоциклирования, где клей не всегда выдерживает этот процесс. Помимо этого увеличивается ремонтопригодность конструкции. 9 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к электронным устройствам с обратной тактильной связью. Сущность изобретения: схема с по меньшей мере одним пьезоэлектрическим приводом (142) включает в себя пьезоэлектрическую схему (802) запуска, которая генерирует сигнал возбуждения однополярного напряжения в узле (804). Схема (802) запуска пьезоэлектрического привода включает в себя схему коммутатора повышения напряжения или схему (806) зарядки, схему коммутатора понижения напряжения или импульсную схему (808) разрядки стока тока и схему (810) генерации управляющих сигналов. Схема (810) принимает входной управляющий сигнал (812), например, от процессора клавиатуры или другого процессора (604) для генерации тактильной обратной связи, использующей пьезоэлектрический привод (142). Схема (810) генерации управляющих сигналов обеспечивает два широтно-импульсно модулированных управляющих сигнала. Один сигнал предназначен для управления схемой зарядки, второй сигнал - для управления схемой разрядки для формирования сигнала возбуждения однополярного напряжения. Сигнал возбуждения является, например, поднятым косинусным сигналом (904). Технический результат: простота, высокая надежность, повышенная эффективность. 5 н. и 17 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к области электромеханики и может быть использовано в системах позиционирования для линейного и вращательного привода различных устройств в прецизионном приборостроении и нанотехнологическом оборудовании. Технический результат - упрощение конструкции, повышение эффективности и надежности работы. Сущность: двигатель содержит пьезоэлектрическую пластину. Пьезоэлектрическая пластина выполнена в форме многоугольника, по крайней мере, одна из вершин которого прижата к фрикционной поверхности. При этом секущая плоскость, перпендикулярная большим поверхностям пластины и проходящая через эту вершину, делит пластину на две части, каждая из которых включает хотя бы один автономный генератор двумерной стоячей акустической волны. На вершине многоугольника, взаимодействующей с фрикционной поверхностью, может быть жестко закреплен фрикционный элемент. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано в линейных пьезоэлектрических двигателях. Сущность: линейный пьезоэлектрический двигатель содержит ползун с направляющими, пьезоприводную систему, источник питания. Пьезоприводная система состоит из замкнутой рамки с упругим элементом в виде двух плоских пружин на ее боковых гранях. В рамку вставлен и зажат в ней пьезоэлемент продольного удлинения. На концах рамки выполнены связанные с ней упругими шарнирами рычажные мультипликаторы линейных перемещений. Одно плечо каждого мультипликатора связано с пьезоэлементом поперечных перемещений, а второе плечо вставлено в направляющие ползуна с натягом, равным или меньше величины их перемещения под воздействием пьезоэлементов поперечных перемещений. Технический результат: повышение надежности работы устройства, упрощение конструкции и сборки. 1 ил.

Изобретение относится к устройствам точного позиционирования образца в сверхвысоком вакууме при помощи пьезоэлектрических двигателей и системы емкостных датчиков в установках с фокусированным ионным или электронным пучком, в которых формируются наноэлементы. Позиционирование образца относительно ионной пушки происходит не только с помощью грубых ультразвуковых двигателей, но и с помощью перемещения дополнительно установленной платформы с пьезодвигателями в систему позиционирования образца, положение которой отслеживается точными емкостными датчиками. Происходит компенсация термического дрейфа координатной системы позиционирования и нелинейности движения пьезодвигателей с помощью обработки сигналов с емкостных датчиков в системе позиционирования и обратной связи с пьезодвигателями. Ведется слежение и компенсация отклонения ионной пушки в результате термического перекоса вакуумной камеры с помощью дополнительных перемещений пьезоэлектрических двигателей в результате обработки сигналов с емкостных датчиков, следящих за положением фланца, к которому прикреплена ионная пушка, относительно основы системы позиционирования, закрепленной к нижнему фланцу камеры. Осуществляется контроль положения системы позиционирования, находящейся в камере сверхвысокого вакуума, с помощью интерферометрической системы, находящейся вне камеры, через смотровое окно. Технический результат - увеличение точности получения требуемых теоретически рассчитанных элементов наноэлектроники с хорошей воспроизводимостью. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к двигателям прецизионного перемещения. Технический результат: увеличение тягового усилия и повышение надежности двигателя. Сущность: пьезодвигатель включает подвижную рабочую часть и группу передвигающих продольно деформирующихся параллельных пьезопреобразователей с идентичными размерами. Пьезопреобразователи консольно закреплены на подвижной рабочей части, а их свободные концы жестко связаны с направляющими элементами, взаимодействующими с фрикционным держателем. Фрикционный держатель выполнен с возможностью продвижения направляющих элементов при восстановлении пьезопреобразователей до исходных размеров. Количество пьезопреобразователей с направляющими элементами в группе выбирают из условия возможности выделения в ней подгруппы, включающей менее половины их общего количества, например три и более. 1 ил.

Пьезодвигатель предназначен для использования в шаговых приводах устройств автоматики для высокоточного позиционирования образцов и зондов. Пьезодвигатель содержит коаксиально расположенные статор и вал, пьезоэлемент, узел вращения, установленный между статором и валом, и груз, причем один конец пьезоэлемента соединен с валом, а на втором закреплен груз. При этом узел вращения выполнен в виде подшипника, на вал нанесена резьба, а узел вращения выполнен в виде гайки. Кроме того, имеется держатель, закрепленный на валу, и пьезоэлемент соединен с валом через держатель. Изобретение обеспечивает расширение функциональных возможностей и повышение износостойкости. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты. Оно может быть использовано, например, в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) для сближения зонда и образца. Технический результат заключается в повышении стабильности шага перемещения, а также в повышении надежности устройства. Инерционный шаговый двигатель содержит основание с закрепленным на нем пьезомодулем, соединенным со стержнем квадратного сечения, на котором установлена с возможностью перемещения вдоль оси стержня каретка, состоящая из первого элемента с первыми V-образными направляющими и второго элемента со вторыми V-образными направляющими. При этом первые и вторые V-образные направляющие сопряжены со стержнем квадратного сечения и подпружинены относительно него, а также блок управления, подключенный к пьезомодулю первый и второй элементы каретки дополнительно соединены плоскими пружинами, расположенными параллельно оси перемещения каретки. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим приборам для управления несущими плоскостями летательного аппарата. Плоский привод со слоистой структурой, симметричной по отношению к серединной плоскости, включает плоский пьезоэлектрический слой, имеющий активное направление и соединенный с одним плоским пассивным слоем ткани с жесткими основой и утком, ориентированными согласно двум направлениям, образующим сеть ячеек. Оба направления каждого слоя ткани являются одними и теми же. Активное направление каждого пьезоэлектрического слоя ориентировано вдоль одной единственной диагонали ячеек слоев ткани. Плоское приводное устройство состоит из двух приводов, установленных валетом. Несущая плоскость летательного аппарата, например лопасть вертолета, включает верхнюю и нижнюю поверхности, а также приводное устройство вблизи от задней кромки. Изобретение направлено на повышение управляемости. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 9 ил., 2 табл.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим устройствам преобразования электрического напряжения в механическое перемещение и может быть использовано в сканирующей зондовой микроскопии. Сущность: позиционер состоит из держателя объекта и корпуса. На корпусе закреплены три привода, содержащие по меньшей мере один биморфный элемент, соединенный посредством первого гибкого толкателя с подвижным элементом. В качестве биморфных элементов используют пакеты, каждый из которых содержит пьезоэлектрический диск, соединенный по плоскости с металлической мембраной. Держатель объекта установлен на подвижном элементе. Держатель объекта может быть установлен на подвижном элементе посредством рычага. Толкатели имеют различную жесткость. Пьезоэлектрические диски и металлические мембраны имеют отверстия в зоне соединения их с гибкими толкателями. Технический результат: увеличение диапазона сканирования и повышение надежности. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к устройствам механического перемещения объекта вдоль одной координаты. Инерционный двигатель содержит основание, пьезомодуль, шток, сопряженный с V-образной направляющей, подвижную каретку и прижим. Пьезомодуль первым концом закреплен на основании, а вторым соединен со штоком, имеющим треугольный профиль с первой, второй и третьей гранями. Каретка содержит V-образную направляющую, сопряженную с первой и второй гранями штока, а прижим выполнен в виде плоской пружины, закрепленной на подвижной каретке и первой плоскостью сопряженной посредством вкладыша с третьей гранью штока. Техническим результатом является повышение точности и надежности устройства. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области электрических двигателей и может быть использовано в качестве исполнительного механизма в прецизионных устройствах механической обработки материалов. Прецизионный пьезоэлектрический шаговый механизм перемещения состоит из подвижной части и основного корпуса с расположенными в нем в продольной плоскости двумя фиксирующими блоками и сдвигающим пакетом пьезоэлементов между ними. Фиксирующие блоки, состоящие из фрикционных элементов и раздвигающего пакета пьезоэлементов между ними, установлены в дополнительном корпусе; один из фиксирующих блоков выполнен подвижным в основном корпусе. Между основным корпусом и подвижным фиксирующим блоком расположена пружина. Фрикционные элементы выполнены в виде рычагов, установленных на закрепленной в держателях оси с возможностью одновременного вращения навстречу друг другу, а торцовые поверхности основного и дополнительного корпусов установлены в боковых поверхностях основного и дополнительного корпусов с возможностью регулирования сжатия их внутренних узлов. Технический результат от использования изобретения заключается в упрощении технологии изготовления и повышении надежности работы. 6 ил.

Изобретение относится к области точного машиностроения и предназначено для микро- и наноскопических перемещений различных объектов. Сущность: пьезоэлектрический двигатель содержит корпус с отверстием, платформу, установочный суппорт, пьезоэлектрический привод. Привод выполнен в виде двух пар схватов. Каждая пара схватов размещена в соответствующей ортогональной плоскости, проходящей через ось симметрии платформы. Платформа расположена в зоне отверстия корпуса и выполнена в виде двух поярусно расположенных пластин с отверстиями. Между пластинами размещены две пары кольцевых сегментов. Каждая пара сегментов расположена в соответствующей ортогональной плоскости. На боковых поверхностях сегментов выполнены кольцевые канавки. Каждый схват снабжен тремя пьезоэлементами и имеет буртик, с которым соединены две поярусно расположенные упругие пластины с вырезами и фрикционными элементами. Пластины каждого охвата связаны между собой первым пьезоэлементом. Концы каждой пластины охвата соединены вторым и третьим пьезоэлементами. Корпус снабжен держателями, с которыми соединена одна пара схватов, взаимодействующая через фрикционные элементы их пластин с кольцевыми канавками сегментов. Вторая пара схватов через буртики соединена с установочным суппортом и взаимодействует фрикционными элементами с кольцевыми канавками другой пары сегментов, ориентированными в другой ортогональной плоскости. Технический результат: повышение надежности и точности позиционирования. 3 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области электромеханики и может быть использовано для привода различных устройств в прецизионном приборостроении, при медико-биологических исследованиях и в системах нано-технологии. Технический результат: расширение диапазона перемещений, повышение точности. Сущность: пьезопривод содержит Т-образное рабочее перемещаемое звено, линейные пьезоэлектрические элементы, Т-образную опору. Перемещаемое звено и опора расположены таким образом, что их горизонтальные элементы обращены навстречу друг другу. Стержневая конструкция выполнена в виде двух равнобедренных трапеций, которые соединены между собой в центрах малых оснований трапеций через пьезоэлектрический элемент. Боковые стороны трапеций установлены с возможностью перемещения в кольцевых держателях, жестко закрепленных на концах горизонтальных элементов Т-образной опоры и Т-образного рабочего перемещаемого звена. На перемещаемом рабочем звене установлен второй пьезоэлектрический элемент. 2 ил.

Изобретение относится к ручным средствам управления для электронных устройств. Электронное устройство, такое как телефон, PDA или пейджер, содержит блок ввода с ручным управлением, например эластомерную клавишу, кнопку, или сенсорный экран, а также электромеханический преобразователь, предназначенный для генерирования импульсов механической энергии, которые могут быть почувствованы пользователем. В ответ на обнаружение приведения в действие блока ввода с ручным управлением приводится в действие электромеханический преобразователь, чтобы сформировать импульс механической энергии, который проходит через блок ввода с ручным управлением и обеспечивает тактильную обратную связь с пользователем. Технический результат: обеспечение уверенной тактильной обратной связи при активизации блока ввода электронного устройства. 11 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано для привода различных устройств в прецизионном приборостроении, при медико-биологических исследованиях и в системах нанотехнологий. Технический результат: повышение надежности. Сущность изобретения: монолитный пьезоэлектрический исполнительный элемент содержит чередующиеся друг с другом и спеченные между собой пьезоэлектрические слои из PZT-керамики и электродные слои. Крайние слои являются электродными. Слои образованы по меньшей мере двумя ленточными скрученными по спирали пьезоэлектрическими пленками из PZT-керамики, на которые нанесен электродный материал. Общее количество слоев кратно четырем. 4 ил.

Изобретение относится к области научного приборостроения и предназначено для использования в устройствах двухкоординатного перемещения объектов с микро- и наноскопическим шагом. Устройство содержит основание, пьезотрубку с электродами. Один конец пьезотрубки закреплен на основании, а другой снабжен опорой и пружиной, прижимающей столик с перемещаемым объектом к опоре. В устройство также введены держатель, измеритель емкости, первая и вторая печатные платы. При этом первая печатная плата соединена со столиком, вторая печатная плата связана с основанием. Форма проводников первой и второй печатных плат обеспечивает наличие между ними зон перекрытия. Емкость между проводниками первой и второй печатных плат в зонах перекрытия имеет однозначную зависимость от координат столика. Технический результат - возможность определения координат перемещаемого объекта в процессе работы устройства. 5 ил.

Использование: в сканирующих зондовых микроскопах и нанотехнологических установках. Сущность: устройство содержит основание, в котором закреплена пьезотрубка с электродами. На другом конце трубки установлена опора, к которой пружиной прижат столик с размещенным на нем перемещаемым объектом. Внутри столика вмонтирован первый магнит. Второй магнит, соединенный с основанием посредством держателя, расположен внутри пьезотрубки параллельно первому магниту и обращен к нему противоположным полюсом. В зазоре между магнитами расположена печатная плата, которая соединена с первым магнитом. Плата на каждой стороне имеет группу параллельных дорожек. Дорожки в разных группах взаимно перпендикулярны, а их концы в каждой группе объединены и подключены к устройству управления. Технический результат: возможность электродинамического воздействия на столик и повышение точности позиционирования объекта. 2 ил.