Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: .нанесение покрытия на выбранный участок поверхности, например с использованием масок – C23C 14/04

Изобретение относится к области нанесения на подложки металлических покрытий, а именно к нанесению электропроводящего слоя на полимерную или бумажную подложку при изготовлении антенн, работающих в диапазоне ультравысокой частоты. На подложку наносят масочное покрытие, в качестве которого используют перфторполиэфир. Затем методом селективной вакуумной металлизации наносят слой меди или алюминия с поверхностным сопротивлением порядка 90-110 Ом/м², после чего методом трафаретной печати наносят токопроводящий слой серебросодержащей краски с содержанием серебра в количестве 70-90%. Измеряют поверхностное сопротивление полученного токопроводящего покрытия методом четырехзондового контроля. Проводят отбраковку участков подложки не соответствующих необходимым техническим характеристикам, определяемым из условия допустимого разброса поверхностного сопротивления не более 15% в абсолютных единицах. Обеспечивается повышение технологичности производства, расширение эксплуатационных возможностей, снижение производственных издержек, повышение точности измерения. 1 з.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к способам маскировки охладительных отверстий компонента турбины, содержащего наружную поверхность, внутреннюю полость, имеющую отверстие наружу компонента, и охладительные отверстия, проходящие от внутренней полости к наружной поверхности. Заполняют охладительные отверстия маскирующим материалом и отверждают маскирующий материал. В качестве маскирующего материала охладительные отверстия заполняют водой, а отверждение осуществляется путем замораживания воды в лед. В результате упрощается нанесение и удаление маскирующего материала. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области производства электронных компонентов и может быть использовано, в частности, в микроэлектронике для совмещения ферромагнитных свободных масок при формировании прецизионного топологического рисунка тонких пленок органики, металлов и диэлектриков, напыляемых на пластины в вакууме. Устройство включает маску из ферромагнитного материала 8, располагаемую с лицевой стороны подложки 3, и магнит 4 с плоской верхней поверхностью, располагаемый с противоположной по отношению к маске 8 стороны подложки 3. Кроме того, устройство содержит корпус 1 с плоской верхней поверхностью и плоским гнездом 2 для подложки 3, глубина которого выполнена такой, чтобы нижняя поверхность маски 8, верхняя поверхность подложки 3 и верхняя плоская поверхность корпуса 1 были расположены в одной плоскости. Дно плоского гнезда 2 образовано плоской верхней поверхностью магнита 4. На боковых поверхностях плоского гнезда 2 по периметру выполнены упоры 5 и расположенные с противоположных сторон прижимные винты 6, фиксирующие положение подложки 3 в гнезде 2. На верхней плоской поверхности корпус 1 имеет выступы 7, фиксирующие положение маски 8, которая имеет посадочные отверстия 9 под выступы 7. Технический результат - обеспечение смены ферромагнитных масок без разборки всего пакета и снятия магнита. 2 ил.

Изобретение относится к технологии нанесения легирующих материалов на поверхность металлических изделий и может быть использовано в машиностроении и металлургии для упрочнения рабочих поверхностей. Способ включает обработку поверхности металлического материала компрессионными плазменными потоками в среде рабочего газа и нанесение слоев легирующих элементов вакуумно-дуговым осаждением с обработкой каждого слоя компрессионными плазменными потоками. При этом обработку компрессионными плазменными потоками металлического материала и каждого слоя легирующего элемента осуществляют с плотностью энергии 5-60 Дж/см² и длительностью разряда 50-250 мкс. Технический результат - возможность получения одно- и многоэлементных легированных слоев, повышение микротвердости и уменьшение коэффициента трения поверхностного слоя изделия. 4 табл.

Настоящее изобретение относится к защитной маске, которая используется при обработке поверхностей лопаток турбомашины, таких как поверхности хвостовика или бандажных полок. Маска используется при пескоструйной обработке и/или нанесении металлического покрытия на лопатку. Маска образована, по меньшей мере, из одной детали, повторяющей форму соответственно хвостовика или бандажных полок, и содержит отверстия, через которые обеспечен открытый доступ к обрабатываемым поверхностям. Упомянутые отверстия имеют форму, приспособленную для обрабатываемые поверхностях, со стенками, перпендикулярными этим поверхностям, так что частицы, которые поступают не в направлении отверстий, попадают на маску и не отражаются на обрабатываемых поверхностях. Данная маска устойчива к воздействию упомянутой обработки поверхности и устанавливается на защищаемую поверхность, создавая согласно настоящему изобретению съемное и повторно используемое устройство. Использование такого устройства повышает качество и производительность операций обработки. 7 з.п. ф-лы, 6 ил.

Настоящее изобретение относится к испарительному устройству с резервуаром для содержания материала, предназначенного для испарения. Плиты имеют над резервуаром отверстие для выхода испаряемого материала. Резервуар для содержания материала имеет на своей верхней стороне, по меньшей мере, одно открытое отверстие, ориентированное перпендикулярно этой верхней стороне. Между плитами и резервуаром для содержания материала расположено цилиндрическое тело со сквозным отверстием, установленное с возможностью вращения относительно своей оси. Изобретение направлено на значительное снижение потери масла при непрерывном испарении. 11 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при обработке лопаток газотурбинных двигателей, например, пазов замков компрессорных лопаток. Лопатку предварительно обрабатывают путем обработки электрокорундом и химической очистки ее поверхности. При помещении лопатки в вакуумную камеру изолируют часть ее поверхности, не подлежащую нанесению на нее покрытия, после чего создают разрежение в вакуумной камере в интервале от (5×10^-2 ) до (10^-1) Па. Нагрев вакуумной камеры осуществляют в интервале температур от 100°С до 600°С. Осуществляют ионную очистку аргоном, а затем кислородом в течение 5-15 мин. Нанесение покрытия на лопатку проводят методом магнетронного распыления материала. Магнетронное распыление осуществляют со скоростью не менее 6 мкм/час. В качестве материала распыления используют серебро. Техническим результатом изобретения является повышение прочности и адгезии покрытий и повышение их долговечности при работе в условиях высокой температуры, получение покрытий из чистых материалов при низком содержании примесей, а также упрощение технологии нанесения покрытия. 8 з.п. ф-лы.

Изобретения относятся к области металлургии, в частности к комбинаторным системам нанесения покрытий, и могут найти применение в различных отраслях машиностроения для получения материалов с защитными, декоративными и другими видами покрытий. Системы (10) включают подложку (18), имеющую поверхность (16) с множеством заранее определенных областей, где для покрытия подложки предоставляется множество материалов (14). Механизм (12) подачи, связанный со множеством материалов, располагается для одновременной подачи каждого материала на поверхность подложки. Более того, регулирующее устройство (26) используется для управления механизмом подачи, для селективной подачи каждого материала так, что каждая из множества заранее определенных областей подложки имеет заранее определенное покрытие. Изобретения обеспечивают высокопроизводительное изготовление и анализ массива материалов с покрытиями. 2 н. и 21 з.п. ф-лы, 15 ил.

Изобретения относятся к области нанесения покрытий, в частности к системе и способу нанесения покрытий с использованием органических веществ, и может найти применение при высокопроизводительном изготовлении и анализе массива покрывающих веществ. Система для создания массива покрывающих веществ включает набор органических веществ и устройство подачи для доставки каждого из набора органических веществ в зону доставки. Устройство подачи имеет набор источников, каждый из которых ассоциирован с соответствующим веществом из набора органических веществ. Каждый из набора источников обеспечивает профиль распределения толщины соответствующего органического вещества, по крайней мере, частично расположенный в зоне доставки, причем, как минимум, один из профилей распределения толщины меняется поперек зоны доставки. Способ включает предоставление набора органических веществ и избирательную доставку каждого из набора органических веществ в зону доставки. Каждый из набора доставляемых органических веществ имеет профиль распределения толщины, по крайней мере, частично расположенный в зоне доставки, причем, как минимум, один из профилей распределения толщины меняется поперек зоны доставки. Изобретения позволяют создавать библиотеки покрытий из любых керамических, металлических и/или полупроводниковых материалов с шероховатостью и с точностью толщины, измеряемой в нанометрах. 2 н. и 23 з.п. ф-лы, 15 ил.

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме. Способ включает прикрепление маски, изготовленной из бумаги к изделию, установку изделий на карусель. Последующее проведение ионной очистки поверхности при напряжении 3,5-4,0 кВ, вакууме (5,7-7,5)·10^-2 Па и ионном токе 50-100 мА в течение 10-15 минут. Затем проводят распыление катода, изготовленного из титана, путем электродугового испарения при ионно-плазменном его осаждении на изделия, установленные на вращающейся технологической карусели, потенциал которой по отношению к катоду - ноль. Электродуговое напыление титана проводят при вакууме 8,7·10^-2 Па в течение 90-120 с при ионном токе 90-130 А путем распыления катода, изготовленного из титана. Затем при подаче азота в камеру наносят нитрид титана в течение 90-120 с, при ионном токе 90-130 А в вакууме 7,5·10^-2-1,5·10^-1 Па, который выбирают в зависимости от желаемого цвета декоративного покрытия. Техническим результатом изобретения является упрощение технологического процесса с одновременным повышением качества покрытий, а также расширение области применения способа, в частности, для изделий из полимерных материалов. 2 ил., 1 табл.