Способы удаления металлического материала с поверхностей, не предусмотренные в группах 1/00 или 3/00 – C23F 4/00
C23F 4/02 | .испарением |
C23F 4/04 | .физическим растворением |
Патенты в данной категории
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ В ВАКУУМЕ
Изобретение относится к способу обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме для удаления загрязнений. Технический результат изобретения состоит в обеспечении надежной фиксации и управляемого характера перемещения катодных пятен по очищаемой поверхности. Инициируют на обрабатываемой поверхности катодные пятна дугового разряда, который возбуждают в режиме возрастающего участка вольтамперной характеристики между анодом и катодом, который является обрабатываемой поверхностью. Осуществляют локализацию области существования катодных пятен на обрабатываемой поверхности и ее смещение путем перемещения анода. Используют анод с площадью токоприемной поверхности, меньшей площади катода, и устанавливают его на расстоянии от катода, обеспечивающем положительное анодное падение напряжения. Использование изобретения позволяет упростить стабилизацию катодных пятен на обрабатываемой поверхности, сократить время протекания технологического процесса очистки и повысить качество очищаемой поверхности. 2 ил. |
2509824 выдан: опубликован: 20.03.2014 |
|
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Изобретение относится к технологии обработки поверхности деталей в вакууме и может быть использовано для удаления с поверхности деталей окалины, окисных пленок, технологической смазки, различных загрязнений и отложений, образующихся в процессе эксплуатации, а также для упрочнения или отпуска приповерхностного слоя деталей, удаления заусенцев и микровыступов и т.д. Технический результат - повышение качества обработки поверхности изделии и упрощение процесса обработки. Заявленный способ обработки включает возбуждение разряда, обработку поверхности катодными пятнами вакуумной дуги и перемещение их вдоль участка обработки. При этом осуществляют перемещение катодной области дуги вдоль участка обработки поверхности изделия путем изменения силы токов через токоподводы отрицательного потенциала, подключенные к двум и более точкам обрабатываемой поверхности, при одновременном непрерывном или дискретном перемещении положительного электрода и обрабатываемой поверхности относительно друг друга. Устройство для реализации способа содержит источник питания дуги, положительный электрод и в качестве катода - обрабатываемое изделие, размещенное в вакууме. При этом токоподводы отрицательного потенциала подключены к обрабатываемой поверхности в двух и более точках через регуляторы тока. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 2 ил. |
2457282 выдан: опубликован: 27.07.2012 |
|
СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ ОСТАТКОВ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств - фильтров, резонаторов, линий задержки на поверхностных акустических волнах. Способ включает операции вакуумирования и обработки подложек в кислородсодержащей плазме. Подложки обрабатывают в плазме смеси кислорода и инертного газа, содержащей 5-12 об.% кислорода и 88-95 об.% инертного газа, при этом в качестве инертного газа используют гелий или неон, или аргон и обработку ведут при давлении в реакционной камере 80-140 Па, плотности ВЧ-мощности 0,02-0,06 Вт/см3 и времени воздействия 3-15 мин. Изобретение позволяет улучшить электрофизические параметры пьезоэлектрических устройств за счет более полного удаления органических остатков с пьезоэлектрических подложек после различных технологических операций. |
2406785 выдан: опубликован: 20.12.2010 |
|
СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ КРУПНОГАБАРИТНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Способ и устройство относятся к области очистки и обработки поверхности крупногабаритных металлических изделий в вакууме и в атмосфере защитных газов на различных этапах технологического процесса и позволяют расширить функциональные возможности очистки дуговым разрядом поверхности металлических изделий любых больших габаритов. Способ включает создание вакуума или защитной атмосферы в вакуумной камере, возбуждение электрического разряда между одним или несколькими электродами, находящимися в вакуумной камере, и очищаемой поверхностью изделия и перемещение катодных пятен по очищаемой поверхности изделия с помощью создаваемого магнитного поля различной конфигурации. Вакуумную камеру выполняют в виде бокса и в ее объеме создают вакуум, очищают поверхность накрытого участка дуговым разрядом в вакууме и по мере очистки бокс последовательно перемещают по поверхности крупногабаритного изделия. Устройство содержит вакуумную камеру, систему вакуумирования или наполнения вакуумной камеры защитным газом, электроды, размещенные внутри вакуумной камеры, электромагнитные катушки для перемещения дуг по очищаемой поверхности изделия, вакуумная камера выполнена в виде бокса с открытой частью с возможностью ее последовательной герметичной накладки на очищаемые участки крупногабаритного изделия и снабжена герметизирующим устройством по периметру открытой части бокса, механизмом или приспособлением для перемещения бокса по поверхности очищаемого крупногабаритного изделия по мере его очистки, при этом герметизирующее устройство выполнено в виде присоски или совокупности присосок, снабженных системой откачки воздуха из них. 2 н.п. ф-лы, 2 ил. |
2374046 выдан: опубликован: 27.11.2009 |
|
СПОСОБ ЗАЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ОТ РЖАВЧИНЫ
Способ может быть использован для удаления перед сваркой ржавчины, образовавшейся вследствие электрохимической коррозии. На обрабатываемую металлическую поверхность наносят термитный состав толщиной слоя 1,5-4,0 мм. Инициируют горение смеси, в результате экзотермической реакции восстановитель смеси взаимодействует со ржавчиной. В процессе восстановительно-окислительной реакции выделяется большое количество тепловой энергии, обеспечивающей сжигание, в том числе и органических соединений на свариваемых поверхностях. Поверхность детали восстанавливается до чистого железа. Способ обеспечивает снижение трудоемкости и ускорение процесса очистки. 1 табл. |
2361708 выдан: опубликован: 20.07.2009 |
|
СПОСОБ ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ
Изобретение относится к электродуговой обработке поверхности металлических изделий в вакууме и может быть использовано в черной и цветной металлургии, а также в машиностроительных отраслях производства. Способ включает размещение изделия в вакуумной камере, подачу на него отрицательного потенциала, установку электрода над поверхностью изделия, на который подают положительный потенциал, возбуждение между ними электрической дуги и перемещение изделия относительно электрода или электрода относительно изделия. В вакуумной камере создают давление в диапазоне 10-10-3 мм ртутного столба, устанавливают межэлектродное расстояние между электродом и ближайшей точкой поверхности изделия в пределах 2,0-70,0 мм, которое соответствует длине свободного пробега частиц плазмы дуги при упомянутом диапазоне давления в вакуумной камере, и поддерживают электрическую дугу и указанное межэлектродное расстояние в процессе всей обработки поверхности изделия. Изобретение позволяет снизить энергозатраты на обработку поверхности металлических изделий электродуговым способом, повысить качество обработки и производительность. |
2355520 выдан: опубликован: 20.05.2009 |
|
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОЛОСЫ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ
Изобретение относится к способу и устройству обработки поверхности металлической полосы и может найти применение в металлургическом производстве. Обработку металлической полосы производят электродуговыми разрядами на направляющих токоотводящих роликах, имеющих электромагнитную систему бегущих магнитных полей, с помощью которых управляют движением катодных пятен по поверхности металлической полосы. Для устранения отрицательного влияния собственных магнитных полей при токоотводе от катодных пятен токоотвод осуществляют непосредственно под катодным пятном с тыльной стороны металлической полосы в месте контакта металлической полосы с токоотводящим роликом. В месте контакта осуществляют интенсивное охлаждение металлической полосы токоотводящим роликом, снабженным системой охлаждения. В результате достигается снижение стоимости, увеличение производительности и снижение нежелательного нагрева металла. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил. |
2348742 выдан: опубликован: 10.03.2009 |
|
СПОСОБ ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ
Изобретение относится к области очистки металлических изделий, таких как катанка, проволока, полоса, поковки, отливки и других, в частности к способу электродуговой обработки поверхностей металлических изделий, и может найти применение в различных отраслях машиностроения. Перед обработкой дуговыми разрядами поверхность предварительно в процессе горячей обработки или в холодном состоянии покрывается тонким слоем щелочными, щелочно-земельными или редкоземельными металлами или их соединениями. Перед обработкой при атмосферном давлении обрабатываемая поверхность предварительно покрывается материалом, который газифицируется катодными пятнами дуги, создавая защитную или восстановительную среду над очищаемой поверхностью. В результате достигается существенное снижение стоимости обработки металлических изделий, увеличение производительности обработки и снижение нагрева металла обрабатываемого изделия. 1 з.п. ф-лы, 1 табл. |
2347010 выдан: опубликован: 20.02.2009 |
|
ЭКСТРАГЕНТ ДЛЯ ВЫДЕЛЕНИЯ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ ИЗ ВОДНЫХ РАСТВОРОВ
Изобретение относится к аналитической химии, а именно к экстракционным методам извлечения и концентрирования ионов металлов из водных растворов, и может быть использовано для их выделения в гибридных и комбинированных методах анализа. Изобретение основано на способности ионов металлов экстрагироваться в расслаивающейся системе вода - хлорид аммония - полиэтиленгликолевые эфиры моноэтаноламидов синтетических жирных кислот (синтамид-5) общей формулы C nH2n+1CONH(CH2 CH2O)mH (n=10-16; m=5-6) при следующем соотношении компонентов, мас.%: хлорид аммония - 2-25; синтамид-5 - 5-45; вода - до 100. Изобретение позволяет количественно выделять ионы таллия(III) и галлия из водных растворов и при этом избежать применения пожароопасных и токсичных веществ. 1 табл., 2 ил. |
2333028 выдан: опубликован: 10.09.2008 |
|
СПОСОБ ЭЛЕКТРОПОЛИРОВКИ МЕТАЛЛОВ В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ
Использование: сглаживание поверхности металлических деталей вакуумных и высоковольтных устройств. Сущность изобретения: способ электрополировки металлов в газовой среде предусматривает помещение обрабатываемой детали в вакуумную камеру и создание высокой напряженности электрического поля у ее обрабатываемой поверхности. При этом в вакуумную камеру вводят дополнительное вещество-посредник, в частности воду, облегчающее удаление атомов, выступающих над поверхностью. Ведут процесс полировки, поддерживая напряженность электрического поля у обрабатываемой поверхности на уровне 10 8-5·109 В/м, т.е. меньше, чем требуется для полевого испарения материала. Техническим результатом изобретения является возможность снижения на порядок величины электрического напряжения, необходимого для получения атомарно-гладкой поверхности. 1 ил.
|
2252273 выдан: опубликован: 20.05.2005 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДУГОВОГО РАЗРЯДА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Изобретения относятся к области обработки металлических изделий дуговым разрядом и могут найти применение в металлургии и различных отраслях машиностроения. Электрод располагают около изделия с образованием между ними замкнутого разрядного промежутка, осуществляют наложение на него тороидального магнитного поля и поджиг разряда между изделием и электродом. На всем протяжении межэлектродного пространства внутри тороидального магнитного поля возбуждают дополнительное магнитное поле, перпендикулярное обрабатываемой поверхности изделия и непрерывно движущееся в направлении движения разряда. Ток дуги повышают до равномерного рассредоточения элементарных разрядов по всей длине электрода и охватываемой электродом поверхности изделия. Электрод выполнен немагнитным. Вне и внутри тороидального магнитного поля размещены электромагниты, магнитные поля которых ориентированы перпендикулярно электроду и поверхности изделия и равномерно распределены вдоль электрода. Электромагниты запитаны переменным трехфазным током, а магнитные сердечники соединены с общим внешним магнитопроводом. Достигается равномерность обработки и повышается класс чистоты поверхности обработанных изделий за счет рассредоточения элементарных разрядов по всей длине дорожки электродных пятен. 2 с.п.ф-лы, 6 ил. | 2195517 выдан: опубликован: 27.12.2002 |
|
СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ Изобретение относится к очистке поверхности металлических изделий. Способ включает воздействие на поверхность дуговым разрядом в импульсно-частотном режиме при пониженном давлении, при этом предварительно возбуждают маломощные дуговые разряды постоянного тока между дополнительными электродами и очищаемым изделием, на которые далее воздействуют основным импульсно-частотным разрядом, возбуждаемым в ионизированных межэлектродных промежутках маломощных дуговых разрядов, причем энергия основного разряда составляет 0,50-0,60 Дж при давлении 105-10-4 Па, а частота - 1-1000 Гц. Изобретение направлено на повышение эффективности импульсного режима очистки поверхности металлических изделий. 1 ил. | 2170283 выдан: опубликован: 10.07.2001 |
|
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ Изобретение может быть использовано в авиационном и энергетическом турбиностроении для ионного травления с целью контроля макроструктуры, прецизионного удаления поверхностных слоев или повышения служебных характеристик материалов. Способ включает предварительную очистку поверхности, размещение в зоне обработки изделия и токопроводящего материала, создание вакуума в зоне обработки изделия, подачу отрицательного потенциала на изделие и отдельно на токопроводящий материал, возбуждение на токопроводящем материале вакуумной дуги, горящей в парах этого материала с образованием плазмы, обработку поверхности методом ионного травления путем подбора тока вакуумной дуги токопроводящего материала и отрицательного потенциала на изделии более 300 В таким образом, чтобы обеспечить температуру поверхности изделия, не превышающую температуру начала разупрочнения материала изделия или начала термической диффузии элементов плазмы токопроводящего материала в поверхность материала изделия. Изобретение направлено на повышение скорости травления и исключение изменения свойств материала изделия из-за накопления в поверхностном слое ионов токопроводящего материала. 2 з. п. ф-лы, 1 табл. | 2165474 выдан: опубликован: 20.04.2001 |
|
СПОСОБ ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ Изобретение относится к металлообработке, а точнее к электродуговой обработке деталей и заготовок различной формы и размеров для удаления с их поверхности окисной пленки различного вида, окалины и загрязнений. При электродуговой обработке поверхности металлических изделий в вакууме инициируют устойчивый дуговой разряд между анодом и поверхностью изделия, действующего в качестве катода, и перемещают дуговой разряд и обрабатываемое изделие относительно друг друга, к упомянутым электродам прикладывают от источника питания импульсную составляющую с заданными параметрами и/или в цепи рабочего тока дуги формируют квазианод. Установка содержит вакуумную камеру, устройство для создания вакуума, узел анода, узел катода, устройство для перемещения изделия и анода относительно друг друга, источник питания для образования и поддержания дуги, отрицательный выход которого электрически связан через узел катода с обрабатываемым изделием, содержащий преобразователь электрического напряжения и задатчик параметров выходного тока, обеспечивающие подачу на электроды анода и катода установки импульсной составляющей с заданными параметрами напряжения и тока, и/или упомянутый узел анода содержит два электрода, расстояние между которыми устанавливают в зависимости от габаритов и поперечного сечения обрабатываемого изделия. Данное изобретение позволяет повысить качество и производительность очистки поверхности металлических изделий различной конфигурации. 2 с. и 1 з.п. ф-лы, 4 ил. | 2145645 выдан: опубликован: 20.02.2000 |
|
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Изобретение может относиться к области очистки и обработки деталей в вакууме на различных этапах технологического процесса. Способ включает возбуждение разряда, обработку поверхности катодными пятнами дуги и перемещение их вдоль участка обработки, при этом исходное изделие сложной формы вводят в зону обработки и выводят из зоны обработки с помощью механизма перемещения, над обрабатываемой поверхностью изделия формируют магнитное поле различной конфигурации, воздействуют им на другой разряд, перемещают отрицательный электрод по обрабатываемой поверхности, а положительный электрод - над обрабатываемой поверхностью, изменяют точки подключения отрицательного потенциала к обрабатываемой поверхности, причем перемещение катодной области дуги осуществляют посредством изменения во времени и пространстве электрического и магнитного полей, а также посредством перемещения электродов относительно обрабатываемого изделия. Устройство содержит оператор, механизм ввода движения из атмосферы в вакуум, дополнительный электрод, систему вакуумирования, бокс для обработки изделия сложной формы, источник питания электрической дуги, источник питания электромагнитных катушек, сменные электромагнитные катушки, сменные дополнительные основные электроды, блок положительного электрода, манипулятор и ЭВМ. Изобретение позволяет повысить качество и производительность обработки. 2 с.п.ф-лы, 3 ил. | 2145643 выдан: опубликован: 20.02.2000 |
|
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к области очистки и обработки деталей в вакууме, в частности для удаления с поверхности окалины, окисных пленок, технологических загрязнений и дефектов отливок, упрочнения или отпуска приповерхностного слоя обрабатываемой детали, удаления заусениц и т.д. Способ включает возбуждение разряда и обработку поверхности катодными пятнами дуги, при этом обработке подвергают горячую заготовку перед ковкой, прокатом или другими технологическими операциями, возбуждение дугового разряда проводят в режиме возрастающего участка вольт-амперной характеристики, в качестве анода используют графит, накладывают на электрическую дугу внешнее магнитное поле так, чтобы его вектор был примерно параллельным вектору электрического поля дуги, а вектор градиента магнитной индукции был примерно параллельным обрабатываемой поверхности, перемещение катодных пятен осуществляют изменением величины и направления вектора градиента магнитной индукции, а изменяя величину разрядного тока дуги регулируют интенсивность обработки поверхности вплоть до оплавления дефектов литья горячей заготовки. Способ позволяет повысить качество обрабатываемой поверхности. 5 ил. | 2144096 выдан: опубликован: 10.01.2000 |
|
УСТАНОВКА ДЛЯ ОБРАБОТКИ ЛЕНТ И ФОЛЬГИ Изобретение может быть использовано для очистки поверхности от технологической смазки, стерилизации от находящихся на поверхности микроорганизмов и нанесения ионно-плазменных декоративных или технологических покрытий. Установка, содержащая расположенные по ходу технологического процесса разматыватель, неподвижные и подвижные натяжные ролики и наматыватель, дополнительно снабжена вакуумной камерой, состоящей из корпуса и крышки, источниками ионов, электронов или плазмы, источниками напряжения, механизмом протяжки, системой вакуумирования, системой подачи газа и пультом управления, причем расположенные по ходу технологического процесса разматыватель, неподвижные и подвижные натяжные ролики и наматыватель размещены в вакуумной камере с возможностью перемотки ленты и фольги в потоках заряженных частиц или плазмы источников заряженных частиц или плазменных источников, источники ионов, электронов или плазмы, корпус и крышка вакуумной камеры подключены к источникам электрического напряжения. Изобретение направлено на повышение производительности, экономичности и качества обработки поверхности. 2 ил. | 2142519 выдан: опубликован: 10.12.1999 |
|
СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Изобретение относится к технологии тонких пленок и может быть использовано при создании элементов рентгеновской и нейтронной оптики. Способ включает воздействие на поверхность плазмы инертных и химически активных газов, обеспечивающих травление поверхностного слоя с одновременной полировкой поверхности, при этом травлению подвергают поверхность не самого материала, а пленку того же или иного материала, предварительно нанесенную на него из газовой фазы испарением или распылением мишени. Устройство содержит держатель образца и систему формирования плазмы, размещенные в вакуумной камере, причем держатель образца выполнен произвольной формы с возможностью подачи на него переменного напряжения и дополнительного постоянного смещения и возможностью размещения его в постоянном или переменном магнитном поле. Изобретение позволяет уменьшить шероховатость поверхности за счет проведения ионно-плазменной полировки. 2 с. и 3 з.п. ф-лы, 4 ил. | 2141005 выдан: опубликован: 10.11.1999 |
|
УСТРОЙСТВО ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛА ОТ ОКСИДНОЙ ПЛЕНКИ Изобретение относится к области лазерной технологии и может быть использовано при восстановлении чистоты поверхности материалов за счет удаления коррозии, масляных пленок и пр., а также при дезактивации радиационно-загрязненных материалов за счет испарения поверхностной оксидной пленки, концентрирующей основную массу нуклидов. Технический результат достигается за счет того, что в устройство очистки поверхности материала дополнительно введен спектральный датчик определения относительного содержания окиси металла в плазменном факеле на обрабатываемой поверхности, причем выход датчика электрически связан с механизмом перемещения материала и высоковольтным входом электрооптического модулятора добротности, а оптическое устройство фокусировки излучения выполнено в виде последовательно расположенных соосно с лазерным излучением вогнутого сферического зеркала с центральным отверстием, диаметр которого больше апертуры излучения лазера, и отражающего конуса с вершиной обращенной к отверстию вогнутого зеркала. 1 ил. | 2112078 выдан: опубликован: 27.05.1998 |
|
СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ С ИЗДЕЛИЯ Изобретение относится к удалению материалов, нанесенных на подложку, в частности к удалению истираемых, износостойких, теплоизоляционных покрытий, полученных спеканием порошка или плазменным распылением, при использовании разрушающего действия струи жидкости. Способ удаления покрытия с изделия, представляющего собой подложку с нанесенным на нее связующим слоем, а поверх него поверхностным слоем путем воздействия на покрытие перемещаемого изделия струи жидкости, вытекающей из сопла под давлением не менее 1406,2 кг/см2. В качестве жидкости используют воду или жидкость на основе воды, имеющую вязкость от 0,25 до 5,0 сП при температуре от 25oC и давлении от 1 атм. Струю жидкости направляют на поверхность изделия под углом от 20 до 90o. Жидкость подают под давлением от 1406,2 до 4218,6 кг/см2. С изделия удаляют только поверхностный слой, не затрагивая связующий слой. С изделия удаляют как поверхностный слой, так и связующий слой. 3 ил. | 2071507 выдан: опубликован: 10.01.1997 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНФИГУРАЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИХ СЛОЕВ Изобретение относится к способам получения конфигурации кремнийсодержащих слоев, преимущественно силицидов тугоплавких металлов и кобальта, и может быть использовано, в частности, при изготовлении полупроводниковых приборов, например токопроводящих систем интегральных схем и тонкопленочных резисторов с положительным ТКС для СВЧ-транзисторов, транзисторных сборок и гибридных схем. Способ получения конфигурации элементов слоев силицидов тугоплавких металлов и кобальта включает формирование фоторезистивной маски и травление открытых участков кремнийсодержащих слоев в реакторе в плазме газовой смеси CF4 + N2 + O2 при соотношении компонентов CF4:N2:O2 =(12-14): (4-6): 1, суммарном газовом потоке 8 - 10 л/ч, плотности мощности 1,6 - 1,8 Вт/см2 и давлении в рабочем объеме реактора 30 - 40 Па. | 2057204 выдан: опубликован: 27.03.1996 |
|
СПОСОБ УДАЛЕНИЯ СЛОЯ МЕТАЛЛА С НЕМЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКИ Использование: к электротехнической обработке металлов. Способ удаления слоя металла с неметаллической подложки, преимущественно медной фольги с текстолитовой подложки в ломе и отходах плат, включает воздействие, преодолевающее силу сцепления металла с неметаллической подложкой, и механическое отделение отслаивающего металла с подложки, причем неметаллическую подложку с металлическим слоем непрерывно поступательно перемещают, перемещающийся материал подвергают высокоскоростному нагреву со стороны металлического слоя до отслаивания последнего с подложки с последующим резким охлаждением перед механическим отделением, причем нагрев металлического слоя могут осуществлять со скоростью 5000 - 50000°С, а охлаждение путем закалки водой, причем в течение времени, достаточного для начала интенсивного испарения неметаллической подложки. 2 з.п. ф-лы. | 2031977 выдан: опубликован: 27.03.1995 |