Схемы с электромеханическими или электроакустическими элементами, электромеханические резонаторы: .конструктивные особенности резонаторов, выполненных из материала, не обладающего пьезоэлектрическими, электрострикционными или магнитострикционными свойствами – H03H 9/24

Изобретение относится к генераторам эталонного времени. Техническим результатом изобретения является создание компактного генератора эталонного времени, который полностью интегрирован на одной подложке и в котором резонатор имеет большую добротность, лучшую стабильность частоты и низкое энергопотребление. Генератор (1) эталонного времени содержит резонатор (4) и интегральную электронную схему (3), предназначенную для возбуждения колебаний резонатора, а также для съема сигнала, имеющего определенную частоту, с резонатора. Резонатор представляет собой интегральный микромеханический настраиваемый камертонный резонатор (4), установленный наверху подложки (2) и выполненный с возможностью колебаний в плоскости, параллельной подложке. Настраиваемый камертонный резонатор содержит элемент (5) основы, проходящий перпендикулярно подложке, свободную колебательную структуру (6), соединенную с элементом основы и включающую, по меньшей мере, одну пару параллельных ножек (7, 8) камертона и электрод (9), расположенный рядом с ножками камертона и соединенный с интегральной электронной схемой (3). 17 з.п. ф-лы, 12 ил.

Система отсчета времени содержит резонатор и электронную схему для возбуждения колебаний резонатора и для создания сигнала, имеющего заданную частоту. Резонатор является интегрированным микромеханическим кольцевым резонатором, опирающимся на подложку. Резонатор выполнен с возможностью колебаний вокруг оси вращения, перпендикулярной подложке. Резонатор содержит центральную стойку, проходящую от подложки вдоль оси вращения, и свободностоящую колебательную структуру. Колебательная структура включает наружное кольцо, соосное с осью вращения, и множество пружинных элементов, расположенных симметрично вокруг центральной стойки и соединяющих наружное кольцо с центральной стойкой. Конструкция имеет высокую добротность и подходит для применения в часовом деле, где существенным является стабильность частоты и низкое потребление энергии. 2 н. и 24 з. п. ф-лы, 12 ил., 1 табл.