Муфты и держатели, в которых используется электростатическое притяжение, например с использованием эффекта Джонсона-Раабека – H02N 13/00

Изобретение относится к способу производства пластины держателя для электростатического держателя приемлемой продуктивности, который лишен неудовлетворительного высвобождения полупроводниковой пластины, которая является подложкой, которая должна быть обработана, с начального момента предоставления электростатического держателя для нового использования. Способ производства пластины держателя для электростатического держателя, чтобы покрывать поверхность главного тела держателя, имеющего электроды, включает в себя этапы получения спеченного тела посредством формирования прессованием сырьевого порошка в предварительно определенную форму и затем спекания ее, образования, способом полировки, такой поверхности спеченного тела, которая будет контактировать с подложкой, которая должна быть притянута, до предварительно определенной шероховатости и гладкости поверхности, и выполнение струйной обработки для выборочного удаления только готовых к отделению частиц, которые появляются на поверхности в результате вышеупомянутой полировки. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.