устройство для контроля формы поверхности
Классы МПК: | G01B21/20 для измерения контуров или кривых, например для измерения профилей сечений |
Автор(ы): | Паринский А.Я., Макарецкий Е.А., Хурхулу Ю.С., Кандлин В.В., Толстых В.Т. |
Патентообладатель(и): | Тульский государственный технический университет |
Приоритеты: |
подача заявки:
1991-03-04 публикация патента:
20.04.1996 |
Изобретение относится к технике измерения отклонений формы и радиуса кривизны сложных поверхностей и, в частности, к устройствам автоматического измерения формы параболических антенн СВЧ-диапазона бесконтактным методом. Целью изобретения является повышение точности измерений, помехозащищенности, расширение диапазона измерений и повышение разрешающей способности при контроле отклонений профиля контролируемой антенны от эталонной. Устройство содержит лазер, модулятор интенсивности лазерного луча, генератор качающейся частоты, генератор линейно изменяющегося напряжения, генератор развертки, каллиматоры с приводами управления оптическим усилением, вариообъективы с приводами управления фокусным расстоянием, дефлекторы лазерного луча, управляемые от привода фотоприемник, смеситель, линию задержки, схему совпадений, инвертор, цифровой измеритель частоты, цифровой блок, информационный контроллер, цифроаналоговые преобразователи. 4 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4
Формула изобретения
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ, содержащее лазер, два дефлектора с механизмом пространственного перемещения луча лазера, фотоприемник, вычислительный блок, контроллер управления перемещением, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, помехозащищенности, расширения диапазона измерений и повышения разрешающей способности, оно снабжено генератором линейно изменяющегося напряжения и генератором развертки, последовательно и соосно установленными по ходу лазерного луча оптической модулятор, электрический вход которого через генератор качающейся частоты и генератор линейно изменяющегося напряжения соединен с выходом генератора развертки, первым коллиматором с управляемым оптическим усилением с приводом перемещения подвижных элементов афокальной насадки объектива коллиматора, первым вариообъективом с управляемым фокусным расстоянием с приводом перемещения составных частей оптической системы вариообъектива, эталонной параболической антенной, обращаемой отражающей поверхностью к отражающей поверхности контролируемой антенны, вторым вариообъективом с управляемым фокусным расстоянием с вторым приводом перемещения составных частей оптической системы вариообъектива, вторым коллиматором с управляемым оптическим усилением с вторым приводом перемещения подвижных элементов афокальной насадки объектива коллиматора, линией задержки, генератором качающейся частоты, схемой совпадения, цифровым измерителем частоты, инвертором, четырьмя цифроаналоговыми преобразователями, вычислительный блок выполнен цифровым, выход фотоприемника соединен с первым входом смесителя, второй вход которого через линию задержки соединен с выходом генератора качающейся частоты, а выход смесителя соединен с первым входом схемы совпадения, второй вход которой через инвертор соединен с выходом генератора развертки, информационный вход цифрового измерителя частоты соединен с выходом схемы совпадения, а вход стробирования соединен с выходом инвертора, входная шина данных цифрового вычислительного блока соединена с выходом измерителя частоты, а его вход управления подключен к выходу инвертора, выходные шины данных контроллера через цифроаналоговые преобразователи соединены с приводами управления, а вход управления контроллера соединен с входом генератора развертки и шиной внешней синхронизации, механизм пространственного перемещения выполнен в виде привода, соединенного с дефлекторами, размещаемыми в фокусах параболических антенн.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерению отклонений формы и радиуса кривизны сложных поверхностей, и, в частности, к устройствам автоматического измерения формы параболических зеркальных антенн СВЧ-диапазона бесконтактным методом. Устройство предназначено для контроля формы зеркальных антенн в виде параболоидов вращения и параболических цилиндров. Наиболее близким техническим решением по своей сущности и достигаемому эффекту является устройство [1] Известное устройство содержит оптический датчик (лазер), механизм угла поворота лазера с двумя степенями свободы, механизм привода для трехмерного перемещения лазера, процессор, контроллер для управления перемещением. В данном устройстве эксплуатируется амплитудный принцип контроля формы поверхности при отражении от нее лазерного пучка. Однако известное устройство имеет недостаточную точность, помехозащищенность и диапазон измерений отклонений профиля. Это обусловлено самой природой амплитудного метода. Уровень, состав и диапазон информационного оптического сигнала в прототипе зависят от стабильности лазера, внешних оптических помех, точности позицирования оптического датчика, распределения поля в сечении луча лазера. Указанные флюктуации возможно учесть, привлекая статистические и корреляционные принципы обнаружения и измерения сигнала. Целью изобретения является повышение точности и помехозащищенности, расширение диапазона измерений отклонения профиля и увеличение пространственного разрешения положения отклонений профиля параболических антенн. Цель достигается тем, что в известное устройство, содержащее лазер, приводы для пространственного перемещения луча лазера, фотоприемник, процессор и контроллер для управления перемещением, введены следующие функциональные узлы:модулятор (М) интенсивности лазерного (Л) луча, электрический вход которого соединен с выходом генератора качающейся частоты (ГКЧ), вход указанного ГКЧ подключен к выходу генератора линейно изменяющегося напряжения (ГЛИН), а вход ГЛИН соединен с выходом генератора развертки (ГР); эталонная параболическая антенна (ЭА), установленная соосно с контролируемой антенной (КА) и обращенная вогнутой поверхностью к вогнутой поверхности КА; между М и осевым отверстием в КА последовательно и соосно установлены первый коллиматор с управляемым оптическим усилением с помощью привода перемещения подвижных элементов афокальной насадки объектива и первый вариообъектив с управляемым фокусным расстоянием с помощью привода перемещения составных частей оптической системы, так что размер фокального пятна на поверхности КА сохраняется постоянным для любой координаты поверхности КА; дефлекторы лазерного луча, размещенные в фокусах КА и ЭА и синхронно управляемые в двух ортогональных плоскостях от общего привода; между осевым отверстием в ЭА и фотоприемником последовательно и соосно установлены второй вариообъектив с управляемым фокусным расстоянием с помощью привода перемещения составных частей оптической системы и второй коллиматор с управляемым оптическим усилением с помощью привода перемещения подвижных элементов афокальной насадки объектива; фотоприемник, выход которого соединен с первым входом смесителя, второй вход смесителя подключен через линию задержки к выходу ГКЧ, а выход смесителя соединен с первым входом схемы совпадения (СС), второй вход СС подключен через инвертор к выходу ГР; цифровой измеритель частоты (ИЧ), информационный вход которого соединен с выходом СС, а вход стробирования с выходом инвертора; цифровой процессор (СР) для вычисления отклонения и полярного радиуса профиля КА, входная шина данных которого соединена с выходом ИЧ, а его вход управления подключен к выходу инвертора; информационный контроллер (ИК) для формирования цифровых кодов команд управления пространственным положением лазерного луча, оптическим усилением коллиматоров и фокусным расстоянием вариообъективов, выходные шины данных которого соединены с соответствующими приводами через цифроаналоговые преобразователи (ЦАП), вход управления ИК соединен с выходом ГР и с шиной внешней синхронизации. В основу работы предложенного устройства положен частотный принцип измерения разности временной задержки между лазерным лучом, модулированным по интенсивности частотно-модулированным сигналом (ЧМ), прошедшим между КА и ЭА, и тем же электрическим ЧМ сигналом, задержанным на фиксированное время в линии задержки (ЛЗ). Временная задержка преобразуется в смесителе в разностную частоту между частотой модуляции задержанного в ЛЗ и частотой модуляции измерительного лазерного луча. Эта разностная частота линейно связана с локальным отклонением профиля КА от ЭА. Далее эта частота преобразуется в цифровой код ИЧ и поступает на вход цифрового процессора (СР), вычисляющего отклонение профиля в локальной точке поверхности КА. Для управления лучом лазера между КА и ЭА в их фокусах размещены двумерные дефлекторы. Для обеспечения постоянства размера пятна лазерного луча на поверхности КА между оптическим модулятором и осевым отверстием в КА соосно и последовательно размещены коллиматор с управляемым оптическим усилением и вариообъектив с управляемым фокусным расстоянием, а для обеспечения постоянства размера рецепторного пятна между осевым отверстием в ЭА и фотоприемником соосно и последовательно размещены вариообъектив с управляемым фокусным расстоянием и коллиматор с управляемым оптическим усилением. Сигналы управления приводами дефлекторов, коллиматоров и вариообъективов формирует по заданным координатам Х, Y КА информационный контроллер (ИК), выходные шины данных которого соединены с приводами через соответствующий ЦАП, а вход внешнего управления ИК соединен с входом ГР. Частотный принцип позволяет реализовать более высокую точность измерения отклонений профиля, более широкий диапазон измерения отклонений, а динамическая фокусировка пятна измерительного луча на КА и рецепторного пятна на ЭА позволяет существенно увеличить помехозащищенность, повысить пространственное разрешение положения отклонения на поверхности КА. На фиг. 1 представлена схема устройства с блоком оптико-электронной обработки информационных сигналов; на фиг. 2 приведена расчетная геометрическая схема параболоида вращения; фиг. 3 поясняет ход лучей при отражении от деформированной параболической поверхности; на фиг. 4 показаны временные диаграммы управляющих и информационных сигналов в блоке оптико-электронной обработки. Устройство (фиг. 1) для контроля формы параболических антенн содержит лазер 1, модулятор (М) 2 интенсивности лазерного луча, электрический вход данного М соединения с выходом генератора качающейся частоты (ГКЧ) 3, вход указанного ГКЧ подключен к выходу ГЛИН 4, а ГЛИН соединен с выходом генератора развертки (ГР), по ходу луча лазера последовательно и соосно установлены коллиматор 6 с приводом (ПР-1) 7 управления оптическим усилением и вариообъектив 8 с приводом (ПР-2) 9 управления фокусным расстоянием. Измерительный луч лазера проходит через осевое отверстие контролируемой антенны (КА) на отражатель двумерного дефлектора 10, размещенного в фокусе параболической КА 11; соосно с КА и с обращенной вогнутой поверхностью к вогнутой поверхности КА установлена эталонная параболическая антенна (ЭА) 12, в фокусе которой размещен двумерный отражательный дефлектор 13. Указанные дефлекторы управляются от привода (ПР-3) 14 в двух ортогональных плоскостях; соответственно в плоскости XOZ-приводом ПР-3Х, в плоскости YOZ-приводом ПР-3У; между осевым отверстием в ЭА и фотоприемником последовательно по ходу лазерного луча и соосно установлены вариообъектив 15 с приводом (ПР-4) 16 управления фокусным расстоянием и коллиматор 17 с приводом (ПР-5) 18 управления оптическим усилением; фотоприемник 19, выход которого соединен с первым входом смесителя 20, второй вход смесителя подключен через линию 21 задержки к выходу ГКЧ, а выход смесителя соединен с первым входом схемы совпадения (СС) 22, второй вход СС подключен через инвертор 23 к выходу ГР; цифровой измеритель частоты (ИЧ) 24, информационный вход которого соединен с выходом СС, а вход стробирования с выходом инвертора; цифровой процессор (СР) 25 для вычисления отклонения профиля зеркала по нормали, по полярному радиусу и радиусу кривизны профиля антенны, входная шина данных которого соединена с выходом ИЧ, а его вход управления подключен к выходу инвертора; информационный контроллер (ИК) 26 для формирования цифровых кодов команд управления пространственным положением лазерного луча, оптическим усилением коллиматоров и фокусным расстоянием вариообъективов, выходные шины данных которого соединены соответственно через цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) (D/A1) 27 с приводом (ПР-1) управления оптическим усилением коллиматоров, через (ЦАП) (D/А2) 28 с приводом ПР-2 управления фокусным расстоянием вариообъективов, через ЦАП (D/АЗх и D/АЗу) 29 и 30 с приводами (ПР-3Х и ПР-3У) двумерных дефлекторов и с входом цифрового процессора, а вход управления ИК соединен с ГР и с шиной внешней синхронизации. Из фиг. 2, 3 и свойств параболической поверхности (см. Драбкин А.Л. и др. Антенно-фидерные устройства. М. Советское радио, 1974) вытекают основные расчетные соотношения, необходимые для пояснения принципа действия и алгоритмов работы предложенного устройства для заданных декоративных координат точек X, Y, Z параболической антенны (КА) на входных шинах ИК. Полярный радиус
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-2t.gif)
Полярный радиус
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058022/177.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
Отклонение по нормали
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-3t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
Полярные углы
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-4t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-5t.gif)
Координаты точек поверхности антенны в полярной системе
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-6t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-7t.gif)
Остальные геометрические соотношения следуют из фиг. 2:
R
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-8t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058423/950.gif)
r
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
Угол между нормалью
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-9t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058019/964.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058019/964.gif)
Тм
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058019/964.gif)
На фиг. 4д показан закон изменения частоты ГКЧ с девиацией
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
fп= fп.min+
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-10t.gif)
fL= fп.min+
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-11t.gif)
Сигналы частот fn и fL поданы на вход смесителя с временным сдвигом
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
tD время задержки сигнала в линии задержки. Оптический путь луча между КА и ЭА:
L Lo
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058022/177.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
Lo
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058022/177.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
где Lo Gf + H оптический путь луча между антеннами с эталонным профилем;
Н расстояние между фокусами антенны;
С скорость распространения волны 3
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-12t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-13t.gif)
На фиг. 4е приведена диаграмма разностных частот на выходе смесителя: верхней разностной частоты на отрезке времени
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
Fpв= fL-fn
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-14t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
Fpн= fn-fL
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-15t.gif)
На фиг. 4ж показана временная диаграмма нижней разностной частоты Fрн Fр на входе ИЧ на отрезке времени Тр. На фиг. 4з представлен на выходе СР цифровой код и знак отклонения профиля
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058022/177.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
Fp=
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-16t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-17t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-18t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-19t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-20t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-21t.gif)
Fo
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
Абсолютное значение полярного радиуса антенны определяется по соотношению (3). Предлагаемое устройство функционирует следующим образом. Луч от лазера 1 модулируется по интенсивности модулятором 2, на вход которого подается электрический сигнал с линейной частотой модуляции (ЛЧМ) от ГКЧ 3, управление им производится от ГЛИН 4, период Тм модуляции которого задает ГР 5. Далее модулированный лазерный луч коллимируется коллиматором 6, фокусируется объективом 8 и через осевое отверстие в контролируемом зеркале антенны направляется дефлектором 10 на поверхность 11 КА. Диаметр пятна dп лазерного пучка на поверхности зеркала, с точки зрения разрешения и точности измерений должен иметь минимальное значение. Это достигается фокусировкой луча на поверхности зеркала объективом 8. Диаметр пятна на поверхности 11 КА равен
dп
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
fв фокусное расстояние объектива 8. В свою очередь, угловая расходимость коллиматора
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
Г оптическое усиление коллиматора. С целью обеспечения равенства OF1А лучей фокусному расстоянию fвобъектива 8 для любых точек зеркала 11 с координатами X, Y, Z необходимо выполнить следующее условие:
fв f +
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
Тогда диаметр пятна на зеркале 11
dп=
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-22t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
Из (25) следует, что, с целью выполнения условия dп const для любых точек поверхности КА с координатами X, Y, Z, необходимо с изменением
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
Г
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
Техническая реализация выполнения условия dп const на зеркале КА достигается размещением между модулятором и осевым отверстием КА 11 коллиматора 6 с приводом 7 управления оптическим усилением и вариообъектива 8 с приводом 9 управления фокусным расстоянием. Указанные приводы соединены соответственно через ЦАП 27 и 28 с выходными шинами данных ИК, который формирует по заданным кооpдинатам X, Y, Z и параметрам f,
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
fв= f+
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-23t.gif)
Г
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-24t.gif)
Дефлектор 10 предназначен для прецизионного двухкоординатного управления лазерным лучом в пространство КА от двухкоординатного привода 14. Коды сигналов управления формирует ИК 26 по алгоритмам (5) и (6). Выходные шины
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/961.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058022/948.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058022/948.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-25t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058022/948.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058022/948.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-26t.gif)
При использовании оптических модуляторов с полосой 2000 МГц и более разрешение составит менее 0,1 мкм, что лучше на порядок, чем в прототипе. Диапазон измерений определяется, как следует из (20), максимальным значением Fo при Fр 0. Например, при
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058203/936.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-27t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-28t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-29t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058015/183.gif)
В прототипе максимальное значение
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058019/964.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058019/964.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058016/8805.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058019/964.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/955.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/955.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/955.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058025/963.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-30t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058025/963.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058011/916.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058523/2058523-31t.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058321/920.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
![устройство для контроля формы поверхности, патент № 2058523](/images/patents/414/2058028/729.gif)
Класс G01B21/20 для измерения контуров или кривых, например для измерения профилей сечений