Лазеры, т.е. устройства для генерирования, усиления, модуляции, демодуляции или преобразования частоты, использующие стимулированное излучение электромагнитных волн с длиной волны большей, чем длина волны в ультрафиолетовом диапазоне: ....содержащим эксимеры или эксиплексы – H01S 3/225
Патенты в данной категории
ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР
Изобретение относится к квантовой электронике, в частности к компактным импульсно-периодическим эксимерным лазерам с УФ предыонизацией. Эксимерный лазер содержит протяженный керамический корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор и электроды. При этом керамический корпус лазера выполнен из n (n 2) цилиндрических модулей, герметично соединенных между собой с помощью уплотнителей в форме о-рингов, выполненных преимущественно из резины, стойкой к воздействию галогеносодержащих газов. В частном случае реализации устройства, в области стыков цилиндрических модулей керамического корпуса, на их наружных поверхностях, может быть размещено (n-1) пар скрепленных между собой фланцев, выполненных из диэлектрического материала, при этом уплотнители в форме о-рингов будут размещены между каждыми скрепленными между собой фланцами. Технический результат заключается в обеспечении возможности получения высоких значений энергии генерации в долговременном режиме. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. |
2467442 патент выдан: опубликован: 20.11.2012 |
|
УЗКОПОЛОСНЫЙ ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР С ГАЗОВОЙ ДОБАВКОЙ
Изобретение относится к лазерной технике, а именно к эксимерным лазерам с узкой полосой излучения с частотой импульсов 500-2000 Гц. Лазер содержит лазерную камеру, выполненную из материалов, совместимых с фтором, и содержащую два протяженных электрода, по меньшей мере, один предыонизатор и рабочий газ, развивающий полное давление и состоящий из первого инертного газа, фтора, буферного газа и стабилизирующей добавки, которая содержит кислород в количестве менее чем 10 миллионных долей или второй инертный газ, более тяжелый, чем первый инертный газ, в количестве до 40 миллионных долей. Очень узкой полосы лазера на KrF достигают снижением парциального давления фтора до величины менее 0,10% и увеличением отражения выходного ответвителя до величины свыше 25%. Обеспечено повышение стабильности энергии лазера. 3 н. и 28 з.п. ф-лы, 20 ил.
|
2240636 патент выдан: опубликован: 20.11.2004 |
|
УЗКОПОЛОСНЫЙ ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР НА ФТОРИДЕ КРИПТОНА (KrF) ДЛЯ ПРОМЫШЛЕННОГО ПРИМЕНЕНИЯ, ИМЕЮЩИЙ ВЫСОКУЮ НАДЕЖНОСТЬ И МОДУЛЬНУЮ КОНСТРУКЦИЮ Изобретение относится к лазерной технике, а именно - к лазерам, используемым для долговременной круглосуточной работы при производстве интегральных микросхем способом литографии. Усовершенствования заключаются в наличии в нем одиночной трубки устройства предварительной ионизации, расположенной на входе. В рабочей среде понижена концентрация фтора. Опорной планке анода придается форма, уменьшающая силы аэродинамического противодействия, воздействующие на подшипники вентилятора. Имеется видоизмененная система импульсной силовой цепи с более коротким временем нарастания импульса. Выходной ответвитель излучения имеет существенно увеличенный коэффициент отражения. Модуль сужения линии излучения содержит расширитель пучка и более точное устройство измерения длины волны. Устройство компьютерного управления лазером работает по программе с усовершенствованным алгоритмом управления энергией импульса. Технический результат изобретения: лазер имеет высокую надежность и обеспечивает генерацию лазерных импульсов энергией 10 мДж с частотой 1000 Гц при ширине спектра излучения 0,6 пм или менее. 14 з. п. ф-лы, 12 ил. | 2197045 патент выдан: опубликован: 20.01.2003 |
|
СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ ГАЗОВОЙ СРЕДЫ КСЕНОН-ХЛОРИДНОГО ЛАЗЕРА И СИСТЕМА ДЛЯ ЕЕ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Использование: лазерная техника. Сущность изобретения: в ксенон-хлоридном лазере осуществляют регенерацию газовой среды путем взаимодействия газовой среды с гидроксидом металла, затем с хлоридом элемента, легко гидролизующемся под действием паров воды с образованием хлористого водорода, затем осуществляют регенерацию циклически или непрерывно прокачивая насосом газовую среду из газоразрядной камеры лазера через камеру регенерации, разделяющей ее на входную и выходную по ходу газовой среды части, при этом входная часть содержит гидроксид металла, а выходная - вышеуказанный хлорид элемента. 2 с.п. ф-лы, 2 ил. | 2097890 патент выдан: опубликован: 27.11.1997 |
|
ГЕНЕРАТОР СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА Использование: преимущественно для многоцелевого химического иодно-кислородного лазера непрерывного действия. В генераторе синглетного кислорода, включающем корпус с нижним патрубком ввода газообразного реагента и верхним патрубком вывода готового продукта, газораспределитель, а также двухфазную систему реагентов, газораспределитель выполнен из дистиллированной воды в твердом состоянии, а со стороны входа и выхода в него погружены кислородные электроды для генерации супероксида O-2 и синглетного кислорода O2(1g) соответственно. 1 ил. | 2091938 патент выдан: опубликован: 27.09.1997 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА Использование: в лазерной технике. Сущность изобретения: для решения технической задачи, связанной с исключением условий, приводящих к засорению генерируемого потока синглетного кислорода потенциальными тушителями компонентов активной среды лазера, и с поиском условий, обеспечивающих режим работы электрохимической системы, соответствующий стабильному состоянию электролита, в способе получения синглетного кислорода, включающем абсорбцию газообразного кислорода электролитом, электрохимическое восстановление растворенного кислорода до супероксида O-2 и окисление последнего до синглетного кислорода O2(1g), выводимого затем в приемник, в качестве электролита используют дистиллированную воду, окисление супероксида O-2 производят электрохимическим путем на аноде, а в качестве приемника используют газовую фазу над поверхностью электролита, противоположной поверхности, абсорбирующей газообразный кислород. | 2090966 патент выдан: опубликован: 20.09.1997 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА Использование: квантовая электроника. Сущность изобретения: в способе получения синглетного кислорода, включающем абсорбцию газообразного кислорода жидким раствором и содержащим восстановленную форму окислителя, электрохимическое восстановление растворенного кислорода до супероксида O-2, электрохимическое одноэлектронное окисление восстановленной формы окислителя и окисление полученным продуктом супероксида O-2 до синглетного кислорода O2(1д), выводимого затем в приемник, в качестве жидкого раствора используют жидкий раствор, содержащий анионы иода I-, а в качестве приемника синглетного кислорода O2(1д) - газовую фазу над поверхностью жидкого раствора, противоположную поверхности, абсорбирующей газообразный кислород. | 2076416 патент выдан: опубликован: 27.03.1997 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА Использование: способ относится к получению синглетного кислорода преимущественно для химического иодно-кислородного лазера непрерывного действия многоцелевого назначения. Сущность изобретения: в способе получения синглетного кислорода, который включает абсорбцию газообразного кислорода жидким раствором и содержит восстановленную форму окислителя, электрохимическое восстановление растворенного кислорода до супероксида O-2, а также электрохимическое окисление восстановленной формы окислителя и окисление полученным продуктом супероксида O-2 до синглетного кислорода O2(1g), выводимого затем в приемник, в качестве восстановленной формы окислителя используют анионы хлора Cl- в неорганическом растворителе, а в качестве приемника - газовую фазу над поверхностью жидкого раствора, не являющуюся абсорбирующей для газообразного кислорода. | 2069931 патент выдан: опубликован: 27.11.1996 |
|
ГЕНЕРАТОР СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ИОДНО- КИСЛОРОДНОГО ЛАЗЕРА НЕПРЕРЫВНОГО ДЕЙСТВИЯ Использование: лазерная технология, лазерохимия, медицина, лазерный термоядерный синтез. Сущность изобретения: генератор синглетного кислорода включает корпус 1 с нижним патрубком для ввода газообразного реагента - кислорода O2 и верхним патрубком для отвода готового продукта - синглетного кислорода, газораспределитель в виде гидрофобного газопроницаемого поддона 2, над которым последовательно установлены генератор анионов HO-2 - кислородный электрод 4 и генератор молекулярного хлора Cl2 - хлорный электрод 5, при этом оба электрода установлены в емкости, заполненной жидким реагентом 3 - водным раствором хлорида щелочного металла, а в качестве газообразного реагента использован кислород. 1 ил. | 2038667 патент выдан: опубликован: 27.06.1995 |
|
ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР НА ХЛОРИДАХ БЛАГОРОДНЫХ ГАЗОВ Сущность изобретения: в эксимерном лазере а качестве источника газообразного хлористиго водорода содержится управляемый генератор HCl включенный в газовом потоке вслед за геттером. Геттер используется для предварительной откачки лазерной камеры, что позволяет полностью отказаться от других систем откачки и регенерации. Геттер выполнен на основе щелочных металлов (Ba, Ca, Mg, Li, K, Na) или их смеси. Отсутствие больших запасов газообразного галоида в баллонах системы газонапуска повышает безопасность работы обслуживающего персонала и снижает опасность экологического загрязнения персонала и снижает опасность экологического загрязнения атмосферы. 3 ил. | 2032259 патент выдан: опубликован: 27.03.1995 |
|