Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: ....с помощью тлеющего разряда постоянного тока – C23C 14/38
Патенты в данной категории
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АНТИБИОТИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ФИЛЬТРУЮЩЕМ МАТЕРИАЛЕ
Изобретение относится к области получения и производства фильтрующих материалов для очистки воздуха промышленных помещений на основе полимерных волокон, обладающих антибиотическими свойствами. Осуществляют синтез полимера на фильтрующем материале в низкотемпературной плазме тлеющего разряда в парах адамантана. Вначале камеру с фильтрующим материалом вакуумируют, подают аргон и проводят газоразрядную очистку материала. После очистки камеру вновь вакуумируют и напускают пары адамантана с последующим зажиганием тлеющего разряда для получения тонкого покрытия на поверхности материала. Изобретение позволяет придать поверхности фильтрующего материала антибиотические (антифунгальные) свойства. 1 пр. |
2525486 патент выдан: опубликован: 20.08.2014 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ НАНОСТРУКТУР (ВАРИАНТЫ) И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ)
Изобретение относится к получению углеродных наноструктур и позволяет получить углеродные частицы в виде порошка, что значительно расширяет их применение, упростить способ и устройство получения углеродных наноструктур, а также повысить коэффициент полезного действия. В способе получения углеродных наноструктур, включающем зажигание в вакуумной камере тлеющего разряда при постоянном электрическом токе, в прикатодную область вакуумной камеры в канал разряда аксиально и тангенциально подают углеводородный газ, а обработку углеводородного газа осуществляют при определенных параметрах тлеющего разряда. Во втором варианте способа в прикатодную область вакуумной камеры в канал разряда аксиально подают смесь инертного газа с частицами порошка углерода и тангенциально подают инертный газ. В устройстве для получения углеродных наноструктур, содержащем вакуумную камеру с размещенными в ней электродами, блок питания постоянного тока, подключенный к аноду и катоду, вакуумная камера имеет первые тангенциальные входы в прикатодную область для подачи углеводородного газа и второй аксиальный вход со стороны катода для подачи углеводородного газа, электроды размещены в вакуумной камере на расстоянии R=20÷100 мм друг от друга. Во втором варианте устройства вакуумная камера имеет первые тангенциальные входы в прикатодную область для подачи инертного газа, и второй аксиальный вход со стороны катода для подачи смеси инертного газа с частицами порошка углерода. 4 н. и 2 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2516198 патент выдан: опубликован: 20.05.2014 |
|
УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОЧАСТИЦ
Изобретение относится к нанотехнологии, в частности к плазменным методам осаждения наночастиц на подложку, которые могу быть использованы в качестве катализаторов, как чувствительные элементы датчиков и как магнитные запоминающие среды. Устройство для получения магнитных наночастиц на подложке содержит вакуумную камеру с размещенными в ней катодом с мишенью и анодом, на котором расположена подложка, систему откачки, вакуумметр и систему подачи плазмообразующего газа. Устройство также содержит манипулятор для перемещения подложки с осажденными наночастицами в зазор магнитопровода постоянного магнита или электромагнита, используемого для намагничивания наночастиц в заданном направлении после их осаждения или после травления поверхности подложки с осажденными наночастицами. Способ получения магнитных наночастиц на подложке включает размещение исходной подложки внутри вакуумной камеры, откачку вакуумной камеры, напуск плазмообразующего инертного газа, зажигание плазмы, бомбардировку мишени и проведение цикла, включающего осаждение на поверхность подложки наночастиц, перемещение подложки посредством манипулятора в зазор магнитопровода, в котором создают магнитное поле с помощью постоянного магнита или электромагнита, и намагничивание осажденных наночастиц в заданном направлении. Упомянутый цикл повторяют до получения требуемого среднего размера наночастиц. Получают магнитные наночастицы заданного размера, заданной плотности рассеяния по поверхности подложки и заданной формы, а также получают аморфные наночастиц. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 8 ил., 1 пр. |
2476620 патент выдан: опубликован: 27.02.2013 |
|
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ
Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для нанесения покрытия на поверхность металлических изделий, таких как лопатки компрессора газотурбинных двигателей и установок, с целью повышения их служебных характеристик. Способ включает подготовку поверхности изделия, размещение в зоне обработки изделия и токопроводящего материала, создание вакуума, подачу отрицательного потенциала на изделие и отдельно на токопроводящий материал, возбуждение на токопроводящем материале вакуумной дуги с образованием плазмы, бомбардировку, очистку и нагрев изделия ионами токопроводящего материала, накопление и диффузию ионов на поверхности изделия в среде реакционного газа с образованием покрытия, кроме того, перед размещением изделия в зоне обработки на его поверхность наносят слой сплава на основе никеля толщиной 4-10 мкм, в качестве токопроводящего материала используют хром или его сплав, при этом одновременно с накоплением и диффузией ионов токопроводящего материала проводят бомбардировку поверхности ионами инертного газа с энергией 10-40 кэВ. Технический результат - повышение стойкости металлического изделия к солевой коррозии, повышение жаростойкости при сохранении эрозионной стойкости. 2 з.п. ф-лы, 1 табл. |
2415199 патент выдан: опубликован: 27.03.2011 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛЮМИНИДНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЯ ИЗ ЖАРОПРОЧНОГО СПЛАВА
Изобретение относится к металлургии и может быть использовано в авиационном и энергетическом турбиностроении для защиты лопаток турбин от высокотемпературного окисления и сульфидной коррозии. Размещают изделие и сплав на основе алюминия в зоне обработки. Создают вакуум в зоне обработки, подают отрицательный потенциал на изделие и отдельно на сплав на основе алюминия. Проводят принудительное охлаждение сплава. Возбуждают на нем вакуумную дугу, горящую в парах этого сплава с образованием плазмы сплава на основе алюминия. Проводят бомбардировку поверхности изделия ионами плазмы сплава на основе алюминия для очистки и нагрева поверхности изделия. Диффузию и накопление этого сплава на поверхности изделия проводят с удельным привесом (20-140) г/м2 при отрицательном потенциале на изделии, выбираемом в диапазоне от потенциала плавания до -50 В. Затем проводят охлаждение изделия в вакууме. Нагрев изделия в вакууме для формирования диффузионного алюминидного покрытия осуществляют вне зоны его обработки. Затем проводят финишную обработку поверхности покрытия диффузионного алюминидного покрытия. В качестве сплава на основе алюминия используют сплав, содержащий два или более легирующих элементов из ряда: кремний, иттрий, бор, никель, кобальт, хром. Сплав на основе алюминия перед размещением в зону обработки припаивают к водоохлаждаемой оправке. Повышают качество алюминидного покрытия за счет снижения доли микрокапельной фазы в потоке плазмы сплава на основе алюминия и за счет повышения циклической жаропрочности, термостойкости и долговечности покрытия. 10 з.п. ф-лы, 1 табл. |
2348739 патент выдан: опубликован: 10.03.2009 |
|
СПОСОБ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ СТАЛИ И СПЛАВОВ
Изобретение относится к металлургии, а именно к химико-термической обработке металлов и сплавов, в частности к ионному азотированию в плазме тлеющего разряда, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей сложной конфигурации, режущего инструмента и штамповой оснастки. Изобретение направлено на интенсификацию процесса очистки и повышение качества обрабатываемых изделий, особенно изделий сложной геометрической формы, за счет минимального дугообразования на начальной стадии очистки в режиме катодного распыления. На стадии очистки обрабатываемых изделий в режиме катодного распыления длительность импульса отрицательного напряжения, прикладываемого к изделию, дискретно и последовательно увеличивают в две стадии при неизменной частоте следования импульсов. На первой стадии длительность импульса составляет 18-20 мкс до достижения температуры изделий 45-50°С, на второй стадии - 38-40 мкс до достижения температуры изделий 140-150°С. Далее, в процессе нагрева в тлеющем разряде до температуры насыщения длительность импульса составляет 75-80 мкс, которую поддерживают на этом уровне в течение всего процесса насыщения. 1 табл. |
2245939 патент выдан: опубликован: 10.02.2005 |
|
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ИЗДЕЛИЯ
Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для модифицирования поверхности деталей машин с целью повышения их служебных характеристик. Осуществляют предварительную подготовку поверхности изделия. Очистку и нагрев изделия проводят бомбардировкой ионами плазмы токопроводящего материала. Диффузию ионов токопроводящего материала в поверхность изделия, в котором в качестве токопроводящего материала используют сплав на основе алюминия, проводят на глубину до 30 мкм при отрицательном потенциале на изделии в диапазоне 220-600 В. Затем проводят осаждение токопроводящего материала на поверхность изделия на величину до 12 мкм при отрицательном потенциале на изделии не более 100 В, после чего проводят термообработку. В качестве токопроводящего материала используют сплав на основе алюминия при следующем соотношении компонентов, мас.%: кремний 4-12; кобальт 5-15; иттрий 0,1-0,6; алюминий - остальное. Термообработку металлического изделия проводят на воздухе при температуре 600-620°С в течение 4-6 часов. Применение изобретения в промышленности для обработки поверхности лопаток компрессора значительно снижает стоимость процесса ионной обработки поверхности изделий. 3 з.п. ф-лы, 1 табл. |
2241067 патент выдан: опубликован: 27.11.2004 |
|
УСТАНОВКА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ Изобретение относится к изготовлению покрытий из металлов на изделиях различного назначения и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической, ювелирной и других отраслях промышленности. Установка включает вакуумную камеру, распылители мишеней-катодов, не менее двух, с анодными блоками, устройства для эвакуации и регулирования подачи газа, приспособление, на котором крепят держатели, и устройство для вращения приспособления. Держатели для подложек вращаются в одном направлении, а приспособление вращается в другом направлении. Распылители мишеней-катодов расположены таким образом, что их осевые линии образуют угол не более 90o и смещены по высоте друг относительно друга. Внутренняя поверхность камеры снабжена ложными стенками. Держатели подложек выполнены в виде призм. Каждая грань призм прозрачна не менее чем на 75%. Подложки и анодные блоки распылителей гальванически связаны между собой и с положительным электродом. Мишени-катоды и ложные стенки гальванически связаны с отрицательным электродом. Между приспособлением для крепления держателей и устройством для его вращения установлен экран, гальванически изолированный от камеры. Устройство формирует упрочненные покрытия во всей поверхности подложек, включая и тыльную сторону. 2 ил. | 2214477 патент выдан: опубликован: 20.10.2003 |
|
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ ДРАГОЦЕННЫХ МЕТАЛЛОВ И ИХ СПЛАВОВ Изобретение относится к изготовлению покрытий из металлов на изделиях различного назначения и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической, ювелирной и других отраслях промышленности. Предварительно осуществляют ионное травление подложки. Формирование покрытия ведут магнетронным распылением мишени-катода из драгоценных металлов или их сплавов ионами с энергией, достаточной для переноса атомов металлов или их групп к подложке, и с микролегированием покрытия хромом и железом. Микролегирование осуществляют распылением тлеющим разрядом элементов устройства, выполненных из легированной стали. Сосуществование магнетронного и тлеющего разрядов обеспечивают гальванической связью анодного блока и подложки с положительным электродом, а мишени-катода и элементов устройства - с отрицательным электродом. Такая технология позволяет повысить износостойкость покрытия вследствие дисперсионного упрочнения. | 2214476 патент выдан: опубликован: 20.10.2003 |
|
ДЕТАЛЬ И СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТЕПЛОИЗОЛЯЦИОННОГО ПОКРЫТИЯ НА НЕЕ Деталь, в частности лопатка газовой турбины, содержит основную часть и расположенный на ней керамический теплоизоляционный слой, характеризующийся структурой с керамическими столбиками, в большинстве ориентированными перпендикулярно поверхности основной части, со средним диаметром столбиков от 0,5 до 2,5 мкм. Способ нанесения теплоизоляционного слоя включает ионизацию инертного газа в свободной от кислорода атмосфере, отделение ионизированным инертным газом от катодного материала атомов металла, перенос атомов металла вместе с инертным газом в направлении основной части с подведением кислорода при ее достижении, так что образуется оксид металла, осаждаемый на основную часть. Возможно также осаждение металла с окислением попадающим на него кислородом, при этом во всех случаях основную часть нагревают до температуры образования центров кристаллизации свыше 800oС. Техническим результатом является повышение стойкости к высокотемпературным переменным нагрузкам. 2 с. и 8 з.п.ф-лы, 2 ил. | 2194798 патент выдан: опубликован: 20.12.2002 |
|
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ИЗДЕЛИЯ Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для модифицирования поверхности деталей машин. Техническим результатом является повышение стойкости изделия к солевой коррозии. Способ включает предварительную подготовку поверхности изделия, размещение в зоне обработки изделия и токопроводящего материала, создание вакуума в зоне обработки, подачу отрицательного потенциала на изделие и отдельно на токопроводящий материал, возбуждение на токопроводящем материале вакуумной дуги, горящей в парах этого материала с образованием плазмы, бомбардировку, очистку и нагрев поверхности изделия ионами токопроводящего материала из титана или сплавов на его основе, накопление и диффузию на поверхности изделия слоя титана толщиной 1-10 мкм при отрицательном потенциале на изделии в диапазоне 0-200 В, затем при отрицательном потенциале на изделии в диапазоне 300-1000 В и температуре поверхности изделия ниже температуры ее разупрочнения. 6 з.п. ф-лы, 1 табл. | 2188251 патент выдан: опубликован: 27.08.2002 |
|
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ Изобретение относится к получению защитных покрытий на изделиях авиационной техники, преимущественно на деталях газотурбинных двигателей. Изобретение направлено на повышение надежности работы установки и качества покрытий. Установка содержит корпус вакуумной камеры 1 с крышкой 25 и расположенные в ней подвижный катод 2, выполненный в виде цилиндрической обечайки из испаряемого материала и снабженный подвижным цилиндрическим магнитным фиксатором катодного пятна 5, электроизолированный держатель 10, снабженный системой защитных экранов и подключенный к отрицательному полюсу источника смещения потенциала 17, а также к приводу 12, обеспечивающему ему планетарное перемещение вокруг оси катода, охлаждаемый полый цилиндрический анод 3, снабженный магнитной катушкой 4 и соосно охватывающий катод 2 и держатель 10, защитный электроизолированный экран катода 6, кольцевые электроды 8 и 21, ограничивающие полость между анодом и катодом в осевом направлении, и возбудитель катодного пятна 7, патрубок 23, размещенный на крышке 21 вакуумной камеры в промежутке между катодом 2 и держателем 10, газоразрядный источник ионов 22, размещенный в патрубке 23 и снабженный со стороны вакуумной камеры заслонкой, закрывающей патрубок, и полым подвижным штоком 26, соединенным вне патрубка с механизмом 29, обеспечивающим перемещение газоразрядного источника ионов 22 в зону обработки покрываемых изделий, источник питания 28, соединенный с анодом и охлаждаемым корпусом газоразрядного источника 22 через полость подвижного штока 26, газовую систему 30, подающую рабочий газ в газоразрядный источник ионов 22 через полость подвижного штока 26 и регулирующую давление в вакуумной камере 1, концевой выключатель 27, обеспечивающий подачу отрицательного потенциала от источника питания 28 на держатель 10 при введении газоразрядного источника ионов 22 в зону обработки, а также электронный ключ 19, включенный в цепь источника смещения потенциала 17 держателя, причем один из кольцевых электродов 21 крепится к крышке 25 вакуумной камеры при помощи электроизолированных подвесок, а другой кольцевой электрод 8 крепится к защитному экрану катода 6, содержащему основание 11, выполненное в виде охлаждаемой обечайки, закрепленной к вакуумной камере 1 соосно с катодом 2, позиции держателя 10 выполнены в виде трубок, соединенных между собой вне системы защитных экранов держателя при помощи кольца 9 с отверстиями, и снабжены подвижными втулками с уступом, удерживающими кольцо 9 от осевого перемещения и позволяющими проворачиваться позиции держателя относительно кольца 9. 3 з.п. ф-лы, 4 ил. | 2187576 патент выдан: опубликован: 20.08.2002 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИФФУЗИОННОГО АЛЮМИНИДНОГО ПОКРЫТИЯ НА ИЗДЕЛИИ
Способ получения диффузионного алюминидного покрытия на изделии включает накопление на поверхности изделия элементов, легирующих покрытие, причем удельный прирост массы ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
2164965 патент выдан: опубликован: 10.04.2001 |
|
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ДЛИННОМЕРНЫХ ОТВЕРСТИЙ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ Способ включает бомбардировку поверхности отверстия потоком ионов газа, образованным между обрабатываемым изделием (катодом) и введенным в него электродом (анодом), причем электрод устанавливают коаксиально обрабатываемой поверхности, а на катод подают высоковольтный потенциал, превыщающий 5000В, определяемый в зависимости от радиуса отверстия обрабатываемого изделия из заявленного соотношения. Технический результат заключается в интенсификации процесса обработки поверхности, получении равномерного диффузионного слоя ионов реакционного газа в поверхности длинномерных отверстий, исключении операции разогрева поверхности до температуры насыщения и упрощении реализации способа. 1 ил. | 2114211 патент выдан: опубликован: 27.06.1998 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ Способ включает распыление алюминия в атмосфере азота с помощью вакуумно-дугового разряда при одновременном воздействии дополнительного газового разряда, в качестве которого используют тлеющий или высокочастотный разряд. При получении пленки на подложке из алюминия перед возбуждением вакуумно-дугового разряда возбуждают тлеющий разряд в атмосфере азота для очистки поверхности подложки и формирования промежуточного переходного слоя нитрида алюминия. Технический результат - обеспечение дополнительной ионизации азота и повышение потока ионов азота на подложку. 4 з.п. ф-лы, 1 ил. | 2113537 патент выдан: опубликован: 20.06.1998 |
|
СПОСОБ УПРОЧНЕНИЯ ИНСТРУМЕНТА Изобретение относится к металлургии, в частности к способам упрочнения режущих и штамповых инструментов с покрытиями. Сущность изобретения: перед ионным азотированием и после него дополнительно проводят обработку инструментальной основы аргоновой плазмой тлеющего разряда, что сначала позволяет удалить тонкий дефектный поверхностный слой, тем самым улучшая условия азотирования снижением неблагоприятных растягивающих остаточных напряжений в поверхностном слое инструмента, а после азотирования позволяет выполнить тщательное ионное травление поверхности основы, освободив ее от тонкого (толшиной около 1 мкм) слоя нитридов и следов окислов, возникающих в процессе азотирования и обуславливающих из-за своей химической инертности ухудшение адгезии покрытия к основе. Затем после переноса изделия в камеру ионно-плазменного нанесения и после очистки и нагрева основы выполняют осаждение многослойного покрытия из нитрида титана или подобных соединений. Способ комплексной обработки существенно повышает надежность и сопротивление инструмента знакопеременным нагрузкам, возникающим в процессе резания. 1 табл. | 2026419 патент выдан: опубликован: 09.01.1995 |
|
СПОСОБ ОКРАШИВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА Использование: изобретение применяется главным образом для окрашивания пластин или листов, в частности из нержавеющей стали. Сущность изобретения: изобретение касается способа окрашивания поверхности металлических материалов путем образования оксидной пленки и полученных в результате этого изделий. Окрашиваемый материал подвергают поверхностной обработке низкотемпературной плазмой в атмосфере, содержащей по крайней мере один газ, молекула которого содержит атомы кислорода. 8 з.п. ф-лы. | 2022054 патент выдан: опубликован: 30.10.1994 |
|