Пьезоэлектрические приборы вообще, электрострикционные приборы вообще, магнитострикционные приборы вообще, способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов и их частей, конструктивные элементы таких приборов: .способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки этих приборов или их частей – H01L 41/22
Патенты в данной категории
СПОСОБ СБОРКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ
Использование: область микроэлектроники, а именно сборка микроэлектромеханических устройств и систем (МЭМС) на основе пьезоэлектрического кварца. Технический результат: повышение надежности функционирования в условиях высоких комплексных внешних воздействий. Сущность: способ включает выполнение на контактных площадках первичного преобразователя (ПП) кристаллического типа объемных токовыводов (ОВ) методом термозвуковой микросварки с последующей установкой ПП на плату вторичного преобразователя МЭМС. При этом предварительно осуществляют высокотемпературную сборку ПП, состоящего из чувствительного элемента ЧЭ и других функциональных элементов МЭМС, которую проводят при температуре не более 500°C, после чего к объемным токовыводам, выполненным на контактных площадках ПП, изготовленных из чередующихся металлических слоев Cr - Au толщиной не более 0,4 мкм, приваривают токовыводы в виде проволоки из золота методом контактной сварки. Затем полученный указанным образом ПП присоединяют сформированными токовыводами в виде проволоки методом контактной сварки к контактным площадкам вторичного преобразователя (ВП) МЭМС. 2 ил. |
2525684 патент выдан: опубликован: 20.08.2014 |
|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗОНАТОРОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ
Областью применения изобретения является микроэлектроника, а более конкретно микроэлектроника интегральных пьезоэлектрических устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ)-резонаторов, которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах, телекоммуникации и т.д. Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах включает травление кварцевой подложки, нанесение металлизации на подложку, изготовление структур резонаторов, монтаж резонаторов в корпуса и проведение сухой обработки в две стадии, при этом на первой стадии проводят процесс удаления органических остатков с поверхности резонаторов в плазме смеси кислорода и инертного газа, причем в качестве инертного газа используют или гелий, или неон, или аргон при плотности ВЧ-мощности от 0,02 до 0,08 Вт/см3 и при давлении от 80 до 150 Па, содержании кислорода от 3 до 15 об.%, содержании инертного газа от 85 до 97 об.%, а на второй стадии проводят процесс настройки частоты резонаторов путем реактивного ионно-лучевого травления во фторсодержащем разряде. Изобретение направлено на увеличение долговременной стабильности частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах за счет очистки резонаторов от органики и повышения степени этой очистки путем введения в кислородную плазму инертного газа и за счет настройки частоты резонаторов путем реактивного ионно-лучевого травления во фторсодержащем разряде. 3 пр., 1 табл. |
2494499 патент выдан: опубликован: 27.09.2013 |
|
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ ПЬЕЗОТЕХНИКИ
Изобретение относится к области пьезотехники. Сущность: способ включает в себя измерение емкости свободных пьезоэлементов, непосредственно входящих в состав изделия, и емкости пьезоэлементов, частично зажатых путем склеивания в ходе изготовления изделия. Определяют различие емкостей свободных и частично зажатых пьезоэлементов. По различию этих емкостей устанавливают соответствие изделия заданным параметрам. В частности, определяют различие емкостей пьезоэлементов, вызванное частичным их зажатием при их соединении в биморф, или различие емкостей пьезоэлемента, вызванное его частичным зажатием при клеевом соединении с посадочным местом - мембраной. Технический результат: повышение процента выхода годных и снижение себестоимости изделий. 2 з.п. ф-лы. |
2492491 патент выдан: опубликован: 10.09.2013 |
|
МНОГОСЛОЙНАЯ КЕРАМИЧЕСКАЯ ГЕТЕРОСТРУКТУРА С МАГНИТОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ЭФФЕКТОМ И СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ
Изобретение относится к электронной технике, а именно: к области создания магнитоэлектрических преобразователей, применяемых в качестве основы для датчиков магнитных полей, устройств СВЧ-электроники, основы для технологии магнитоэлектрической записи информации и для накопителей электромагнитной энергии и энергии вибраций. Сущность: способ включает формирование пакета чередующихся слоев магнитостриктора и пьзокерамики. Формирование пакета производится в три стадии: вначале на всю поверхность магнитострикторов наносятся электропроводящие контакты, затем все поверхности магнитострикторов и пьезокерамики, кроме торцевых, покрываются слоем электропроводящего эпоксидного клея, после чего формируется пакет чередованием слоев магнитостриктора и пьзокерамики. Соединение слоев осуществляется прессованием при температуре 60÷100°С и избыточном давлении (1,3÷2,6)·105 Па. Многослойная керамическая гетероструктура содержит 9÷11 слоев пьезокерамики и магнитостриктора. Толщина слоя пьзокерамики - 0,10÷0,13 мм, магнитостриктора - 0,25÷0,30 мм. Технический результат: снижение энергоемкости и повышение чувствительности. 2 н.п. ф-лы, 2 табл. 4 ил. |
2491684 патент выдан: опубликован: 27.08.2013 |
|
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПОЛИДОМЕННЫХ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МОНОКРИСТАЛЛОВ С ЗАРЯЖЕННОЙ ДОМЕННОЙ СТЕНКОЙ
Изобретение относится к области получения монокристаллов сегнетоэлектриков с доменной структурой и может быть использовано при создании устройств позиционирования, акустоэлектроники, для модификации диэлектрических, пироэлектрических и оптических свойств. Способ формирования полидоменных сегнетоэлектрических монокристаллов с заряженной доменной стенкой заключается в том, что в качестве заготовки используют пластину сегнетоэлектрического одноосного монокристалла семейства ниобата лития и танталата лития, вырезанную перпендикулярно полярной оси, одну из поверхностей которой облучают потоком ионов для формирования повышенной концентрации точечных радиационных дефектов в поверхностном слое, что приводит к повышению электропроводности слоя, после чего в пластине создают электрическое поле, направленное вдоль полярной оси, полярность и величина которого обеспечивают образование доменов на поверхности пластины, не подвергнутой облучению, и их прорастание вглубь пластины в полярном направлении до границы слоя с повышенной проводимостью, что приводит к формированию заряженной доменной стенки сложной формы, причем глубина слоя задается величиной энергии и дозой ионов, а форма стенки определяется величиной создаваемого электрического поля. Изобретение обеспечивает возможность создания заряженной доменной стенки, имеющей сложную трехмерную форму с заданными геометрическими параметрами, расположенной на заданной глубине в монокристаллической пластине сегнетоэлектрика без применения нагрева пластины и резки заготовки для получения пластин. 3 з.п. ф-лы, 7 ил. |
2485222 патент выдан: опубликован: 20.06.2013 |
|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АКУСТООПТИЧЕСКИХ МОДУЛЯТОРОВ
Изобретение относится к способу изготовления акустооптических модуляторов. Способ состоит в том, что изготавливают звукопровод в виде прямоугольной призмы, далее наносят вакуумным напылением оптически просветляющие покрытия на грани прямоугольной призмы, далее наносят вакуумным напылением на одну из граней прямоугольной призмы первый адгезионный слой. Затем наносят вакуумным напылением на указанный первый адгезионный слой первый слой золота, далее наносят вакуумным напылением на указанный первый слой золота первый слой индия, кроме того, наносят вакуумным напылением на одну из больших граней каждой из двух пластин из ниобата лития (Y+36°)-среза второй адгезионный слой, далее наносят вакуумным напылением на указанный второй адгезионный слой второй слой золота, далее наносят вакуумным напылением на указанный второй слой золота второй слой индия, далее осуществляют соединение звукопровода с пластинами ниобата лития путем прижатия пластин из ниобата лития с давлением каждой пластины из ниобата лития вторым слоем индия к соответствующему первому слою индия, далее сошлифовывают каждую из пластин из ниобата лития до необходимой толщины, соответствующей рабочему диапазону частот, далее наносят вакуумным напылением на каждую свободную большую грань каждой из пластин из ниобата лития третий адгезионный слой, далее наносят вакуумным напылением на указанный третий адгезионный слой третий слой золота. Способ характеризуется тем, что выбирают в качестве материала звукопровода монокристалл ТеО2, при этом грани прямоугольной призмы ориентируют перпендикулярно кристаллографическим направлениям [001], |
2461097 патент выдан: опубликован: 10.09.2012 |
|
МЕТОД СТАНОЧНОГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ СДВИГОВОГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ДАТЧИКА
Изобретение относится к методу изготовления силового измерительного датчика из нескольких материалов. На первом этапе изготовления происходит подготовка комплектующих и сборок, т.е. изготовление из пружинной стали армирующего кольца, кольцевой насадки с конической наружной фаской из вольфрамового сплава, титановых шестигранного основания и стаканообразного корпуса с коаксиальным разъемом или кабелем. Второй этап включает в себя закрепление сборки в вертикальном осевом креплении станка электроэрозионной проволочной резки, выполнение в фиксированных положениях трех вертикальных пазов, установку чувствительных элементов, напрессовку или горячую посадку армирующего кольца на кольцевую насадку с пьезоэлементами, выполнение горизонтальных радиальных разрезов под армирующим кольцом для образования инерционной массы и установку и закрепления корпуса и подсоединения к выходу предварительного усилителя разъема. Изобретение позволяет использовать в датчике различные материалы для основания и инерционных масс, что дает возможность получения малогабаритных размеров в сочетании с высокой чувствительностью и собственной частотой за счет того, что в конструкцию датчика добавлен предварительный усилитель, подключенный к чувствительным элементам, а сам метод изготовления включает минимум операций. 5 ил. |
2436105 патент выдан: опубликован: 10.12.2011 |
|
СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ ОСТАТКОВ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств - фильтров, резонаторов, линий задержки на поверхностных акустических волнах. Способ включает операции вакуумирования и обработки подложек в кислородсодержащей плазме. Подложки обрабатывают в плазме смеси кислорода и инертного газа, содержащей 5-12 об.% кислорода и 88-95 об.% инертного газа, при этом в качестве инертного газа используют гелий или неон, или аргон и обработку ведут при давлении в реакционной камере 80-140 Па, плотности ВЧ-мощности 0,02-0,06 Вт/см3 и времени воздействия 3-15 мин. Изобретение позволяет улучшить электрофизические параметры пьезоэлектрических устройств за счет более полного удаления органических остатков с пьезоэлектрических подложек после различных технологических операций. |
2406785 патент выдан: опубликован: 20.12.2010 |
|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ С ЛИНЕЙНОЙ ТЕМПЕРАТУРНО-ЧАСТОТНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКОЙ
Изобретение относится к области технологии изготовления пьезоэлектрических резонаторов и может быть использовано для изготовления кварцевых термочувствительных пьезоэлектрических датчиков-измерителей, применяемых в качестве прецизионных измерителей. Технический результат: повышение качества изготовления, упрощение и удешевление технологического процесса, повышение выхода годных, обеспечение идентичности и повторяемости температурно-частотной характеристики, обладающей высокой линейностью, при групповом изготовлении. Сущность: способ включает нанесение металлических электродов на поверхность пьезопластины АТ-среза, монтаж полученного пьезоэлемента на основание, настройку резонансной частоты пьезовибратора, после каждой операции термообработку в изопропиловом спирте при температуре жидкого азота. После охлаждения пьезовибратор нагревают в герметичной капсуле с подачей элегаза под давлением. 1 з.п. ф-лы. |
2366037 патент выдан: опубликован: 27.08.2009 |
|
СПОСОБ УЛУЧШЕНИЯ МОНОТОННОСТИ ТЕМПЕРАТУРНО-ЧАСТОТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ В СТЕКЛЯННЫХ КОРПУСАХ
Изобретение относится к области радиоэлектроники. Технический результат: улучшение монотонности ТЧХ кварцевых резонаторов в стеклянных корпусах с сохранением их основных параметров. Сущность: воздействуют на пьезоэлемент вне области размещения электродов сфокусированным импульсным излучением лазера с модуляцией добротности с плотностью энергии в перетяжке лазерного луча, превышающей порог лазерного разрушения кварцевого пьезоэлемента, для создания в нем микроразрушений размером 30...100 мкм. Точки воздействия выбирают на расстоянии L=(3t+0,5) мм от края электрода пьезоэлемента, где t - толщина пьезоэлемента в миллиметрах. Плотность энергии излучения лазера меньше порога лазерного разрушения стеклянного корпуса резонатора, находящегося вне области перетяжки лазерного луча. 1 ил. |
2308790 патент выдан: опубликован: 20.10.2007 |
|
ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к области электрических измерений параметров импульсных механических нагрузок в виброакустике и физике взрыва. Сущность: пьезоэлектрический датчик содержит две идентичные, диэлектрические пластины из сегнетоэлектрической пьезопленки. Каждая пластина содержит отдельную поляризованную область с электродами на ее противоположных поверхностях, которая служит чувствительным элементом датчика. Вектор поляризации пластин перпендикулярен электродам. Измерительные токовыводы в виде плоскопараллельных полосок нанесены на противоположные поверхности пьезопленки и электрически соединены с электродами. Обе пластины соединены поверхностями с однополярными электродами симметрично друг другу. Образовавшиеся таким образом внешние и внутренние измерительные токовыводы соединены электрически попарно соответственно, а их поперечные размеры выбраны из соотношения |
2258276 патент выдан: опубликован: 10.08.2005 |
|
СПОСОБ РАЗДЕЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ АЦЕТОНА И ЭТИЛАЦЕТАТА В ВОЗДУХЕ
Изобретение относится к аналитической химии органических соединений и может быть использовано при анализе газовых выбросов производства красителей. Раздельное определение этилацетата и ацетона в воздухе включает подготовку пробы, детектирование этилацетата и ацетона пьезоэлектрическим кварцевым резонатором, предварительно модифицированным активным сорбентом. В качестве активного сорбента модификатора электродов используют пленку тетрабензоатпентаэритрита, масса пленки 15-25 мкг. Максимальная чувствительность сенсора к этилацетату 1,3 Гц![]() ![]() |
2204126 патент выдан: опубликован: 10.05.2003 |
|
СПОСОБ СОЗДАНИЯ МОДИФИКАТОРА ЭЛЕКТРОДОВ ПЬЕЗОКВАРЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРОВ ОРГАНИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ В ВОЗДУХЕ Изобретение относится к аналитической химии органических соединений (детектирование и анализ) и может быть использовано при анализе газовых выбросов предприятий, в частности, для определения концентрации анилина. Предложен способ создания модификаторов электродов пьезокварцевого резонатора для определения пьезокварцевым микровзвешиванием паров анилина, включающий модификацию электродов толуольными растворами с последующей сушкой, при этом модификацию осуществляют комбинированным сорбентом на основе активного компонента: триоктиламиноксида, триоктилфосфиноксида и стабилизирующего компонента полистирола, в массовом соотношении 1: 3, общей массой 6,5-8,5 мкг. Способ позволяет повысить селективность, точность и экспрессность анализа. 6 табл. | 2163374 патент выдан: опубликован: 20.02.2001 |
|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АКУСТИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ Изобретение относится к способам изготовления акустических преобразователей, преимущественно пьезокерамических ультразвуковых преобразователей, отличительной особенностью способа является настройка акустического преобразователя на оптимум АЧХ путем корректировки геометрии мембраны. Способ отличается простотой и высокой эффективностью. | 2122260 патент выдан: опубликован: 20.11.1998 |
|
БИМОРФНЫЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СЕЙСМОПРИЕМНИК И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИДЕНТИЧНЫХ БИМОРФНЫХ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЕЙСМОПРИЕМНИКОВ Изобретение относится к сейсмометрии и может быть использовано в сейсмологии для контроля и измерения параметров колебаний почвы на суше и в море, вызываемых искусственными или естественными источниками вибраций. Сущность изобретения в том, что на основе теоретически и экспериментально полученных соотношений между внутренним и внешним контурами биморфного дискового пьезоэлемента, цилиндрической опорой и кольцевыми электродами найдены оптимальные соотношения, позволяющие повысить чувствительность сейсмоприемника и проводить изготовление сейсмоприемников с идентичными техническими характеристиками (чувствительность, резонансная частота и т.д.). Внутренний радиус кольцевых электродов биморфного дискового пьезоэлемента равен радиусу цилиндрического опорного элемента, а наружный - 0,3 - 0,6 радиуса биморфного дискового пьезоэлемента. Соотношение радиусов оснований опорного элемента и дискового пьезоэлемента составляет 0,1 - 0,3. Получение идентичных по коэффициенту биморфных пьезоэлектрических сейсмоприемников при их изготовлении проводят путем регулирования площади электродов пьезоэлемента при подаче на пьезоэлемент вибраций постоянной амплитуды и одновременной регистрации выходного сигнала с сейсмоприемника. 2 с. и 2 з.п. ф-лы, 2 ил. | 2119678 патент выдан: опубликован: 27.09.1998 |
|
СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА, ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО КРИСТАЛЛА С МЕТАЛЛИЧЕСКИМ СЛОЕМ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЯ Изобретение относится к технологии изготовления многослойных изделий, обеспечивающих передачу акустической энергии с минимальными потерями на границах различных материалов. Изделия могут применяться, например, как ультразвуковые генераторы в слабокислых и слабощелочных средах. Сущность изобретения. Предложен способ соединения стекла, пьезоэлектрического кристалла с металлическим слоем из сплава на основе, например, алюминия. Промежуточный слой для покрытия соединяемых поверхностей выполняют никелем методом электронно-лучевого испарения и осаждения при одновременном облучении низкоэнергетическими ионами аргона с энергией не менее 5 кэВ, плотностью ионного потока до 150 мка/см2 при скорости напыления никеля не более 20 нм/с и температуре подложки до 120oC. Последующую пайку проводят при температуре ниже температуры деполяризации пьезокристалла, например, не более 200oC. В качестве припоя используют сплавы на основе олова. Разработанный способ соединения стекол, пьезокристаллов с металлическими слоями, выполняющими функцию радиаторов позволил создать высокопрочное, неразъемное, термически стабильное соединение в едином узле, которое обеспечивает передачу акустической энергии с минимальными потерями на границах материалов. 1 з.п. ф-лы. | 2092970 патент выдан: опубликован: 10.10.1997 |
|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН НА ОСНОВЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ Использование: при изготовлении устройства на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Способ изобретения: на рабочую поверхность подложки в вакууме осаждают пленочную систему, состоящую из адгезионного слоя и пленки алюминия, методом фотолитографии формируют из поеночной системы электроды преобразователя ПАВ и на электроды преобразователя в вакууме осаждают пьезоэлектрическую пленку, например, оксида цинка, в качестве адгезионного слоя, предотвращающего образование бугорков на поверхности алюминевой пленки, используют пленку иттрия толщиной не менее 20 нм. | 2031489 патент выдан: опубликован: 20.03.1995 |
|