Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: .предварительная обработка покрываемого материала – C23C 14/02

Изобретение относится к ионной очистке поверхности изделий из диэлектрического материала или проводящего материала с диэлектрическими включениями. Изделия размещают на проводящем держателе, генерируют плазму с импульсно-периодическим ускорением ее ионов путем прохождения плазменного потока через ускоряющий зазор и с обеспечением поочередного облучения поверхности изделий потоком ускоренных ионов и плазмой при подаче на проводящий держатель высокочастотных короткоимпульсных потенциалов смещения. Длительность импульсов 0,1-10 мкс, коэффициент заполнения импульсов 50-99% и амплитуда потенциала 1-10 кВ. При этом облучение поверхности изделий ведут при длительности импульса потенциала смещения, которая меньше времени зарядки емкости конденсатора, образованного проводящим держателем и эмиссионной границей плазмы, и при длительности паузы между импульсами ускоряющего напряжения, которая меньше времени прохождения плазменного потока через ускоряющий зазор. Обеспечивается повышение эффективности короткоимпульсной, высокочастотной ионной обработки материалов. 7 з.п. ф-лы, 6 ил., 2 пр.

Изобретение относится к способу изготовления термического барьера, содержащего, по меньшей мере, подслой и керамический слой, покрывающие металлическую подложку из жаропрочного сплава. Согласно способу сглаживают состояние поверхности подслоя посредством по меньшей мере одного физико-химического и/или механического процесса перед осаждением керамического слоя таким образом, что число дефектов в виде углублений и выступов, обладающих расстоянием между дном углубления и вершиной выступа, большим или равным 2 мкм, составляет самое большее пять на любом расстоянии в 50 мкм, а затем осаждают керамический слой. Повышается срок службы изготавливаемых деталей, содержащих подложку из жаропрочного сплава с нанесенным на нее термическим барьером. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 11 ил.

Изобретение относится к обработке поверхностей заготовок в установке вакуумирования с выполненным в виде мишени первым электродом, являющимся частью источника испарения электрической дугой, и с выполненным в виде держателя заготовок вторым электродом. Через первый электрод подают дуговой разряд с импульсным током дугового разряда, посредством которого с мишени испаряется материал, который, по меньшей мере, частично и периодически осаждается на заготовках. Второй электрод вместе с заготовками образует электрод смещения. На электрод смещения посредством электропитания подают напряжение смещения, при этом напряжение смещения подают в согласовании с током дугового разряда с обеспечением ионной бомбардировки поверхности подложки при достижении равновесного состояния между образованием на поверхности слоя и его удалением. Способ позволяет осуществлять различные виды обработки поверхностей заготовок при обеспечении нулевого прироста слоя на поверхности от испаряющейся мишени. 14 з.п. ф-лы, 10 ил.

Изобретение относится к способу обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме для удаления загрязнений. Технический результат изобретения состоит в обеспечении надежной фиксации и управляемого характера перемещения катодных пятен по очищаемой поверхности. Инициируют на обрабатываемой поверхности катодные пятна дугового разряда, который возбуждают в режиме возрастающего участка вольтамперной характеристики между анодом и катодом, который является обрабатываемой поверхностью. Осуществляют локализацию области существования катодных пятен на обрабатываемой поверхности и ее смещение путем перемещения анода. Используют анод с площадью токоприемной поверхности, меньшей площади катода, и устанавливают его на расстоянии от катода, обеспечивающем положительное анодное падение напряжения. Использование изобретения позволяет упростить стабилизацию катодных пятен на обрабатываемой поверхности, сократить время протекания технологического процесса очистки и повысить качество очищаемой поверхности. 2 ил.

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам модифицирующей обработки поверхностей изделий из титановых сплавов для улучшения их триботехнических характеристик. Способ включает предварительную очистку и активацию поверхности изделия из титанового сплава путем бомбардировки ее ионами аргона с использованием газового плазмогенератора и ионно-плазменное осаждение композиционного покрытия путем магнетронного распыления катода, содержащего карбид титана и дисульфид молибдена, с приложением отрицательного потенциала на изделие и совмещением процесса осаждения с бомбардировкой поверхности ионами аргона. Осаждение покрытия производят на предварительно легированный поверхностный слой титанового сплава, который формируют магнетронным распылением катодного материала, при одновременной бомбардировке поверхности ионами аргона с использованием газового плазмогенератора и приложением отрицательного потенциала на изделие, превышающего значение потенциала при осаждении покрытия. Исходное соотношение компонентов распыляемого катодного материала составляет: карбид титана 40-60 мас.%, дисульфид молибдена - остальное. Обеспечивается снижение коэффициента трения и повышение износостойкости. 15 ил., 2 табл., 3 пр.

Изобретение относится к области технологии осаждения субмикронных пленок нитрида титана на металлические, полупроводниковые, диэлектрические и может быть использована в микроэлектронной промышленности, авиационно-космической отрасли, атомного машиностроения, инструментального производства, в медицине, стоматологии. Осуществляют предварительную очистку подложки ионной бомбардировкой в тлеющем разряде в атмосфере аргона при температуре 45-50°C в течение 10-15 минут. Формируют субмикронную пленку из двух компонентов: TiN и Ti в вакууме путем электродугового распыления титановой мишени в атмосфере реакционного газа-азота. Полученную субмикронную пленку подвергают бомбардировке ионами азота при смещении на подложке до - 600 В температуре 50-60°C в течение 15-20 мин. Изобретение позволяет изменять содержание титана по отношению к нитриду титана в пленке не в процессе, а после напыления, в результате достигается формирование покрытия на основе нитрида титана стехиометрического состава и повышение физико-механических свойств изделий. 2 ил.

Изобретение относится к области атомного и химического машиностроения, а именно к способам нанесения покрытий для защиты деталей от водородной коррозии. Технический результат - повышение работоспособности, надежности и увеличение долговечности деталей с покрытием. Способ включает обезжиривание детали, размещение детали в вакуумной камере, откачку камеры до вакуума, предварительную очистку в среде инертного газа, ионную очистку/травление поверхности, осаждение слоев конденсацией с ионной бомбардировкой и охлаждение в вакууме, а затем в среде инертного газа. Размещение детали выполняют в точке фокусирования потоков не менее чем двух вакуумных дуговых источников плазмы. Предварительную очистку выполняют в среде ионизированного инертного газа. Ионную очистку/травление поверхности выполняют путем подачи на подложку сначала напряжения в диапазоне 200-500 В, затем повышают его плавно или ступенчато до 1-1,5 кВ. При этом для нанесения микрослоев покрытия используют сплавы на основе сочетаний металлов, выбранных из группы Cr, Ni, W, Nb, Zr, Ti, Al, Mo, распыляя их одновременно при вращении детали. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к технологии получения покрытий при изготовлении режущего инструмента. Осуществляют нанесение покрытия на подложку из высокоуглеродистой стали в среде инертного газа. Сначала выполняют очистку поверхности подложки потоком ионов инертного газа методом конденсации с ионной бомбардировкой (КИБ) при температуре 550-600°С. Никелевое покрытие наносят методом КИБ при температуре 550-600°С. Затем осуществляют его отжиг с повышением температуры до 650-700°С и последующее нанесение карбида хрома. Изобретение позволяет повысить плотность и однородность покрытий и адгезию между подложкой и первым слоем покрытия из никеля, а также - между покрытиями из никеля и карбида хрома. 1 пр.

Изобретение относится к получению износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких покрытий и может быть использовано в машиностроении для повышения надежности и деталей машин и инструмента. Обрабатываемую деталь размещают в вакуумной камере установки, содержащей плазменный источник с накальным катодом и два электродуговых испарителя в виде катодов из алюминия и титана, расположенных в одной плоскости напротив друг друга. Осуществляют ионную очистку поверхности детали плазменным источником с накальным катодом и ионную очистку электродуговым испарителем в среде инертного газа при нагреве поверхности до температуры 300-350°C. Наносят на поверхность детали нижний слой титана посредством титанового катода. Наносят слой на основе нитрида интерметаллида системы Ti-Al посредством двух катодов. Наносят слой на основе интерметаллида системы TiAl посредством двух катодов. Нанесение слоев покрытия осуществляют при ассистировании плазменным источником с накальным катодом. При нанесении слоя на основе интерметаллида изменение его фазового состава осуществляют путем изменения расположения обрабатываемой детали в вакуумной камере. Технический результат: повышение однородности состава покрытия. 3 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам ионной имплантации поверхности деталей из конструкционных сталей. Технический результат - повышение износостойкости и снижение коэффициента трения поверхности детали при трении скольжении. Способ включает имплантацию в поверхность стали ионов меди, а затем ионов свинца. При этом перед имплантацией поверхность детали обрабатывают лазерным лучом, который фокусируют в пятно формой круга с удельной плотностью излучения 260-800 Вт/мм² , после чего пятно перемещают по обрабатываемой поверхности со скоростью 25-40 мм/с. 3 ил., 1 табл.

Изобретение относится к покрытию подложек с одной или более сторон каталитически активным материалом для их использования в качестве электродов, применяемых при хлорщелочном электролизе и/или получении водорода. В вакуумную камеру загружают по меньшей мере одну подложку. Осуществляют закрытие и откачивание вакуумной камеры. Очищают подложку путем введения в камеру газообразного восстановителя. Увеличивают поверхность подложки путем осаждения на нее парообразного компонента, который, предпочтительно, идентичен материалу подложки. Наносят покрытие методом, выбранным из группы процессов плазменного осаждения, физического осаждения из газовой фазы и процессов распыления, при этом на поверхность подложки наносят один или более металлов или их оксидов. Наполняют камеру воздухом и извлекают из нее покрытую подложку. Способ обладает простотой, высокой производительностью и регулируемостью процесса. 2 н. и 9 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к технологии обработки поверхности деталей в вакууме и может быть использовано для удаления с поверхности деталей окалины, окисных пленок, технологической смазки, различных загрязнений и отложений, образующихся в процессе эксплуатации, а также для упрочнения или отпуска приповерхностного слоя деталей, удаления заусенцев и микровыступов и т.д. Технический результат - повышение качества обработки поверхности изделии и упрощение процесса обработки. Заявленный способ обработки включает возбуждение разряда, обработку поверхности катодными пятнами вакуумной дуги и перемещение их вдоль участка обработки. При этом осуществляют перемещение катодной области дуги вдоль участка обработки поверхности изделия путем изменения силы токов через токоподводы отрицательного потенциала, подключенные к двум и более точкам обрабатываемой поверхности, при одновременном непрерывном или дискретном перемещении положительного электрода и обрабатываемой поверхности относительно друг друга. Устройство для реализации способа содержит источник питания дуги, положительный электрод и в качестве катода - обрабатываемое изделие, размещенное в вакууме. При этом токоподводы отрицательного потенциала подключены к обрабатываемой поверхности в двух и более точках через регуляторы тока. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий, и может быть использовано при нанесении покрытий на детали сложной конфигурации. Способ включает создание разности электрических потенциалов между деталью и катодом, очистку поверхности детали потоком ионов, снижение разности потенциалов, нанесение покрытия и проведение отжига покрытия путем повышения разности потенциалов. После отжига деталь охлаждают до комнатной температуры, помещают в печь и производят диффузионный отжиг в вакуумной среде. При этом ионный поток и поток испаряющегося материала, идущий от катода к детали, при очистке экранируют. Очистку проводят ионами инертного газа, после очистки экраны отводят и наносят покрытие при вращении детали вокруг своей оси. Причем очистку, нанесение покрытия и отжиг осуществляют за один цикл, а диффузионный отжиг покрытия осуществляют ступенчато при Т=100±5, 340±10, 730±10 и 900±50°С в вакууме 1·10^-3 мм рт.ст. Технический результат - повышение производительности способа. 4 з.п. ф-лы.

Настоящее изобретение относится к способу нанесения покрытия на металлическую полосу и может быть использовано, в частности, для получения стальной полосы с магний-цинковым покрытием. Металлическую полосу предварительно покрывают цинком или цинковым сплавом, затем в вакууме на упомянутой полосе осаждают слой окисляемого металла или окисляемого металлического сплава, после чего покрытую металлическую полосу сворачивают в рулон. Намотанный рулон подвергают статической диффузионной термообработке для получения полосы, имеющей покрытие, содержащее в верхнем участке слой сплава, образованный посредством диффузии окисляемого металла или окисляемого металлического сплава во всем слое или части слоя цинка или цинкового сплава. Обеспечивается производство многослойных покрытий, имеющих благоприятные характеристики поверхности изделий с покрытием, при малом расходе энергии и инертного газа или без использования инертного газа, на металлических подложках разного типа. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 2 ил., 2 пр.

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технологии, а именно к устройствам для обработки длинномерных изделий. Установка содержит вакуумную камеру 1, размещенные в ней держатель изделий 12 с изолированным токоподводом и, по меньшей мере, один длинномерный электрод 2 электродугового источника плазмы, устройство нагрева изделий 6, а также источники питания вакуумно-дугового разряда 3 и устройства нагрева изделий 11. Устройство нагрева изделий 11 выполнено в виде дополнительной изолированной посредством экранов и изоляторов эмиссионной камеры 7, внутри которой установлен длинномерный катод 8 вакуумно-дугового разряда, являющийся эммитером электронов, эмиссионная камера 7 соединена с вакуумной камерой 1 посредством перфорированной перегородки 9, отверстия перфорации 10 которой расположены вдоль продольной оси катода 8 вакуумно-дугового разряда. При этом источник питания 11 устройства нагрева изделий выполнен с возможностью подключения отрицательного полюса к эмиссионной камере 7, а положительного - к держателю 12 изделий или электроду 2. Источник питания 3 вакуумно-дугового разряда выполнен с возможностью подключения отрицательного полюса к катоду 8 вакуумно-дугового разряда или электроду 2, а положительного - к эмиссионной камере 7 или вакуумной камере 1. Технический результат - повышение равномерности прогрева изделий. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к способам формирования сверхтвердых аморфных углеродных покрытий в вакууме и может быть использовано для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, а также в качестве сигнального покрытия, используемого для анализа степени износа. Согласно способу подложку помещают в вакуумную камеру, которую затем вакуумируют, поверхность подложки обрабатывают ускоренными ионами, затем наносят слой материала, обеспечивающего адгезию последующих слоев. При помощи импульсного потока углеродной плазмы из множества катодных пятен с коэффициентом абляции графитового катода в пределах от 70 до 140 мкг/Кл формируют сверхтвердое углеродное покрытие. Температуру подложки поддерживают в пределах от 200 до 450 K путем регулировки частоты следования импульсов электродугового разряда. При этом указанную величину коэффициента абляции обеспечивают величиной заряда емкостного накопителя. При необходимости величину коэффициента абляции изменяют в процессе нанесения углеродного покрытия пределах от 70 до 140 мкг/Кл. Технический результат - увеличение плотности, микротвердости, электрического сопротивления и термостойкости покрытия, уменьшение его поглощения в оптическом диапазоне. 2 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к теплозащитным покрытиям и способам их получения на рабочих и направляющих лопатках энергетических и транспортных турбин, и, в особенности, газовых турбин авиадвигателей. Способ включает формирование на защищаемой поверхности лопатки металлического подслоя из жаростойкого сплава, переходного металлокерамического слоя и внешнего керамического слоя из ZrO₂, стабилизированного Y₂O₃. Сначала наносят металлический подслой. На него наносят слой высокотемпературного припоя, на который наносят керамический слой. После этого выполняют диффузионный отжиг при температуре, обеспечивающей получение жидкой фазы металла подслоя. Формируют переходный металлокерамический слой за счет смачивания керамического слоя металлом нижележащего высокотемпературного припоя на глубину, равную толщине переходного слоя. В результате повышается эксплуатационная прочность сцепления на границе переходный слой - внешний керамический слой при одновременном повышении выносливости и циклической прочности деталей с защитными покрытиями. 2 н. и 24 з.п. ф-лы, 3 табл.

Изобретение относится к металлургии, в частности к способам получения жаростойких покрытий ионно-плазменным напылением, и может быть использовано в ракетной промышленности для рабочих колес турбин жидкостных ракетных двигателей. Лопатки подвергают диффузионному отжигу при температуре 850±10°С в вакууме в течение времени, обеспечивающего создание поверхностного слоя лопаток, идентичного по прочности основному металлу лопаток, затем проводят механическую зачистку лопаток на глубину 15-30 мкм и их химическую очистку. Диффузионный отжиг проводят в вакууме 10^-3 мм рт. ст. в течение 30-60 минут. Механическую зачистку поверхностного слоя лопаток осуществляют с помощью электрокорунда. Получается прочный поверхностный слой лопаток, идентичный по химическому составу основному металлу рабочего колеса турбины, позволяющий избежать на поверхности трещин и других дефектов. 2 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к способу восстановления блока сопловых лопаток турбомашин из никелевых и кобальтовых сплавов. Дефектацию лопаток проводят по условиям эксплуатации раздельно для входной и выходной кромок. Для каждой из них определяют размер, расположение и геометрию дефектной зоны. В зависимости от размера, расположения и геометрии дефектной зоны разделяют лопатки на группы. В каждой из групп выбирают одинаковую линию ремонтного сечения. Для каждой группы изготавливают одинаковые вставки. Число групп берут от 1 до 20. Вставки изготавливают из материала, близкого по составу и/или свойствам материалу лопатки, размерами и формой соответствующими исходным размерам и форме восстанавливаемой этой вставкой части лопатки с учетом припуска на сварку в зоне стыка с лопаткой. Для группы входных или выходных кромок высоты вставок, измеренные в направлении оси пера лопатки, берут равными от 5% до 100% от высоты пера лопатки с шагом 5%, а ширины вставок, измеренные в направлении, перпендикулярном продольной оси пера лопатки, берут равными от 15% до 100% от высоты вставки. Проводят сборку и сварку вставок и лопатки по линиям ремонтного сечения, термическую и механическую обработки лопатки. В результате повышается качество восстанавливаемых деталей при снижении трудоемкости ремонта. 24 з.п. ф-лы, 3 ил., 2 табл.

Изобретение относится к установке для комбинированной ионно-плазменной обработки и может быть применено в машиностроении, преимущественно для ответственных деталей, например рабочих и направляющих лопаток турбомашин. Установка содержит вакуумную цилиндрическую камеру с загрузочной дверью и фланцами для установки технологических модулей, позволяющих осуществлять комплексную обработку деталей в одном технологическом цикле работы установки. Размеры вакуумной камеры позволяют обрабатывать длинномерные детали. Использование в установке протяженных источников металлической плазмы и электродуговых испарителей, а также форма камеры обеспечивают равномерную и качественную обработку деталей. Установка снабжена высокоэнергетическими источниками для ионной имплантации газа и высокоэнергетическими источниками металлической плазмы, что в сочетании с другими ионно-плазменными и ионно-имплантационными устройствами позволяет получать наноструктурированные и нанослойные покрытия. Повышению качества покрытий способствует применение в установке фильтров капельной фазы. 16 з.п. ф-лы, 1 табл., 2 ил.

Изобретение относится к способам формирования композитных твердых смазочных покрытий на рабочих поверхностях узлов трения, работающих в экстремальных условиях эксплуатации: при высоких контактных давлениях, в криогенной среде и в вакууме, при фреттинг-коррозии. Способ включает предварительную абразивно-струйную обработку поверхности, очистку поверхности ионным травлением и нанесение покрытия. Покрытие наносят распылением мозаичной мишени в виде диска, выполненного из титана с равномерно распределенными в нем вставками из свинца, в магнетронной распылительной системе в реактивной среде газов - аргона и азота. При этом покрытие наносят из нитрида титана и свинца при следующем соотношении компонентов: нитрид титана - 90-95%, свинец - 5-10%. Технический результат - повышение износостойкости, сопротивления усталости, исключение задира рабочих поверхностей деталей. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам получения покрытий на лопатках турбомашин, и может быть использовано в авиационном двигателестроении и энергетическом турбостроении для защиты пера рабочих лопаток компрессора и турбины из легированных сталей от коррозионного и эрозионного разрушения. Способ включает ионно-имплантационную обработку поверхности лопатки с последующим нанесением на нее чередующихся слоев толщиной от 10 нм до 30 нм металлов или соединений этих металлов с другими металлическими или неметаллическими элементами. После нанесения каждого слоя производят его имплантационную обработку ионами других металлических или неметаллических элементов до получения сплошного внедренного в поверхность слоя толщиной от 1 нм до 9 нм. При этом в качестве металлов для нанесения слоя используют Ti, Zr, Hf, Cr, V, Nb, Та, Mo, W, Al, La, Eu, а в качестве имплантируемых ионов - ионы Cr, Y, Yb, С, В, Zr, N, La, Ti или их сочетание, при условии разнородности металлов, наносимых в качестве слоя, и металлов, имплантируемых в этот слой. Технический результат - повышение выносливости и циклической долговечности. 19 з.п. ф-лы, 3 табл.

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к способу нанесения покрытий в вакууме на изделия из электропроводных материалов или диэлектриков. Способ включает очистку и активацию поверхности изделий перед нанесением покрытия газовыми ионами, получаемыми в плазмогенераторе на основе несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом, электродуговое распыление катодной мишени и осаждение получаемого потока на изделия в атмосфере газа, предварительно ионизированного в плазмогенераторе на основе несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом. После очистки и активации на поверхность изделий осаждают связующий подслой магнетронным распылением катодной мишени из материала задаваемого компонентного состава. Затем формируют промежуточный переходной слой одновременным магнетронным и электродуговым распылением катодных мишеней и осаждением получаемого смешанного потока на связующий подслой в атмосфере газа, предварительно ионизированного в плазмогенераторе, при постепенном снижении тока магнетронного разряда до ноля. В результате обеспечивают получение изделия с покрытием, обладающего улучшенной работоспособностью в жестких условиях эксплуатации. 1 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к области машиностроения и металлургии и может быть использовано в авиационном и энергетическом турбостроении при изготовлении рабочих лопаток турбин с монокристаллической структурой из жаропрочных литейных никелевых сплавов. Способ нанесения керамического покрытия включает размещение изделия в камере распыления, вакуумирование камеры, подачу в камеру смеси кислорода и инертного газа и формирование керамического покрытия на изделии в две стадии. При этом на первой стадии осуществляют нагрев изделия до температуры 500-1000°С, совмещая его с обработкой поверхности изделия пучком ускоренных ионов инертного газа. На второй стадии осуществляют обработку поверхности изделия пучком ускоренных ионов инертного газа, совмещенную с магнетронным распылением мишени. После формирования керамического покрытия проводят термообработку изделия. Технический результат - увеличение ресурса работы турбин высокого давления ГТД, снижение трудоемкости технологического процесса нанесения теплозащитных покрытий. 3 з.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к области получения металлических покрытий методом магнетронного и дугового вакуумного распыления материала катода и может быть использовано для получения токопроводящих, защитных, износостойких покрытий на изделиях из керамики. Способ включает размещение изделий в рабочей камере, ее вакуумирование, предварительную плазменную обработку изделий путем ионной очистки изделий аргоном и воздействие на изделия плазмой газа, содержащего окислитель, и распыление катода из металла. Предварительную плазменную обработку изделий проводят в течение 1-14 минут, при этом при воздействии на изделие плазмой газа, содержащего окислитель, на поверхности изделия формируют мономолекулярный слой химического соединения из элементов материала основы и активных элементов газовой плазмы. После предварительной плазменной обработки в рабочей камере создают разрежение до остаточного давления 10 ^-3 Па, а для распыления используют катод, выполненный из металла с удельным сопротивлением не выше 16 мкОм×см. Получаются равномерные по толщине металлические покрытия, повышается адгезия покрытия на поверхности изделия. 5 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к способам модификации поверхности текстильного материала и может быть использовано для нанесения тонких пленок металлов, сплавов или соединений металлов. Способ включает обезгаживание материала при вакуумировании камеры с обрабатываемым материалом и последующее нанесение на его поверхность покрытия методом магнетронного распыления. При этом в процессе вакуумирования материал обрабатывают в низкотемпературной плазме тлеющего разряда неполимеризующегося газа. Технический результат - повышение качества покрытия, снижение времени модификации и расхода электроэнергии. 4 табл.

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам нанесения антифрикционных износостойких покрытий, и может быть использовано при обработке поверхностей деталей пар трения и кинематических передач. Способ включает предварительную очистку и активацию поверхности изделия путем ее бомбардировки ионами аргона и ионно-плазменное осаждение покрытия. Осаждение покрытия совмещают с бомбардировкой поверхности изделия ионами аргона. При этом осаждение осуществляют вакуумно-дуговым распылением при отрицательном потенциале на изделии путем осаждения титанового подслоя при распылении титанового катода и последующего осаждения композиционного слоя при распылении катода. Причем катод содержит 45-75 мас.% карбида титана и дисульфид молибдена - остальное. Технический результат - снижение коэффициента трения покрытия и повышение его износостойкости. 1 з.п. ф-лы, 3 ил., 4 табл.

Изобретение относится к технике вакуумного нанесения износо-, коррозионно- и эрозионностойких ионно-плазменных покрытий и может быть применено в машиностроении, преимущественно для ответственных деталей, например рабочих и направляющих лопаток турбомашин. В вакуумной камере установки размещают лопатки, прикладывают к лопаткам электрическое смещение, выполняют ионную очистку поверхности и наносят на них покрытие электродуговым испарением материалов при одновременном вращении и возвратно-поступательном движении цилиндрических водоохлаждаемых катодов. Внутри каждого катода имеется перемещающийся магнитный фиксатор положения катодного пятна. Величина амплитуды возвратно-поступательного движения катода в осевом направлении (Н_к.в/п) составляет: H _к.в/п=(0,2 3) Н_у.п, где Н_у.п - предельная высота рабочей зоны вакуумной камеры при отношении высоты катода (H _к) к предельной высоте рабочей зоны вакуумной камеры (Н _у.п), равном (0,2 4). В изобретении используют катоды из следующих металлов и их сплавов: Ti, Zr, Hf, Cr, V, Nb, Та, Mo, W, Al, La, Eu, Ni, Co, Y. Технический результат заключается в повышении качества покрытий за счет уменьшения капельной фазы и улучшения охлаждения поверхности катода без увеличения габаритов вакуумной камеры установки. 2 н. и 25 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для нанесения комплексных многокомпонентных покрытий на поверхности деталей. Установка содержит вакуумируемую камеру с загрузочным люком, вакуумную систему, устройства для ионно-плазменного и магнетронного напыления и размещенное в камере устройство для фиксации и вращения обрабатываемой детали. Внутри камеры расположен механизм закрепления и перемещения горелки для плазменного или газопламенного напыления или сопла для дробеструйной обработки. При этом катодные узлы устройств для ионно-плазменного и магнетронного напыления размещены друг над другом равномерно по восходящей спирали, причем расстояние L по вертикали и по горизонтали между геометрическими осями соседних катодных узлов выбрано из условия L=0,8 0,95(r₁+r₂), где r₁ и r₂ - радиусы следов пучков плазмы на поверхности обрабатываемой детали, генерируемой соседними катодными узлами. Технический результат - повышение качества и производительности процесса нанесения покрытий. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к способу вакуумного нанесения ионно-плазменных покрытий и может быть применено в машиностроении, преимущественно, для ответственных деталей, например, рабочих и направляющих лопаток турбомашин. Способ включает размещение деталей на приспособлении в вакуумной камере, приложение к деталям электрического смещения, ионную очистку поверхности деталей и нанесение на них покрытия электродуговым испарением материалов путем возбуждения дуги между анодами и катодами, подключенными к индивидуальным источникам электрического питания. В процессе нанесения покрытия в качестве катодов и анодов используют одинаковые длинномерные плоские охлаждаемые пластины-планары из наносимого материала покрытия. Периодически изменяют электрическую полярность пластин-планаров на противоположную, переключая аноды на полярность катодов, а катоды на полярность анодов, обеспечивая при этом величину соотношения площадей анодов (Fa) к площадям катодов (Fk) не менее двух (Fa/Fk 2), при суммарной площади анодов ( Fa) и катодов ( Fk), равной 20 90% от всей внутренней поверхности вакуумной камеры (Fv.k.). В результате достигается повышение коэффициента использования наносимого материала. 14 з.п. ф-лы, 1 табл.