устройство для сортировки на группы по электрическим параметрам плоских хрупких изделий

Классы МПК:H01L21/66 испытания или измерения в процессе изготовления или обработки
H01L21/68 для позиционирования, ориентирования и центрирования
Автор(ы):, , , , , ,
Патентообладатель(и):Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2012-07-13
публикация патента:

Изобретение относится к контрольно-испытательному оборудованию изделий электронной техники, а именно к устройствам для сортировки на группы по вольт-амперным характеристикам (ВАХ) фотопреобразователей (ФП) в спутниках, и может быть использовано при производстве фотоэлектрических панелей. Устройство содержит вертикальный пенал для сортируемых ФП с механизмом выгрузки и подачи изделий по транспортирующему горизонтальному каналу в узел контактирования, солнечный имитатор, измеритель ВАХ, узел позиционирования в виде горизонтального поворотного диска с приемными гнездами для изделий, приемные вертикальные пеналы в количестве N групп сортировки и загрузочные толкатели для загрузки последних. Приемные пеналы выполнены с возможностью загрузки изделий снизу вверх, толкатели установлены оппозитно их входным отверстиям. Приемные сквозные гнезда выполнены в количестве N плюс одно для загрузки изделия на диск узла позиционирования. Узел позиционирования установлен между приемными пеналами и толкателями и снабжен приводом поворота с фиксированным шагом, равным углу 360°/(N+l). Технический результат - повышение производительности и сокращение брака за счет механических повреждений ФП. 2 ил. устройство для сортировки на группы по электрическим параметрам   плоских хрупких изделий, патент № 2528117

устройство для сортировки на группы по электрическим параметрам   плоских хрупких изделий, патент № 2528117 устройство для сортировки на группы по электрическим параметрам   плоских хрупких изделий, патент № 2528117

Формула изобретения

Устройство для сортировки на группы по электрическим параметрам плоских хрупких изделий, преимущественно пластин фотопреобразователей в спутниках, включающее пенал для сортируемых изделий с механизмом выгрузки, транспортирующий канал, узел контактирования, электрически соединенный с измерителем, приемные пеналы по числу групп сортировки, узел позиционирования изделий напротив входных отверстий приемных пеналов и толкатели для загрузки изделий в последние, отличающееся тем, что транспортирующий канал размещен в горизонтальной плоскости, а приемные пеналы установлены вертикально и выполнены с возможностью загрузки снизу вверх, при этом узел позиционирования изделий установлен между приемными пеналами и толкателями и выполнен в виде горизонтального поворотного диска с приемными гнездами для изделий в количестве, превышающем число приемных пеналов N на один, при этом последние установлены с возможностью размещения приемных гнезд оппозитно их входным отверстиям при повороте диска на угол, равный шагу 360°/(N+1).

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к контрольно-испытательному оборудованию изделий электронной техники, а именно, к устройствам для сортировки на группы по вольт-ампернымхарактеристикам (ВАХ) фотопреобразователей (ФП) в спутниках, и может быть использовано при производстве фотоэлектрических панелей.

Наиболее близким аналогом к заявляемому техническому решению является устройство для сортировки интегральных схем в спутниках, которое содержит пенал для сортируемых изделий с механизмом выгрузки, вертикальный транспортирующий канал, узел контактирования, электрически соединенный с измерителем, приемные пеналы по числу групп сортировки, установленные в вертикальный ряд, узлы позиционирования изделий напротив входных отверстий приемных пеналов и толкатели для загрузки изделий в последние (SU 1018179 H01L 21/00, опубликовано 15.05.1983 г.).

Изделия в известном устройстве испытывают ударное воздействие, поскольку перемещаются в транспортирующем канале под собственным весом с возможностью механического повреждения. При увеличении числа групп, например до 20, возрастает вертикальный габарит транспортного канала, увеличиваются ударные нагрузки и снижается производительность в связи с увеличением времени полета изделия и последовательным выполнением операций транспортировки на позицию сортировки и загрузки в пенал группы сортировки.

Задача изобретения - совершенствование конструкции устройства для сортировки на группы по электрическим параметрам плоских хрупких изделий, преимущественно пластин ФП с достижением технического результата, выражающегося в повышении производительности устройства и сокращении брака за счет исключения механических повреждений изделий при их транспортировке и сортировке.

Технический результат достигается тем, что в устройстве для сортировки на группы по электрическим параметрам плоских хрупких изделий, преимущественно пластин ФП в спутниках, включающем пенал для сортируемых изделий с механизмом выгрузки, транспортирующий канал, узел контактирования, электрически соединенный с измерителем, приемные пеналы по числу групп сортировки, узел позиционирования изделий напротив входных отверстий приемных пеналов и толкатели для загрузки изделий в последние, транспортирующий канал размещен в горизонтальной плоскости, а приемные пеналы установлены вертикально и выполнены с возможностью загрузки снизу вверх, при этом узел позиционирования изделий установлен между приемными пеналами и толкателями и выполнен в виде горизонтального поворотного диска с приемными гнездами для изделий в количестве, превышающем число приемных пеналов N на один, при этом последние установлены с возможностью размещения приемных гнезд оппозитно их входным отверстиям при повороте диска на угол, равный шагу 360°/(N+1).

На фиг.1 изображен общий вид устройства; на фиг.2 - вид сверху фиг.1.

Устройство содержит вертикальный пенал 1 для сортируемых изделий (ФП) 2 с механизмом 3 выгрузки и подачи изделий по транспортирующему горизонтальному каналу 9 в узел контактирования 4, солнечный имитатор 11, измеритель 5 ВАХ, узел позиционирования 6 с приемными гнездами 7 для изделий, толкатели 8 для загрузки изделий в вертикальные приемные пеналы 10 в количестве N групп сортировки.

Приемные пеналы 10 выполнены с возможностью загрузки изделий снизу вверх, а толкатели 8 установлены оппозитно их входным отверстиям.

Узел позиционирования 6 в виде горизонтального поворотного диска, на котором приемные сквозные гнезда 7 для изделий выполнены в количестве N числа приемных пеналов 10 плюс одно для загрузки изделия на диск узла позиционирования. Так, например, при числе групп сортировки 15, приемных гнезд - 16. При таком соотношении обеспечивается непрерывность процесса приема изделий в узел позиционирования 6 без остановок на загрузку во время сортировки как в прототипе.

Оси симметрии приемных гнезд размещены радиально с шагом 360°/(N+1).

Узел позиционирования 6 установлен между приемными пеналами 10 и толкателями 8 и снабжен приводом (не показан) поворота с фиксированным шагом, равным углу 360°/(N+1).

В исходном положении N приемных гнезд 7 размещены оппозитно входным отверстиям приемных пеналов 10, а одно соосно транспортирующему каналу 9 на позиции загрузки.

Работа устройства осуществляется следующим образом.

Механизм загрузки 3 перемещает изделие 2 из пенала 1 по направляющей транспортируюшего канала 9 на позицию идентификации узла контактирования 4, включается имитатор 11 солнечного излучения и производится замер ВАХ характеристик изделия. По результатам замеров изделию присваивается номер n одной из групп и далее оно по каналу 9 перемещается в приемное гнездо 7 на диске узла позиционирования 6. Диск поворачивается на угол 360°/(N+1). Приемное гнездо с изделием устанавливается оппозитно входному отверстию ближайшего первого приемного пенала 10, позицию загрузки занимает соседнее приемное гнездо. Процесс повторяется, и, диск узла позиционирования 6 перемещает изделие 2 от пенала к пеналу. Заняв позицию под пеналом, соответствующим номеру n присвоенной группы, изделие толкателем 8 загружается в выбранный пенал.

Работа устройства управляется от ЭВМ типа IBM PC (не показана). ЭВМ обеспечивает замер ВАХ ФП и сортировку их в соответствии с полученными результатами на N групп в автоматическом режиме. Возможно и ручное управление устройством через интерфейс пользователя, поддерживаемый ЭВМ.

При заполнении одного из пеналов 10 по информации на сервисной панели системы управления и подачи звукового сигнала его извлекают вручную с последующей заменой.

Класс H01L21/66 испытания или измерения в процессе изготовления или обработки

способ определения мольной доли li2o в монокристаллах linbo3 -  патент 2529668 (27.09.2014)
способ контроля качества алмазных пластин, предназначенных для изготовления детекторов ионизирующих излучений -  патент 2525636 (20.08.2014)
способ обнаружения скрытых дефектов матричных бис считывания -  патент 2523752 (20.07.2014)
термокамера для испытания электронных изделий -  патент 2523098 (20.07.2014)
способ контроля качества светодиодной структуры -  патент 2521119 (27.06.2014)
способ определения электропроводности и толщины полупроводниковых пластин или нанометровых полупроводниковых слоев в структурах "полупроводниковый слой - полупроводниковая подложка" -  патент 2517200 (27.05.2014)
способ контроля дефектности эпитаксиальных слоев кремния на диэлектрических подложках -  патент 2515415 (10.05.2014)
способ увеличения выхода годных при изготовлении высокоплотных электронных модулей -  патент 2511007 (10.04.2014)
способ определения стойкости электронных компонентов и блоков радиоэлектронной аппаратуры к воздействию ионизирующих излучений -  патент 2504862 (20.01.2014)
способ измерения диффузионной длины неосновных носителей заряда в полупроводниках и тестовая структура для его осуществления -  патент 2501116 (10.12.2013)

Класс H01L21/68 для позиционирования, ориентирования и центрирования

способ эксфолиации слоистых кристаллических материалов -  патент 2519094 (10.06.2014)
спутник-носитель пластин фотопреобразователя -  патент 2477545 (10.03.2013)
устройство и способ для управления температурой поверхности подложки в технологической камере -  патент 2435873 (10.12.2011)
способ формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, и система манипулирования для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин -  патент 2411608 (10.02.2011)
приспособление для закрепления пластины -  патент 2380786 (27.01.2010)
электростатический держатель для использования в вакуумной камере высокотемпературной обработки, способ обработки подложки и расширительный узел электростатического держателя -  патент 2295799 (20.03.2007)
лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов -  патент 2280916 (27.07.2006)
устройство для ориентации пластин -  патент 2131155 (27.05.1999)
погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации -  патент 2126191 (10.02.1999)
устройство для ориентации пластин -  патент 2099816 (20.12.1997)
Наверх