Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: ..органический материал – C23C 14/12

Группа изобретений относится к покрытиям. Cпособ включает вакуумную лазерную абляцию в реакционной камере с испарением мишени твердотельным лазером и последующим осаждением аморфного алмазоподобного покрытия в виде пленки на лезвие хирургического скальпеля. Используют мишень из пиролитического графита и твердотельный лазер на основе алюмоиттриевого граната с неодимом, имеющий длину волны 532 нм, мощность 15-25 Дж, выходную энергию лазерного импульса 80-160 мДж, частоту следования импульсов излучения 50 Гц и длительность одного импульса 15·10^-9. Лезвие хирургического скальпеля размещают на расстоянии 10-25 см от мишени под углом 15-45º. Осаждение покрытия ведут в течение 10-40 минут при давлении в реакционной камере 6×10^-4 Па. Хирургический скальпель с полученным аморфным алмазоподобным покрытием на лезвии имеет среднюю шероховатость поверхности лезвия не более 60 нм и спектр комбинационного рассеяния света с пиками, локализованными в области 1600 см^-1 и 1355 см^-1. Обеспечивается улучшение качества хирургических скальпелей путем нанесения углеродного биосовместимого покрытия. Режущая поверхность более ровная и гладкая, что обеспечивает более легкое протекание послеоперационного периода. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к испарителю для испарения органических материалов, в частности меламина, а также к способу нанесения покрытия из органического материала на гибкий субстрат с помощью этого испарителя. Испаритель для испарения органических материалов содержит первую камеру, имеющую сопло, выполненное с возможностью направления на подлежащий покрытию гибкий субстрат, по меньшей мере, одну вторую камеру для испарения органического материала, по меньшей мере, один испарительный трубопровод для направления испаренного органического материала по меньшей мере из одной второй камеры в первую камеру. Первая камера выполнена для обеспечения сопла испаренным органическим материалом, соответствующим первой виртуальной поверхности сублимации. Одна или более камер по меньшей мере из одной второй камеры выполнена с обеспечением во время испарения органического материала объединенной площади второй поверхности сублимации, соответствующей по меньшей мере 70% площади первой виртуальной поверхности сублимации. Упомянутый испаритель, в котором одна или более камер по меньшей мере из одной второй камеры имеет объединенную площадь поверхности сублимации 0,34 м² или более, используют для испарения меламина. Обеспечивается равномерное или однородное покрытие из органического материала при использовании упомянутого испарителя. 4 н. и 14 з.п. ф-лы, 8 ил.

Изобретение относится к получению пленок из полимочевины вакуумным осаждением из паровой фазы. Технический результат - повышение прозрачности, светостойкости и массовой продуктивности пленки. Пленку получают полимеризацией при вакуумном осаждении, осуществляемой с использованием мономера ароматического алкильного или алициклического, или алифатического диизоцианата и мономера ароматического алкильного или алициклического, или алифатического диамина. Мономер диизоцианата и мономер диамина выбирают из таких мономеров, разница в энергии активации которых, необходимая для их отделения с подложки, составляет 10 Kj или менее. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 9 ил., 1 табл.

Настоящее изобретение относится к способу нанесения декоративных покрытий и касается ламинирования декоративной металлической пленки на материале основы из смолы, имеющей на себе декоративную металлическую пленку. Полимерную выравнивающую пленку ламинируют на материале основы из смолы с помощью способа полимеризации осаждением и затем ламинируют декоративную металлическую пленку на выравнивающей пленке. Изобретение обеспечивает отличную адгезию на материале основы из смолы и глянец декоративной металлической пленки. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к технологии получения углеродсодержащих защитных покрытий пиролизом органосилоксановых соединений и может быть использовано в планарной технологии твердотельной электроники, а также может найти применение в литографических процессах при формировании органосилоксановых актинорезистов и углеродсодержащих маскирующих покрытий на их основе для изготовления фотошаблонов или ионного травления планарных структур. На подложке осаждают органосилоксаны в виде тонкой органосилоксановой пленки с атомным соотношением кремния и углерода, равным 1,0:(1,0÷4,0), после осаждения проводят отжиг при температуре 450÷650°С в инертной атмосфере при влагосодержании по точке росы не выше минус 60°С с выдержкой в течение 120÷30 мин. В частных случаях осуществления изобретения осаждение органосилоксанов на поверхности подложки осуществляют центрифугированием органосилоксановых олигомеров из растворов, или термовакуумным напылением органосилоксановых олигомеров, или из парогазовой или жидкой фазы органосилановых мономеров, или актинолитографией с получением органосилоксановой пленки в виде сплошных, равномерных слоев или в виде маскирующих покрытий. Упрощается процесс получения прочных и однородных углеродсодержащих покрытий толщиной 0,08÷0,47 мкм с удельным сопротивлением 20÷160 Ом·см и скоростью плазменного травления ионами аргона 0,09÷0,11 нм/с. 4 з.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к способу получения композитного материала и может найти применение в различных отраслях промышленности. Получение композитного материала, содержащего подложку, первый слой и второй слой, включает несколько стадий. В первой стадии осуществляют осаждение из паровой фазы, во время которой получают первое соединение, которое является металлом или оксидом металла и которое осаждают из паровой фазы на подложку, формируя в результате первый слой. Во второй стадии осаждения осуществляют формирование второго слоя из соединения триазина, который осаждают из паровой фазы на первый слой. Подложку и первый слой подвергают стадии механической нагрузки до или во время второй стадии осаждения из паровой фазы. В результате получают композитный материал с улучшенными защитными свойствами. 19 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к способам формирования сверхтвердого легированного углеродного покрытия на кремнии в вакууме и может быть использовано в устройствах микромеханики и в качестве покрытий для деталей инфракрасной оптики. Способ включает ионизацию легирующего элемента, в качестве которого используют азот, и углерода, из которого изготовлен катод, при помощи вакуумно-дугового разряда в вакуумной камере и последующее осаждение ионов углерода и легирующего элемента на кремниевую подложку. Для ионизации углерода и легирующего элемента используют импульсный вакуумно-дуговой разряд. При этом сначала на подложке осаждают ионы углерода, а затем ионы углерода и легирующего элемента. Температуру подложки поддерживают не выше 373К. Ионы углерода ускоряют до энергии 40-100 эВ. Легирующий элемент - азот - вводят в вакуумную камеру до давления в диапазоне 0,001-0,15 Па. Температуру подложки не выше 373К поддерживают путем выбора частоты следования импульсов вакуумно-дугового разряда. Технический результат - повышение износостойкости, микротвердости, трещиностойкости кремния с покрытием. 2 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к способу получения композитного материала, включающего подложку, содержащую слой термопластичного соединения, причем подложка содержит осажденный из паровой фазы слой, содержащий алюминий или оксид алюминия, или оксид кремния, включающий стадию осаждения из паровой фазы триазинсодержащего соединения на подложку при давлении 1×10^-6 Па или выше, но не ниже чем 1000 Па. В ходе стадии осаждения температура подложки находится в интервале между -15°С и +90°С. Триазинсодержащее соединение представляет собой меламин, мелам, мелем, мелон или их смеси. Подложку перед стадией осаждения из паровой фазы обрабатывают плазмой, коронным разрядом, ультрафиолетовым излучением, электроннолучевым излучением или реакционным газом. 1 н. 10 з.п. ф-лы.

Изобретения относятся к области нанесения покрытий, в частности к системе и способу нанесения покрытий с использованием органических веществ, и может найти применение при высокопроизводительном изготовлении и анализе массива покрывающих веществ. Система для создания массива покрывающих веществ включает набор органических веществ и устройство подачи для доставки каждого из набора органических веществ в зону доставки. Устройство подачи имеет набор источников, каждый из которых ассоциирован с соответствующим веществом из набора органических веществ. Каждый из набора источников обеспечивает профиль распределения толщины соответствующего органического вещества, по крайней мере, частично расположенный в зоне доставки, причем, как минимум, один из профилей распределения толщины меняется поперек зоны доставки. Способ включает предоставление набора органических веществ и избирательную доставку каждого из набора органических веществ в зону доставки. Каждый из набора доставляемых органических веществ имеет профиль распределения толщины, по крайней мере, частично расположенный в зоне доставки, причем, как минимум, один из профилей распределения толщины меняется поперек зоны доставки. Изобретения позволяют создавать библиотеки покрытий из любых керамических, металлических и/или полупроводниковых материалов с шероховатостью и с точностью толщины, измеряемой в нанометрах. 2 н. и 23 з.п. ф-лы, 15 ил.