Способы и устройства для изготовления цепей с активными и реактивными сопротивлениями, резонансных контуров или резонаторов: .для изготовления электромеханических резонаторов или цепей – H03H 3/007

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интегральным высокодобротным кремниевым микромеханическим резонаторам, использующим в качестве резонирующего элемента балочные и консольные структуры из монокристаллического кремния, размещенные в капсулах с высоким вакуумом, и, в частности, применяемым в качестве чувствительных элементов прецизионных преобразователей давления, микромеханических датчиков угловой скорости (гироскопов) и микромеханических датчиков ускорения. Технический результат - снижение паразитной емкости контактов резонатора, увеличение чувствительности резонатора за счет снижения паразитного сигнала и повышение технологичности. Достигается тем, что способ изготовления интегрального высокодобротного кремниевого микромеханического резонатора включает в себя формирование в монокристаллической кремниевой подложке со стороны, противоположной рабочему слою, КНИ-пластины глухих отверстий, достигающих рабочего слоя КНИ-пластины, формирование в рабочем слое КНИ-пластины структуры резонатора, соединенной с участками в виде сплошных областей монокристаллического кремния, перекрывающих глухие отверстия в монокристаллической кремниевой подложке, удаление жертвенного слоя из-под структуры резонатора, соединение в высоком вакууме КНИ-пластины с диэлектрической пластиной, имеющей углубление, располагающееся над структурой резонатора, формирование металлических контактных площадок на открытой стороне участков монокристаллического кремния, перекрывающих глухие отверстия в монокристаллической кремниевой подложке, и разделение КНИ-пластины и диэлектрической пластины на кристаллы. 2 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области электротехники, в частности к способам нанесения покрытий на электроды пьезокварцевых резонаторов, и может быть использовано при разработке и оптимизации метрологических характеристик пьезокварцевых сенсоров в аналитической химии. Задачей изобретения является разработка пьезокварцевого сенсора, модифицированного тонкими (десятки нанометров) высокоупорядоченными пленками каликс[4]резорцинарена, для определения паров органических растворителей. Технический результат заключается в обеспечении высокой воспроизводимости сигнала датчика (±3 Гц) при малом времени отклика (10-15 секунд) и продолжительном «времени жизни» (более 150 циклов сорбция-десорбция). Способ заключается в модификации поверхности сенсора пленкой Ленгмюра-Блоджетт дифильного аминометилированного каликс[4]резорцинарена, при этом пленка содержит от 15 до 25 монослоев при поверхностном давлении 25 мН/м. 3 табл.

Изобретение относится к аналитической химии, к способам нанесения пленок на электроды пьезокварцевых резонаторов и может быть использовано при разработке и оптимизации рабочих параметров масс - чувствительных сенсоров. Техническим результатом является получение модифицированного пьезокварцевого сенсора со стабильной частотой, низким дрейфом нулевого сигнала, воспроизводимым откликом, упрощение стадии нанесения пленки, повышение чувствительности определения веществ методом пьезокварцевого микровзвешивания за счет снижения ошибки нанесения сорбента и отказ от применения дополнительного дорогостоящего инструмента. Способ модификации электродов ПКР включает приготовление раствора сорбента, нанесение его на электроды и удаление свободного растворителя из пленки. Электроды резонатора выдерживают в парах раствора сорбента, нагретого до температуры кипения в течение 10-30 с. В качестве сорбентов применяют этанольные растворы пчелиного клея с массовой долей 20% или Тритона Х-100 с массовой долей 1%. 3 табл.