Гальванопластика: .формы, маски, шаблоны – C25D 1/10

Изобретение относится к области изготовления микромеханических деталей гальванопластикой, в частности изготовлению деталей, обеспечивающих движение в часовых механизмах. Способ включает изготовление формы путем обеспечения подложки, имеющей верхний слой и нижний слой, которые изготавливают из электропроводящего материала на основе кремния и скрепляют друг с другом через электроизолирующий промежуточный слой, травление в верхнем слое до промежуточного слоя по меньшей мере одного шаблона для образования в указанной форме по меньшей мере одной полости, нанесение на верхнюю часть указанной подложки электроизолирующего покрытия и направленное травление указанного покрытия и указанного промежуточного слоя для обеспечения их наличия исключительно на вертикальных стенках, образующихся в указанном верхнем слое. Затем осуществляют электролитическое осаждение присоединением электрода к проводящему слою на нижней поверхности подложки для получения детали в форме и извлекают из формы полученную деталь. Достигается требуемая точность производства при обеспечении возможности изготовления деталей, имеющих несколько уровней и/или обладающих высоким коэффициентом гибкости. 3 н. и 15 з.п. ф-лы, 19 ил.

Изобретение относится к способу изготовлению формы для изготовления микромеханических деталей с помощью гальванопластики. Способ включает осаждение токопроводящего слоя на верхней (20) и нижней (22) поверхностях подложки (21), изготовленной из материала на основе кремния, прикрепление указанной пластины к подложке (23) с помощью липкого слоя, удаление одной части (26) проводящего слоя с верхней поверхности пластины (21), травление пластины до удаления проводящего слоя (22) на ее нижней поверхности в форме (26) части, удаленной с проводящего слоя (22) на ее верхней поверхности для получения в форме по меньшей мере одной полости (25). Предложенный способ позволяет обеспечить высокую точность изготовления микромеханических деталей, имеющих несколько уровней и/или обладающих высоким коэффициентом гибкости. 3 н и 16 з.п. ф-лы, 13 ил.

Изобретение относится к гальванопластике, в частности к электропроводящим термопластичным материалам для изготовления электропроводящих форм. Описан электропроводящий термопластичный материал для гальванопластики, содержащий связующие и электропроводящий наполнитель, где в качестве связующего содержит смесь полиэтиленового воска и парафина в соотношении от 2/1 до 1/3, а в качестве электропроводящего наполнителя графит при следующем соотношении компонентов, мас.ч.: полиэтиленовый воск 10-20, парафин 10-30, графит 60-70. Предлагаемый материал дает возможность осуществления свободной заливки оригинала изделия электропроводящим материалом в процессе изготовления формы при низкой температуре (50-100°C) и упростить технологию изготовления форм. 1 табл., 1 пр.

Изобретение относится к области гальванотехники и направлено на формирование электропроводящего подслоя на диэлектрических моделях и формах для электрохимического осаждения металлов. Композиция содержит, мас.ч.: смолу БМК-5 марки А 1-5, неокисленный медьсодержащий сплав 10-60, углеводородно-сложноэфирный композит, выбранный из растворителей 646 и 648, 10-20, смолу эпоксидную диановую, выбранную из ЭД-20 и ЭД-22, 2-7, полиэтиленполиамин 1-2, углерод технический мелкодисперсный ПМЭ-80 2-6 и органический растворитель - остальное. Технический результат: создание композиции с постоянной удельной электропроводностью, низким удельным сопротивлением, необходимой вязкостью и улучшенной адгезией к диэлектрической поверхности, обеспечивающих равномерность, необходимую толщину покрытия на вертикальных поверхностях и удержание на них благодаря повышенной тиксотропности. 2 табл., 4 пр.

Изобретение относится к области гальванопластики и может быть использовано в микроэлектронике при изготовлении магнитных и немагнитных масок для напыления тонких слоев органики, металлов и диэлектриков органических светоизлучающих диодов. Способ включает изготовление на электроизолирующем основании с токопроводящим слоем фотолитографическим методом матрицы с отверстиями с расчетным предыскажением, наращивание гальванопластическим методом изделия, отделение изделия от матрицы, при этом при изготовлении матрицы отверстия, наибольший поперечный размер которых больше или равен 100-кратной величине расчетных предыскажений изделия, выполняют со вставками, контур которых подобен контуру отверстия, прикрепленными к краям отверстия матрицы перемычками с равномерным зазором по периметру отверстия матрицы, равным 3-4 величинам расчетных предыскажений, а при наращивании на матрице изделия отверстия в изделии выполняют с металлическими вставками, прикрепленными к краям отверстия изделия металлическими перемычками с равномерным зазором по периметру отверстия изделия, при этом после окончания наращивания изделия и отделения его от матрицы вставки с перемычками из отверстий изделия удаляют. Техническим результатом изобретения является уменьшение размеров предыскажений для отверстий изделий с большим периметром и повышение точности изготовления металлических тонкостенных изделий. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области нанотехнологии для микроэлектроники. Способ заключается в том, что для каждого вида или типа повторяющегося элемента методом фокусированного ионного зонда изготавливают одну реплику в проводящем материале, на каждую реплику электрохимически наносят адгезивный слой, затем методом гальванопластики - слой металла толщиной 50-100 мкм для образования отдельной пресс-формы и отделяют ее от реплики, затем повторением операций с этой же реплики получают остальные отдельные пресс-формы этого вида или типа повторяющегося элемента, а для каждого неповторяющегося элемента методом фокусированного ионного зонда изготавливают одну реплику, с которой повторением операций для получения пресс-форм повторяющихся элементов получают единичную пресс-форму для неповторяющегося элемента, а мастер-пресс-форму образуют точным позиционированием на общей подложке. Способ заключающийся в том, что для каждого вида или типа повторяющегося элемента и для каждого неповторяющегося элемента методом фокусированного ионного зонда изготавливают одну реплику в проводящем материале, на каждую реплику электрохимически наносят адгезивный слой, затем слой металла толщиной 50-100 мкм для образования отдельного элемента, закрепляют его в пресс-манипуляторе и отделяют от реплики, а мастер-пресс-форму образуют перемещением подложки для точного позиционирования ее относительно пресс-формы, закрепленной в пресс-манипуляторе, при осуществлении контактной пресс-литографии в необходимых позициях число раз, равное числу повторяющихся элементов, и по одному разу для неповторяющихся элементов. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к литейному производству и может быть использовано при изготовлении литейных форм преимущественно для многократной отливки мелкоразмерных изделий со сложным рельефом поверхности. Способ включает предварительное изготовление разделительного слоя, воспроизводящего конфигурацию отливаемого изделия, на который наносят покрытие, при этом разделительный слой наносят непосредственно на поверхность модели изделия, а покрытие наносят в виде N 2 раз перемежающихся между собой пластичного металлического слоя и жаропрочного слоя из композиционного сплава с постоянным температурным коэффициентом линейного расширения, а на поверхность N-го жаропрочного слоя наносят герметизирующий металлический слой, причем после отделения литейной формы от модели изделия внутреннюю поверхность литейной формы оксидируют. Техническим результатом является повышение надежности ЛФ, качества отливки изделий и расширение области использования. 5 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области гальванопластики, в частности к электролитической формовке сложнопрофилированных деталей с переменной толщиной стенки. Способ включает электролитическое осаждение металла переменной толщины на поверхность катода, выполненного в виде формы, погруженной в электролит, посредством размещения в электролите экранирующих устройств и дополнительного катода вдоль вершины радиусного сопряжения формы на расстоянии, прямо пропорциональном наибольшей толщине электролитического осаждения металла на вершине радиусного сопряжения, при этом другая часть потоков направлена по каналам переменного сечения и рассеивается по формообразующей поверхности катода с уменьшением толщины формования стенки детали по мере уменьшения поперечного сечения каналов. Устройство содержит электролизную ванну, по меньшей мере, один анод, закрепленную на подвеске форму и экранирующие устройства, расположенные на расстоянии от боковых поверхностей формы и образующие каналы переменного сечения, а также дополнительный катод, размещенный вдоль вершины радиусного сопряжения рабочих поверхностей формы на расстоянии, прямо пропорциональном наибольшей толщине осаждения металла на радиусе сопряжения. Технический результат: исключение образования на вершине радиусного сопряжения дендритов и наростов при электролитическом осаждении частиц металла переменной толщины на рабочие поверхности формы с радиусом сопряжения внутренних поверхностей стенок менее 0,8 мм. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к области гальванопластики, в частности к электролитическому формообразованию сложнопрофилированных деталей с переменной толщиной стенки. Способ включает электролитическое осаждение металла переменной толщины на рабочую поверхность катода, выполненного в виде формы, погруженной в электролит, при заданных режимах электролиза посредством установки между анодом и катодом экранирующих устройств, при этом интенсивность потоков ионов электрического поля, направленных на радиусное сопряжение поверхностей формы, ограничивается посредством размещения в электролите напротив радиусного сопряжения дополнительного экранирующего устройства шириной, обратно пропорциональной кривизне сопряжения, на расстоянии, прямо пропорциональном толщине электролитического осаждения металла, оставшаяся часть потоков рассеивается по формообразующей поверхности катода по мере уменьшения толщины формования стенки детали. Устройство содержит электролизную ванну, по меньшей мере, один анод, закрепленную на подвеске форму и экранирующие устройства, расположенные на расстоянии от боковых поверхностей формы и образующие каналы переменного сечения, а также в электролизной ванне дополнительно установлено экранирующее устройство, закрепленное на подвеске вдоль радиусного сопряжения поверхностей формы, шириной, обратно пропорциональной кривизне сопряжения, на расстоянии, прямо пропорциональном толщине формования стенки, образующее с другими экранирующими устройствами каналы потока ионов электрического поля с поверхности анода в направлении радиусного сопряжения формообразующей поверхности формы. Технический результат: высокая точность и качество формообразования переменной толщины стенки деталей сложного профиля. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 4 ил.