Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: ...диодное распыление – C23C 14/36

МПК Раздел C C23 C23C C23C 14/00 C23C 14/36

Раздел C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ

C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом; химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще; способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще

C23C Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще

C23C 14/00 Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие

C23C 14/36 ...диодное распыление

Патенты в данной категории

	МИШЕНЬ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к мишени для получения функциональных покрытий и способу ее изготовления, и может быть использовано в химической, станкоинструментальной промышленности, машиностроении и металлургии. Формуют по крайней мере три таблетки, образующие рабочий распыляемый, промежуточный и инициирующий слои, из по крайней мере трех порошковых смесей, имеющих экзотермические составы. Размещают их послойно на профилированной металлической пластине через слой шихты металлического припоя. Запускают СВС процесс в инициирующем слое, под воздействием которого происходит расплавление металлического припоя и металлического наполнителя, входящего в состав порошковой смеси по крайней мере одного из слоев. Затем создают давление на слои путем прессования через 2-10 секунд после завершения СВС процесса, которое поддерживают не менее 5 с. В результате происходит соединение образованных рабочего распыляемого слоя и промежуточного слоя с профилированной металлической пластиной через слой металлического припоя. Затем удаляют инициирующий слой. Получают термостойкую мишень с уменьшенной остаточной пористостью, повышенной механической прочностью и термической стабильностью соединения с металлической пластиной - подложкой, способной выдерживать без разрушения многоцикличные температурные перепады в процессе ионно-плазменного распыления. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 1 ил.,1 табл.	2305717 патент выдан: опубликован: 10.09.2007
	ИЗНОСОСТОЙКОЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ПОКРЫТИЕ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОВЕРХНОСТЯХ ПАР ТРЕНИЯ Изобретение относится к области получения функциональных покрытий, стойких к износу, и способам их получения на поверхности изделия и может быть использовано в машиностроении для упрочнения деталей машин и механизмов, изготовления деталей современных высокофорсированных двигателей, нанесения износостойкого покрытия на стержни клапанов и поршневые кольца. Износостойкое покрытие, нанесенное на поверхности пар трения, состоит из азотированного подслоя основного материала толщиной более 50 мкм и непосредственно износостойкого слоя из нитрида циркония ZrN толщиной 5-10 мкм. При нанесении износостойкого ионно-плазменного покрытия на поверхности пар трения азотирование проводят на глубину, равную более 50 мкм, а в качестве верхнего слоя осаждают слой нитрида циркония толщиной 5-10 мкм. Очистку, разогрев поверхности, азотирование, активацию азотированного подслоя проводят методом ионной бомбардировки из плазменного потока, который создают источником газовой плазмы и направляют на поверхность. Азотирование поверхности и нанесение слоя нитрида циркония осуществляют за один цикл вакуумирования. Изобретение направлено на увеличение износостойкости деталей, снижение коэффициента трения в узлах механизмов, снижение износостойкости пар трения в целом, повышение производительности. 2 с. и 2 з.п.ф-лы.	2211880 патент выдан: опубликован: 10.09.2003
	УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ В ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕ НА ОДИН ИЗ ЭЛЕКТРОДОВ ПОКРЫТИЙ ИЗ МАТЕРИАЛОВ В ВИДЕ ПОРОШКА (ВАРИАНТЫ) Изобретение относится к оборудованию для нанесения в электрическом поле покрытий. Изобретение направлено на создание устройства для нанесения в электрическом поле покрытий, в том числе сложного состава, из материалов различной электропроводности на подложки, в том числе движущиеся, из материалов различной электропроводности, которое позволяло бы наносить также двухсторонние покрытия. Устройство включает электроды и образованную ими камеру, в которой размещен порошок, при этом электроды выполнены с возможностью взаимного перемещения; порошок состоит из частиц размером от 1 до 500 мкм, причем поле между электродами имеет напряженность 5-500 кВ/см, а газовая атмосфера в камере имеет абсолютное давление газа не более 3 10⁷ Па; к электродам может быть подведено напряжение, создающее между ними электрическое поле переменной напряженности; электрод, на который наносится покрытие, может быть размещен внутри камеры, образованной посредством по меньшей мере одного электрода противоположной полярности; электрод, на который наносится покрытие, может быть выполнен или из металла, или из полупроводника, или из диэлектрика, которому сообщена электропроводность; порошок может состоять из частиц материалов различной электропроводности: или проводников, или полупроводников, или диэлектриков, или различной их комбинации; порошок может состоять из двух или более компонентов; устройство может быть снабжено или нагревателем, или источником лазерного излучения; атмосфера в камере между электродами может быть разрежена до состояния вакуума. 2 с. и 20 з.п. ф-лы, 3 ил.	2190040 патент выдан: опубликован: 27.09.2002

	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ ЛЕНТЫ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент. Задача изобретения - повышение полноты и качества предварительной очистки исходных лент, а также увеличение прочности получаемых многослойных лент из разнородных металлов. В способе изготовления многослойных лент с использованием прокатки пакета полос разнородных металлов в вакууме предварительно исходные полосы очищают катодными пятнами вакуумной дуги, возбуждаемой между лентами и графитовыми анодами. В устройстве для осуществления этого способа используют графитовые аноды, размещенные около лент перед прокатными валками. Вариант устройства предполагает установку средств нанесения промежуточной прослойки между анодами и прокатными валками. 2 с. и 2 з.п.ф-лы, 1 ил.	2180365 патент выдан: опубликован: 10.03.2002
	УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ Сущность изобретения состоит в усовершенствовании устройства для ионно-плазменного распыления материалов, в котором полюсные наконечники выполнены с образованием охватывающих друг друга зазоров. В охваченном зазоре установлен катод - мишень, а в охватывающем - анод. Полюсные наконечники могут быть выполнены с чередующимися зазорами. Выполнение устройства указанным образом позволяет повысить степень ионизации рабочего газа в зоне напыления вследствие образования направленного ионного потока рабочего газа из прианодного слоя, где в зазоре между полюсными наконечниками скрещены электрическое и магнитное поле. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.	2075539 патент выдан: опубликован: 20.03.1997
	УСТРОЙСТВО МАГНЕТРОННОГО РЕАКТИВНОГО РАСПЫЛЕНИЯ НИТРИДНЫХ, КАРБИДНЫХ И КАРБОНИТРИДНЫХ ПОКРЫТИЙ Устройство магнетронного реактивного распыления нитридных карбидных и карбонитридных покрытий содержит катод, мишень, закрепленную на катоде посредством держателя мишени, магнитную систему и полый анод, соединенный с системой подачи газа. На удаленном от мишени торце анода выполнено кольцевое сопло для запуска рабочей газовой смеси с направляющими, параллельными боковой образующей анода, между анодом и поверхностью держателя мишени расположена изолирующая цилиндрическая втулка, магнитная система расположена с нерабочей стороны мишени, анод выполнен цилиндрическим и ближний его край со стороны изолирующей втулки выполнен с цилиндрической проточкой, а полость анода соединена с кольцевым соплом посредством винтовых ходов. 1 ил.	2065507 патент выдан: опубликован: 20.08.1996
	УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ Устройство относится к вакуумной технике, в частности к газоразрядным устройствам, и может быть использовано для плазменной обработки поверхности изделий. Устройство содержит установленные в вакуумной камере протяженные и коаксиально расположенные относительно друг друга анод и катод, подключенные к источнику питания, магнит, поджигающий электрод, анод выполнен с изогнутыми в противоположные стороны относительно поверхности катода концами, катодом является обрабатываемое изделие, магнит выполнен протяженным и соизмеримым аноду и установлен вдоль анода, поджигающий электрод установлен между катодом и концом анода, изогнутым в сторону катода, анод выполнен гибким с возможностью деформирования по форме катода-изделия. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.	2030484 патент выдан: опубликован: 10.03.1995