Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: ..средства наблюдения за процессом покрытия – C23C 14/52

Изобретение относится к вакуумной технике. Устройство для защиты смотрового окна вакуумной камеры содержит ленту, протягиваемую вдоль окна ведущим и ведомым роликами. Тонкая упругая металлическая лента выполнена шире и в 2,5 раза длиннее окна. Лента уложена и закреплена в проточке каждого ролика. По ширине в ленту вставлена прямоугольная рамка со съемным стеклом шириной в три раза меньше его длины, по краям каждого ролика выполнены канавки, в которых закреплены и натянуты между роликами ниже ленты два тросика длиной не меньше длины окна, выполненные в виде пружины. Возле каждого ролика установлен упор для рамки. Когда рамка упирается в упор возле ведомого ролика, тросики намотаны на ведущий ролик, а лента на ведомый ролик. Когда рамка упирается в упор возле ведущего ролика, тросики намотаны на ведомый ролик, а лента на ведущий ролик. С каждой стороны ленты установлены, по меньшей мере, две направляющие. Обеспечивается защита увеличенного по длине смотрового окна вакуумной камеры от запыления при визуальном контроле за процессами термического испарения. 1 ил., 1 пр.

Группа изобретений относится к методам моделирования процессов вакуумной ионной обработки при исследовании потоков заряженных частиц. Способы включают размещение образца, содержащего участок в форме призмы, в вакуумной камере. Затем потоком заряженных частиц воздействуют на поверхность боковой грани образца. При воздействии потоком на поверхность боковой грани образца образуют покрытие. Затем осуществляют визуальный контроль и/или измеряют параметры образованного на поверхности образца покрытия для проведения исследований свойств упомянутого потока заряженных частиц. Либо при воздействии потоком заряженных частиц на поверхность боковой грани образца удаляют его поверхностный слой. Затем осуществляют визуальный контроль и/или измеряют параметры удаленного поверхностного слоя для проведения исследований свойств упомянутого потока заряженных частиц. Техническим результатом изобретения является повышение информативности и оперативности измерений, проводимых при контроле параметров поверхности образца, на которую воздействуют потоком заряженных частиц. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам получения истираемых материалов из металлических волокон, и может быть использовано при изготовлении уплотнений проточной части компрессора и турбины газотурбинного двигателя, в газонефтеперекачивающих установках для изготовления фильтров. Способ включает засыпку волокон в пресс-форму, прессование волокон с одновременным приложением вибрации, спекание и дополнительное уплотнение материала. После дополнительного уплотнения на материале формируют защитное покрытие системы Si₃C₅ H₁₅O_0,25-SiC-MoSi₂-CoSO ₄. При этом формирование защитного покрытия проводят в вакууме 10^-3-10^-7 мм рт.ст. при температуре 300-1100°С в течение 1-10 ч. Технический результат - повышение надежности и ресурса эксплуатации изделий. 1 з.п. ф-лы, 2 табл.