Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: ...с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева – C23C 14/26

Изобретение относится к технологии полупроводниковых структур для приборов электронной техники. Изобретение обеспечивает возможность прецизионного варьирования в широких пределах концентрацией легирующей примеси в выращиваемой структуре путем изменения температуры и агрегатного состояния источника примеси из напыляемого легированного материала. В способе напыления в вакууме структур для приборов электронной техники в получении потока паров одновременно участвуют пластина, температуру нагрева которой поддерживают на уровне величины, задающей скорость роста напыляемой структуры, требуемую для эффективного встраивания легирующих примесей в растущую структуру, и группа пластин, различающихся легирующими примесями, температуры нагрева которых изменяют для регулирования концентрации легирующих примесей в растущей структуре за счет изменения состава потока паров в результате изменения скорости образования паров примесей. Резистивный источник примеси из напыляемого легированного материала выполнен в виде пластины так, что центральная полоса пластины в направлении между токовводами имеет большую толщину, чем полосы, прилегающие к краям пластины. Предлагаемое решение позволяет до минимума сократить количество резистивно нагреваемых источников примеси, вести легирование структур несколькими примесями одновременно. 4 н. и 4 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение может быть использовано в нелинейной оптике и пироэлектрических устройствах. Перед осаждением пленки подготавливают подложку, отделяя от высокоориентированного пирографита тонкий слой с помощью двусторонней липкой ленты. Порошок C ₆₀F₁₈ загружают в испарительную ячейку, помещают в вакуумную камеру, на расстоянии от 10 до 40 мм от нее устанавливают контейнер с подготовленной подложкой. Испарение порошка C ₆₀F₁₈ производят посредством нагрева испарительной ячейки до 120-170°С, поддерживая температуру подложки 18-25°С. Устройство ввода подложек в вакуум включает вакуумную камеру, шлюзовое устройство с прямопролетным клапаном и фланцем-окном для смены и загрузки подложек, шток, выполненный с возможностью возвратно-поступательного перемещения и вращения, держатель с подложкой. Устройство для испарения фторфуллерена включает средства механической и тепловой защиты, контроля и регулирования температуры нагрева, монтажа и позиционирования составляющих элементов, трубчатый нагреватель и средство для размещения испаряемого вещества. Трубчатый нагреватель выполнен в виде кварцевой трубки 8 с намотанным снаружи проволочным нагревателем 7. Средства монтажа и позиционирования выполнены в виде шпильки 4 для консольного крепления ячейки, винта с гайкой 9 и хомута 10, размещенных на керамической стойке 11, установленной в круглом основании 1 испарительной ячейки. Средства позиционирования включают алундовую двухканальную трубку 6 для термопары 5. Изобретение позволяет упростить получение пленок, а также обслуживание и ремонт оборудования, снизить энергоемкость и повысить надежность. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к оборудованию для нанесения металлических покрытий в вакууме и может найти применение в космической, авиационной промышленности и радиотехнике. Устройство для резистивного испарения металлов и сплавов в вакууме состоит из установленных в вакуумной камере двух токоподводов, протяженных и выполненных гибкими испарительных элементов, предназначенных для нагрева и испарения навесок испаряемого материала, размещаемого на испарительных элементах, а также источник питания и пульт управления. Устройство снабжено тиристорами, связанными с источником питания и пультом управления и установленными на одном из токоподводов. Тиристоры оснащены зажимами, в каждом из которых концом закреплен испарительный элемент, а второй конец каждого из которых связан с другим токоподводом и с введенным в устройство натяжным элементом. Расширяются технологические возможности устройства, повышается качество покрытия и снижается время нанесения его на газонасыщенные изделия большой площади из неметаллических композиционных материалов. 2 ил.

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления. Устройство содержит источник - испаритель материала напыления, электронную пушку Пирса, расположенную напротив источника-испарителя. Снаружи вакуумной камеры, с задней стороны поверхности излучения электронного пучка, за точкой испарения источника-испарителя расположен постоянный магнит для создания магнитного поля, по существу, перпендикулярного направлению падения электронного пучка и практически параллельного поверхности излучения электронного пучка источника-испарителя, для отклонения и направления электронного пучка к точке испарения источника-испарителя. В результате получают нанесенный паровым осаждением слой с большой скоростью осаждения посредством направления электронного пучка на точку испарения испаряемого и осаждаемого материала, содержащегося в источнике-испарителе в вакуумной камере, и оптимизация диапазона излучения электронного пучка в точке испарения. 9 з.п. ф-лы, 27 ил.

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п. Устройство содержит расположенные в вакуумной камере (1) подложкодержатель (2) и резистивный испаритель (3) напыляемого материала, подключенные к источнику тока токовводами (4), которые соединены между собой изолятором и расположены внутри герметично укрепленного в стенке камеры сильфона (7). Токовводы (4) соединены с приводом для обеспечения качательного движения испарителя напыляемого материала. Устройство позволяет повысить однородность толщины напыляемых слоев и обеспечивает возможность выращивания однородных эпитаксиальных слоев на подложке большой площади. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов. Испаритель содержит горизонтальную испарительную трубу (1) с торцевыми крышками (2.1 и 2.2), емкости для испарения (3.1 и 3.2), нагреватели (4), электрически управляемые независимо друг от друга, узел для отвода испаряемого металла или сплава, впускной канал для подачи испаряемого металла или сплава (7). Впускной канал (7) имеет U-образную форму для обеспечения гидрозатвора, расположен со стороны торцевой крышки (2.1) и соединен с емкостью для испарения (3.1). Емкости для испарения (3.1 и 3.2) расположены по всей длине испарительной трубы (1) и установлены параллельно друг другу в горизонтальной плоскости и связаны между собой переливными каналами (8). Нагреватели (4) установлены внутри трубы (1). Концы нагревателей (4) со стороны торцевой крышки (2.1) размещены вокруг впускного канала (7), электрически изолированы кольцами (9) от нее и соединены с токоподводами (10). Торцевая крышка (2.2) соединена с другими концами нагревателей (4) и токоподводом (11). Узел для отвода испаряемого металла выполнен в виде каналов (5), расположенных в нагревателях над емкостями для испарения (3.1 и 3.2), и содержит форсуночные головки (6). Испаритель обеспечивает повышение производительности и снижение энергопотребления и теплопотерь при сохранении качества получаемых высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности. Испаритель включает резистивный нагреватель, кольцевую испарительную камеру с паропроводом и с расположенными в ней кольцевыми емкостями для металлического расплава с переливными окнами, форсуночный узел, расположенный в паропроводе испарительной камеры, и канал для подачи расплава в испарительную камеру. Причем нагреватель выполнен в виде нагревающего стержня. Испаритель снабжен трубчатым элементом, расположенным снаружи нагревающего стержня и коаксиально ему, и кольцевым металлоприемником-плавителем, расположенным коаксиально трубчатому элементу на его верхней части. Кольцевая испарительная камера выполнена в нагревающем стержне, а паропровод - в виде осевого канала в верхней части нагревающего стержня и сообщенных с ним и с верхней частью испарительной камеры тангенциальных каналов. Причем трубчатый элемент соединен с нагревающим стержнем в зоне размещения форсуночного узла, а канал для подачи расплава сообщен с кольцевым металлоприемником-плавителем и с верхней кольцевой емкостью испарительной камеры. Технический результат - снижение потерь электроэнергии, предотвращение конденсации пара в форсуночном узле и его засорения продуктами конденсации. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления. На основу осаждением из паровой фазы напыляют многокомпонентный испаряемый материал, переводимый в паровую фазу с помощью электронного луча или нагрева сопротивлением. Пары испаряемого материала осаждают на основе, образуя на ней покрытие, окрашенное в цвет благородного или драгоценного металла. Состав покрытия определяют посредством измерения в отраженном свете и при необходимости корректируют возможные отклонения состава покрытия от заданного значения путем изменения мощности, расходуемой на нагрев испаряемого материала, и/или энергии электронного луча. 5 н. и 29 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий. В предложенном испарителе, содержащем нагреватель, цилиндрические ячейки, образующие емкость для металлического расплава, форсунки, каналы для впуска металлического расплава и выхода пара металлического расплава, перепускные патрубки-распределители, согласно изобретению нагреватель выполнен сборным из полых цилиндрических элементов, соединенных между собой токопроводящими муфтами, при этом каждый цилиндрический элемент нагревателя по его высоте является стенкой цилиндрической ячейки, ограничивающей ее размер в радиальном направлении, а на торцевых дискообразных крышках каждой цилиндрической ячейки, кроме верхней крышки, по оси которой установлена пробка с каналом для впуска расплава, соосно оси испарителя установлены форсунки, причем пробка и форсунка верхней ячейки и каждые последующие форсунки ячеек образуют между собой кольцевую конусообразную полость с наклоном к нижней форсунке, а полости и осевые отверстия форсунок составляют канал для выхода пара расплава. Обеспечивается экономия материала, электроэнергии и надежность конструкции. 1 ил.