Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: ..устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия, приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы – C23C 14/56

Изобретение относится к устройствам вакуумного нанесения покрытий на рулонные материалы. Может использоваться для получения функциональных покрытий при производстве материалов электронной техники. Устройство для получения электродного материала содержит модуль напыления с системой испарения с механизмом подачи испаряемого материала, систему перемотки, систему откачки, пневмосистему, систему охлаждения, систему управления и устройство перемещения, выполненное с возможностью стыковки-расстыковки с модулем напыления. Система перемотки выполнена в виде жесткого блока, состоящего из двух плит, передней и задней, скрепленных между собой опорами, и содержит водоохлаждаемые направляющие ролики, неохлаждаемые отклоняющие ролики и ролики натяжения. Жесткий блок крепится задней плитой к внешней плите, расположенной на устройстве перемещения посредством крепящих блоков с обеспечением независимости от прогиба внешней плиты. Для передачи вращения от приводов и исполнительных механизмов на водоохлаждаемые направляющие установлен магнитожидкостной ввод вращения с обеспечением компенсации прогиба внешней плиты, который надевают на водоохлаждаемый направляющий ролик. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к установке для вакуумного осаждения покрытия из металлического сплава на подложку (7). Генератор - смеситель пара установки содержит вакуумную камеру (6), которая имеет средства для создания в ней разрежения относительно внешней среды и средства, обеспечивающие вход и выход подложки (7). Камера (6), по существу, непроницаема для внешней среды. Эжекторная головка (3) для осаждения пара предназначена для создания струи пара металлического сплава со звуковой скоростью в направлении поверхности подложки (7) и перпендикулярно к ней. Эжекторная головка (3) герметично сообщается с отдельным смесительным устройством (14), которое, в свою очередь, соединено выше по потоку соответственно, по меньшей мере, с двумя тиглями (11, 12), содержащими два разных металла M1 и М2 в жидком виде. Каждый тигель (11, 12) соединен собственной отдельной трубой (4, 4 ) со смесителем (14). В результате достигается возможность дифференцированного и быстро корректируемого регулирования содержания входящих в состав сплава металлов, обеспечивается равномерность испарения и получение качественного покрытия. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к способу предварительной обработки вспомогательных поверхностей установки для нанесения покрытий. Вспомогательные поверхности установки для нанесения покрытий еще перед процессом нанесения покрытия подвергают предварительной обработке путем нанесения на вышеуказанные вспомогательные поверхности антиадгезионного слоя, в качестве которого используют суспензию графитового порошка в легколетучем растворителе. При последующем процессе нанесения покрытия сцепление материала покрытия на вспомогательных поверхностях существенно снижается по сравнению с его сцеплением без предварительной обработки. Технический результат - упрощение способа очистки установки для нанесения покрытий после процесса нанесения покрытия. 2 н. и 2 з. п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к способу и устройству нанесения тонкопленочных покрытий на подложки и может быть использовано для нанесений тонкопленочных покрытий с заданными оптическими, электрическими и другими характеристиками. Технический результат заключается в обеспечении возможности обработки как гибких крупноформатных подложек, так и подложек небольшого размера с высокой степенью равномерности покрытия. Подложки располагают на вращающихся барабанах, которые последовательно перемещают вдоль зон обработки технологической линии с одинаковой постоянной линейной и угловой скоростью. При этом соотношение линейной и угловой скоростей барабана выбирается таким образом, чтобы каждая точка поверхности барабана совершала не менее двух полных оборотов при прохождении зоны обработки. В технологической линии содержатся шлюзовые, буферные камеры и по крайней мере одна технологическая камера с технологическим устройством, держатели подложек и транспортная система. Держатели расположены на каретках, установленных с возможностью последовательного прохождения камер. Каждый держатель подложек выполнен в виде вращающегося барабана. Каретки выполнены с возможностью перемещения с постоянной линейной скоростью. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к области машиностроения и металлургии, в частности к вакуумной установке для получения наноструктурированных покрытий из материала с эффектом памяти формы на поверхности детали. Упомянутая установка содержит раму с установленной на ней вакуумной камерой, соединенной с вакуумным насосом, механизм закрепления детали, газопламенную горелку для высокоскоростного газодинамического напыления, установленную под углом 45° к поверхности детали, механизм подачи порошкового материала с эффектом памяти формы в газопламенную горелку, пирометр для измерения температуры обрабатываемой детали, технологический модуль для ионной очистки обрабатываемой детали, приспособление для поверхностно-пластического деформирования детали для формирования наноструктурированного слоя, понижающий трансформатор для дополнительного нагрева поверхности детали, устройство для охлаждения поверхности детали для отрицательного интервала температур мартенситного превращения при поверхностно-пластическом деформировании и управляющее устройство. Предложенная установка дополнительно содержит два магнетрона и источник для ионной имплантации металлов, закрепленные в корпусе вакуумной камеры с возможностью направления на обрабатываемую деталь. Приспособление для поверхностно-пластического деформирования выполнено в виде пресса с верхней неподвижной и нижней подвижной траверсами, расположенными в вакуумной камере, причем на нижней подвижной траверсе установлены зажимной механизм закрепления детали и упомянутое устройство для охлаждения поверхности детали. Газопламенная горелка жестко закреплена в корпусе вакуумной камеры. Повышаются прочностные характеристики и износостойкость покрытий деталей, а также обеспечивается возможность обработки изделий любой формы. 1 ил., 2 пр.

Изобретение относится к технологии вакуумной обработки подложек большой площади путем осаждения пленок из паровой или газовой фазы, используемых, в частности, при изготовлении тонкопленочных солнечных элементов. Установка содержит по меньшей мере одну загрузочную шлюзовую камеру (2), по меньшей мере две следующие за ней камеры (4, 5) осаждения, по меньшей мере одну разгрузочную шлюзовую камеру (10) и средства перемещения подложек, последующей обработки подложек и/или транспортировки подложек через различные камеры и внутри них. Камеры осаждения предназначены для работы при по существу одинаковых параметрах нанесения покрытия, включая расход газа, давление, продолжительность обработки и используемые химические вещества. Камеры установлены с образованием цепи камер осаждения, в каждой из которых выполняют часть осаждения. Обеспечиваются равномерные свойства осажденного на подложки слоя, а также повышается производительность. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к покрытию подложек с одной или более сторон каталитически активным материалом для их использования в качестве электродов, применяемых при хлорщелочном электролизе и/или получении водорода. В вакуумную камеру загружают по меньшей мере одну подложку. Осуществляют закрытие и откачивание вакуумной камеры. Очищают подложку путем введения в камеру газообразного восстановителя. Увеличивают поверхность подложки путем осаждения на нее парообразного компонента, который, предпочтительно, идентичен материалу подложки. Наносят покрытие методом, выбранным из группы процессов плазменного осаждения, физического осаждения из газовой фазы и процессов распыления, при этом на поверхность подложки наносят один или более металлов или их оксидов. Наполняют камеру воздухом и извлекают из нее покрытую подложку. Способ обладает простотой, высокой производительностью и регулируемостью процесса. 2 н. и 9 з.п. ф-лы.

Изобретения предназначены для нанесения покрытия, по меньшей мере, на одну сторону перемещающейся подложки путем вакуумного напыления слоя металла или металлического сплава, который может сублимироваться. Металл или металлический сплав размещают напротив стороны подложки в виде, по меньшей мере, двух слитков, находящихся в контакте друг с другом. Во время нанесения покрытия поверхность указанных слитков, обращенную к указанной стороне подложки, удерживают параллельно подложке и на постоянном от нее расстоянии. Установка для нанесения покрытия содержит устройство для вакуумного нанесения покрытия, средства перемещения подложки внутри и устройство подачи металла или металлического сплава. Достигается повышение скорости нанесения покрытия и качества полученного покрытия. 3 н. и 33 з.п. ф-лы, 4 ил., 3 табл.

Установка предназначена для вакуумного осаждения металлического слоя на материал основы. Установка (10) включает в себя захватывающее заряды тело (25), размещенное между охлаждающим полым роликом (14) и блоком нейтрализации (23). Захватывающее заряды тело (25) захватывает заряженные частицы из блока нейтрализации (23) к полому ролику (14). Соответственно, натекшие из блока нейтрализации (23) заряженные частицы предохраняются от достижения полого ролика (14), что подавляет изменение потенциала смещения, приложенного к полому ролику 14 для приведения его в тесный контакт с материалом основы (12), и сохраняет стабильную электростатическую силу притяжения относительно материала основы (12). Соответственно, сила адгезии между материалом основы и охлаждающим роликом сохраняется стабильной и, таким образом, предотвращается термическая деформация материала основы. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к подложкодержателю и установке для нанесения покрытий методом магнетронного распыления. Технический результат заключается в повышении производительности, гибкости, ресурсосбережения, удобства обслуживания и качества осаждаемого слоя. Подложкодержатель включает, по меньшей мере, один модуль, состоящий, по меньшей мере, из одной насадки с элементами фиксации подложек, соединенной с приводом и установленной с помощью державок на опоре с возможностью передачи подложек в одну из фиксированных позиций ожидания или обработки с размещением обрабатываемых поверхностей подложек по нормали к вектору потока распыляемого материала. Платформа установки выполнена в виде пустотелого кольцевого цилиндра, смонтированного с возможностью выполнения в автоматическом режиме циклических установочных перемещений подложкодержателей с механизмами их привода из одной позиции обработки в другую на угол =2 /n, где n - количество позиций обработки. Внутри платформы под проемами оборудованы специальные площадки для размещения корпусов подложкодержателей с механизмами их перемещения и датчиками управления по времени. Площадки включают направляющие, жестко закрепленные снизу плоскости перекрытия по границам проемов в направлении от периферии к центру платформы, два упора. Стационарный упор смонтирован на внутреннем обводном каркасе платформы. Откидной упор смонтирован на внешнем обводном каркасе платформы на затворе. 2 з. и 8 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к конвейерным устройствам для перемещения пленочной основы при вакуумной обработке, в частности вакуумном осаждении, с последовательным разматыванием и сматыванием пленочной основы. Устройство (10) содержит разматывающий (12) и сматывающий (14) ролики и механизм перемещения. Механизм перемещения включает направляющий узел (20), содержащий направляющий ролик (17А) и вспомогательный ролик (18). Вспомогательный ролик (18) включает пару кольцевых направляющих частей (17b), которые поддерживают боковые кромочные части пленочной основы (F). При этом вспомогательный ролик (18) расположен напротив направляющего ролика и прижимает боковые кромочные части пленочной основы к паре направляющих частей (17b). Технический результат - обеспечение стабильного перемещения пленочной основы и защиты ее обработанной области от повреждения. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 8 ил.

Изобретение относится к парогенератору для нанесения металлического покрытия на подложку (7), предпочтительно стальную ленту. Парогенератор содержит вакуумную камеру (6) в виде полости. В полость помещена головка для осаждения паров в виде эжектора (3), герметично сообщающаяся с помощью подающего трубопровода (4), по меньшей мере, с одним тиглем (1), в котором находится металл покрытия в жидком виде и который расположен снаружи от вакуумной камеры (6). Эжектор (3) имеет продольную прорезь для выхода паров, играющую роль звукового сопла, которая проходит по всей ширине подложки (7). В эжекторе расположены непосредственно перед указанной прорезью по ходу паров фильтрующая среда или дроссельное устройство (3А) из спеченного материала для обеспечения равномерности скорости истечения паров из эжектора (3) через звуковое сопло. В результате получают покрытие с высокой коррозионной стойкостью при сохранении оптимальных характеристик штампуемости и свариваемости. 19 з.п. ф-лы, 1 табл., 8 ил.

Изобретение относится к установке для комбинированной ионно-плазменной обработки и может быть применено в машиностроении, преимущественно для ответственных деталей, например рабочих и направляющих лопаток турбомашин. Установка содержит вакуумную цилиндрическую камеру с загрузочной дверью и фланцами для установки технологических модулей, позволяющих осуществлять комплексную обработку деталей в одном технологическом цикле работы установки. Размеры вакуумной камеры позволяют обрабатывать длинномерные детали. Использование в установке протяженных источников металлической плазмы и электродуговых испарителей, а также форма камеры обеспечивают равномерную и качественную обработку деталей. Установка снабжена высокоэнергетическими источниками для ионной имплантации газа и высокоэнергетическими источниками металлической плазмы, что в сочетании с другими ионно-плазменными и ионно-имплантационными устройствами позволяет получать наноструктурированные и нанослойные покрытия. Повышению качества покрытий способствует применение в установке фильтров капельной фазы. 16 з.п. ф-лы, 1 табл., 2 ил.

Изобретение относится к шлюзам для уплотнения. Для улучшения уплотняющего эффекта камер при обработке металлической ленты уплотняют первую камеру от второй камеры, причем затвор содержит, по меньшей мере, два ролика (5, 6), которые с уплотнением прилегают к ленте (4) с двух сторон, при этом, по меньшей мере, один ролик (5, 6) имеет внутренний стержень (8) с оболочкой из упругого эластичного материала (7), причем стержень в средней зоне (9) выполнен в виде цилиндрического контура (10), а в краевых зонах (11, 12) - радиально расширенным по сравнению со средней зоной (9), при этом ролик (5, 6) в краевых зонах (11, 12) радиально расширен по сравнению со средней зоной (9). 20 з.п. ф-лы, 15 ил.

Изобретение относится к установке для нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для вакуумного нанесения покрытий на рулонные материалы при производстве электродной фольги для алюминиевых оксидно-электролитических конденсаторов, суперконденсаторов, аккумуляторов и подобных изделий. Установка включает камеру напыления с системой испарения с механизмом подачи испаряемого материала, камеру пушек с, по меньшей мере, двумя электронно-лучевыми пушками, систему перемотки, систему откачки, систему газонатекания, пневмосистему, систему охлаждения, систему электропитания и управления и устройство перемещения, на котором с возможностью стыковки-расстыковки с камерой напыления расположена система перемотки. Система испарения содержит, по меньшей мере, два испарителя с двумя механизмами подачи испаряемого материала в виде слитка и, по меньшей мере, четырьмя механизмами подачи испаряемого материала в виде проволоки, и комбинированную систему электромагнитного отклонения лучей. Система испарения выполнена с возможностью одновременной подачи и испарения из одного испарителя одновременно до трех различных испаряемых материалов с различными температурами плавления. Установка позволяет получить покрытия с равномерными электрофизическими характеристиками и получить многокомпонентные покрытия. 3 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к способу и устройству нанесения покрытия, способ изготовления постоянного магнита типа Fe-B-редкоземельные элементы, выполненный из спеченного магнита типа Fe-B-редкоземельные элементы. Технический результат заключается в повышении производительности изготовления постоянного магнита с обеспечением его низкой стоимости. Постоянный магнит изготавливают с помощью этапа нанесения покрытия из Dy на поверхность магнита типа Fe-B-редкоземельные элементы, имеющего заранее заданную конфигурацию, и этапа диффузии Dy, нанесенного на поверхность магнита, в пограничные фазы кристаллических зерен магнита с помощью термической обработки при заранее заданной температуре. Этап нанесения покрытия включает в себя первый этап нагревания рабочей камеры, используемой для проведения этапа нанесения покрытия, и создания атмосферы металлических паров внутри рабочей камеры путем испарения испаряемого металлического материала, предварительно размещенного внутри рабочей камеры, и второй этап введения в рабочую камеру магнита, поддерживавшегося при более низкой температуре, чем температура в рабочей камере, и последующего селективного осаждения испаряемого металлического материала на поверхность магнита под действием разницы температур между температурой в рабочей камере и температурой магнита, пока магнит достигает заранее заданной температуры. 4 н. и 17 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение к способу нанесения покрытий и электродуговому испарителю для осуществления способа и может быть применено в машиностроении, например, для защиты рабочих и направляющих лопаток турбомашин. Способ включает размещение деталей в вакуумной камере на приспособлении, приложение к приспособлению и деталям потенциала электрического смещения, ионную очистку поверхности деталей и нанесение на них покрытия электродуговым испарением материалов, по крайней мере, одного катода электродугового испарителя, выполненного в виде цилиндрической обечайки с перемещающимся в осевом направлении фиксатором катодного пятна. Цилиндрическая обечайка состоит из набора контактирующих и соединенных друг с другом сваркой цилиндрических колец-обечаек из разнородного испаряемого материала, а кольца-обечайки выполнены из материалов, выбранных из элементов IVb, Vb, VIb групп Периодической таблицы Менделеева, Аl и их сплавов. Нанесение покрытия осуществляют одновременно с перемещением фиксатора катодного пятна. Производят вращение катода вокруг своей оси и его возвратно-поступательное перемещение в осевом направлении. В результате достигается хорошее охлаждение катода и высокая степень стабильности управления положением катодного пятна на поверхности его испарения, и возможность чередующегося испарения различных металлов с одного катода. 2 н. и 25 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение предназначено для герметизации. Шлюз для полосы для герметизации первой камеры относительно второй камеры, причем полоса, в частности металлическая полоса, проходит через обе камеры, содержит, по меньшей мере, одно уплотняющее средство, которое включает, по меньшей мере, две подвижные по отношению друг к другу заслонки, имеющие, по меньшей мере, одну уплотняющую поверхность, подогнанную к краевому контуру герметизируемой полосы. По меньшей мере, две заслонки выполнены в виде пластин и расположены параллельно друг другу и прилегая друг к другу. Технический результат: хорошее уплотняющее действие. 92 з.п. ф-лы, 18 ил.

Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к малогабаритному магнетронному распылительному устройству обращенного типа, и может найти использование для нанесения тонких пленок металлов и их соединений в вакууме на тонкие проволоки и волокна. Обращенный цилиндрический магнетрон содержит анод, водоохлаждаемый цилиндрический катод, магнитную систему, создающую над поверхностью катода магнитное поле. Диаметр распыляемого цилиндрического катода составляет 0,5-5 мм, а устройство работает при давлении рабочего газа 10¹÷10² Па и индукции магнитного поля над поверхностью катода 2-10 кГс. Устройство обеспечивает повышение эффективности использования распыленного с катода материала в формировании покрытия посредством значительного уменьшения диаметра цилиндрического катода. 2 ил.

Изобретение относится к технике вакуумного нанесения износо-, коррозионно- и эрозионно стойких ионно-плазменных покрытий, в частности к катодному узлу электродугового испарителя, и может быть применено в машиностроении преимущественно для нанесения покрытий на протяженные изделия, например лопатки паровых турбин. Катодный узел содержит цилиндрический охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде цилиндрической обечайки с возможностью вращения вокруг собственной оси, средства подвода-отвода охлаждающей среды, средства электрической связи катода с источником электропитания разряда, средства фиксации положения катодного пятна на поверхности испарения катода. Катод выполнен составным, по крайней мере, из двух сегментов обечайки, образующих при совмещении сплошную обечайку. При нанесении материала катод вращается вокруг собственной оси. При этом катодное пятно перемещается по винтовой линии, причем положение пятна определяется скоростью вращения катода и скоростью перемещения фиксатора положения катодного пятна. Фиксатор выполнен с возможностью возвратно-поступательно перемещения внутри охлаждаемого катода. Изобретение позволяет обеспечить высокую стабильность управления положением катодного пятна и получения различных материалов с одного катода. 5 з.п. ф-лы. 2 ил.

Изобретение относится к технике вакуумного нанесения износо-, коррозионно- и эрозионностойких ионно-плазменных покрытий и может быть применено в машиностроении, преимущественно для ответственных деталей, например рабочих и направляющих лопаток турбомашин. В вакуумной камере установки размещают лопатки, прикладывают к лопаткам электрическое смещение, выполняют ионную очистку поверхности и наносят на них покрытие электродуговым испарением материалов при одновременном вращении и возвратно-поступательном движении цилиндрических водоохлаждаемых катодов. Внутри каждого катода имеется перемещающийся магнитный фиксатор положения катодного пятна. Величина амплитуды возвратно-поступательного движения катода в осевом направлении (Н_к.в/п) составляет: H _к.в/п=(0,2 3) Н_у.п, где Н_у.п - предельная высота рабочей зоны вакуумной камеры при отношении высоты катода (H _к) к предельной высоте рабочей зоны вакуумной камеры (Н _у.п), равном (0,2 4). В изобретении используют катоды из следующих металлов и их сплавов: Ti, Zr, Hf, Cr, V, Nb, Та, Mo, W, Al, La, Eu, Ni, Co, Y. Технический результат заключается в повышении качества покрытий за счет уменьшения капельной фазы и улучшения охлаждения поверхности катода без увеличения габаритов вакуумной камеры установки. 2 н. и 25 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к вакуумному затвору для отделения камеры осаждения и части электронной пушки вакуумного устройства и может найти применение при производстве полупроводников, тонких пленок, жидких кристаллов и других изделий с тонкопленочными покрытиями. Корпус затвора (2) имеет отверстия, каждое из которых выполнено в боковых стенках, обращенных друг к другу. Затвор содержит задвижку (3) для открытия/закрытия отверстий, цилиндрический подвижный щиток (22), выполненный с возможностью введения через отверстие на стороне рабочей камеры в корпус затвора при открытии затвора и свободного совершения возвратно-поступательного перемещения между ними. Приемный элемент (21) расположен в отверстии на стороне части электронной пушки и контактирует с концевой частью подвижного щитка (22). Приводное средство обеспечивает возвратно-поступательное перемещение подвижного щитка (22). Концевая часть подвижного щитка (22) и приемный элемент (21) сведены близко друг с другом с помощью приводного средства для обеспечения герметичного отделения внутренней части подвижного щитка и внутренней части корпуса затвора друг от друга. Даже когда вакуумный затвор для вакуумного устройства, используемого в устройстве парофазного осаждения, находится в открытом положении, в камере парофазного осаждения обеспечена надежность сохранения вакуума путем защиты внутренней поверхности корпуса затвора и задвижки от паров осаждаемого из паровой фазы материала. 2 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для нанесения комплексных многокомпонентных покрытий на поверхности деталей. Установка содержит вакуумируемую камеру с загрузочным люком, вакуумную систему, устройства для ионно-плазменного и магнетронного напыления и размещенное в камере устройство для фиксации и вращения обрабатываемой детали. Внутри камеры расположен механизм закрепления и перемещения горелки для плазменного или газопламенного напыления или сопла для дробеструйной обработки. При этом катодные узлы устройств для ионно-плазменного и магнетронного напыления размещены друг над другом равномерно по восходящей спирали, причем расстояние L по вертикали и по горизонтали между геометрическими осями соседних катодных узлов выбрано из условия L=0,8 0,95(r₁+r₂), где r₁ и r₂ - радиусы следов пучков плазмы на поверхности обрабатываемой детали, генерируемой соседними катодными узлами. Технический результат - повышение качества и производительности процесса нанесения покрытий. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к технике вакуумно-плазменного нанесения покрытия, в частности к электродуговому испарителю, и может быть использовано в авиа- и машиностроении для нанесения защитных упрочняющих покрытий на различные изделия. Рабочая поверхность катода выполнена бочкообразно, внутренняя поверхность катода может иметь как цилиндрическую форму, бочкообразную, так в виде цилиндров различного диаметра, с максимальным диаметром в центре и с минимальным на торцах. Катод может быть изготовлен составным из колец, из сегментов из разнородных материалов. Технический результат: повышение качества напыляемого на поверхность изделия покрытия и возможность создания пленочных мультислойных, в том числе нанотолщинных покрытий. 17 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к способу и аппарату для производства стальных изделий с металлическим покрытием и может найти использование в металлургической промышленности и машиностроении. Способ включает стадии: производства стального изделия с металлическим покрытием, добавления дополнительного металлического элемента к указанному покрытию и термической обработки указанного изделия. Перед добавлением указанного дополнительного элемента указанное изделие подвергают плазменной обработке посредством диэлектрического барьерного разряда для очистки и активации поверхности указанного покрытия; указанный дополнительный элемент добавляют с помощью физического осаждения из разреженной паровой фазы. Указанную термическую обработку осуществляют путем направления инфракрасного излучения высокой энергии на внешнюю поверхность указанного покрытия. Аппарат включает средства для осуществления плазменной обработки на изделии с металлическим покрытием, средства для добавления дополнительного элемента к указанному покрытию путем физического осаждения из разреженной паровой фазы и средства для направления инфракрасного излучения высокой энергии на внешнюю поверхность указанного покрытия. 2 н. и 10 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к устройству для образования пленки и может найти применение в различных отраслях машиностроения. В камере (2) для образования пленки, давление в которой регулируется, во время вращения вращающегося барабана (7) с приводом от приводного двигателя (8) образуется пленка на верхней поверхности подложки (12). Подложка размещена на лотке (13) и удерживается в нем держателем (10). Пленка образуется на наружной поверхности подложки посредством катодов (17а и 17b), к которым приложено напряжение постоянного или переменного тока либо напряжение высокой частоты. Пленка образуется также на внутренней поверхности подложки (12) посредством катодов (14а и 14b), к которым приложено напряжение постоянного или переменного тока либо напряжение высокой частоты. В результате чего непрерывно и с высокой эффективностью образуется посредством распыления высококачественная пленка на обеих поверхностях подложки посредством сдерживания повышения температуры подложки до заранее установленной величины или выше. 3 н. и 10 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретения относятся к вакуумной технике, в частности к шлюзовым (запорным) клапанам для перекрытия рабочих проемов вакуумных установок, и предназначены для применения в установках для обработки ленточного материала или для нанесения покрытий на ленты. Шлюзовой клапан (1) выполнен с возможностью запирания щелевидного отверстия (3) между двумя различными частями установки. Через отверстие (3) проходит гибкая ленточная подложка (4). Клапан (1) содержит, по меньшей мере, один подвижный уплотнительный элемент (7). Элемент (7) взаимодействует с уплотнительной поверхностью (5) для запирания отверстия (3). В процессе закрытия шлюзового клапана (1) ленточная подложка (4) зажимается между уплотнительным элементом (7) и уплотнительной поверхностью (5). Уплотнительная поверхность (5) окружает отверстие (3) по типу рамки. Уплотнительный элемент (7) выполнен с возможностью прижатия к уплотнительной поверхности (5) и/или проходящей через отверстие (3) ленточной подложке (4) для запирания отверстия (3) посредством прилегания к краям уплотнительной поверхности (5). Имеется устройство для обработки непрерывных ленточных подложек с использованием, по меньшей мере, одного указанного выше шлюзового клапана (1) для перекрытия отверстия (3) между камерой обработки и камерой для намотки ленточной подложки (4). Изобретения направлены на повышение долговечности устройства за счет исключения повреждений покрытия и обрыва ленты. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к способу изготовления металлической проволоки для армирования эластомерного материала, металлической проволоки и металлокорду для армирования такого эластомерного материала. Металлическая проволока содержит металлическую сердцевину, имеющую заданный исходный диаметр, и слой металлического покрытия из латуни. Способ включает следующие этапы: (а) подвергают сердцевину по меньшей мере одной поверхностной обработке для подготовки поверхности сердцевины к нанесению слоя покрытия из латуни; (b) термически обрабатывают сердцевину; (с) напыляют на сердцевину слой металлического покрытия до заданной исходной толщины посредством технологии плазменного напыления; и (d) выполняют волочение покрытой сердцевины до конечного диаметра, который меньше заданного исходного диаметра, и получения слоя металлического покрытия с конечной толщиной, которая меньше заданной исходной толщины. Технический результат состоит в возможности получать проволоку с равномерным и однородным слоем покрытия, включая сердцевину с гладкой поверхностью, подходящей для напыления этого слоя покрытия, и структуру, подходящую для холодного деформирования на этапе волочения. 4 н. и 26 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий, в частности к уплотнительному затвору для камеры вакуумного нанесения покрытия на непрерывную протягиваемую металлическую ленту, и к линии вакуумного нанесения покрытий. Уплотнительный затвор имеет съемные нижнюю крышку и верхнюю крышку, расположенные на опорах несколько пар металлических валков, предназначенных для прохождения между ними ленты и прикрепленных к обращенной к ним крышке с зазором, определяющим зону первой утечки. Субкамера ограничена каждыми двумя последовательными парами валков. Система откачки для поддерживания в субкамере заданного давления ниже атмосферного соединена с указанной камерой. Валки одной пары имеют разные диаметры. Валки установлены на подшипниках, жестко связанных с указанными крышками, и выполнены съемными. Оси валков одной пары расположены в общей вертикальной плоскости. Положение валка меньшего диаметра оказывается поочередно верхним и нижним при переходе от одной отдельной пары валков к смежной с ней паре. Опоры для удержания двух валков одной и той же пары имеют в боковом относительно валка направлении выступ в сторону оси валка для образования зазора относительно боковой поверхности указанных валков, определяющего зону второй утечки. Технический результат заключается в предотвращении утечек, упрощении обслуживания оборудования и увеличении производительности. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к устройству и способу вакуумного осаждения для образования осажденных в вакууме пленок на несущей пленке и может найти использование в различных отраслях машиностроения. Устройство содержит подающий валик для подачи несущей пленки, подающий направляющий валик для направления несущей пленки в вакуум, покрывающий валик для прохождения вокруг него несущей пленки и осаждения на ней в вакууме слоя с образованием пленки с покрытием, приемный валик для наматывания на него пленки с покрытием и приемный направляющий валик для удерживания осажденной в вакууме пленки со слоем покрытия, направляемой с покрывающего валика. Средство синхронизации устройства выполнено с возможностью уравнивания периферийной скорости V1 покрывающего валика и периферийной скорости V2 отводящего направляющего валика, так что V1=V2. В результате приемный направляющий валик не будет тереться об осажденный в вакууме слой, расположенный на поверхности пленки, что позволяет устранить вероятность царапания осажденного в вакууме слоя. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 16 ил.