Измерение ускорения и замедления, измерение импульсов ускорения: ...путем изменения электрического сопротивления – G01P 15/12
Патенты в данной категории
| МНОГОБАЛОЧНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР - АНАЛИЗАТОР СПЕКТРА МЕХАНИЧЕСКИХ КОЛЕБАНИЙ НА ОСНОВЕ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
Изобретение относится к полупроводниковым приборам для преобразования механических воздействий в электрический сигнал, измерение которого позволяет определить ускорение или силу воздействий. Акселерометр содержит несколько подвижных инерционных масс, концентраторов разной длины или ширины, перемычек между инерционными массами или концентраторами с различным положением, расположенных идентично относительно основной измерительной оси. Чувствительность повышается за счет измерения на резонансной частоте каждой из резонансных структур. Режим резонанса обеспечивает получение максимальной чувствительности. Измерительная схема настроена на резонансную частоту каждой данной инерционной массы, что обеспечивает получение спектральной характеристики воздействующих механических колебаний. 2 з.п. ф-лы, 6 ил. |
2387999 патент выдан: опубликован: 27.04.2010 |
|
| ТЕНЗОАКСЕЛЕРОМЕТР
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к акселерометрам. Тензоакселерометр включает в себя корпус, упругий чувствительный элемент (ЧЭ), работающий на изгиб, груз и измерительную мостовую схему. При этом груз выполнен несимметричным относительно плоскости ЧЭ так, что центр инерции груза, лежащий на центральной вертикальной оси симметрии ЧЭ, смещен относительно плоскости ЧЭ на расстояние Н=(0,05 |
2382369 патент выдан: опубликован: 20.02.2010 |
|
| ДВУХБАЛОЧНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР
Изобретение относится к полупроводниковым приборам для преобразования механических воздействий в электрический сигнал, измерение которого позволяет определить ускорение или силу ударов. Интегральный кремниевый тензоакселерометр содержит две инерционные массы, расположенные идентично относительно направления движения с ускорением и идентично расположенные одинаково направленные пары тензорезисторов на двух концентраторах, соединяющих массы с неподвижной частью. Показатель качества повышается за счет двух факторов. Во-первых, повышается чувствительность тензорезисторов при использовании кремниевых пластин с ориентацией в плоскости (110) и направлением оси резисторов в кристаллографическом направлении (111) с наибольшой чувствительностью. Во-вторых, за счет повышения собственной частоты колебаний маятникового подвеса введением упругой связи между двумя инерционными массами. Начальный разбаланс исключается за счет идентичности расположения тензорезисторов на концентраторах. 4 ил. |
2324192 патент выдан: опубликован: 10.05.2008 |
|
| АКСЕЛЕРОМЕТР Использование: в контрольно-измерительной технике, в акселерометрах с жидкостным демпфированием. Сущность изобретения: акселерометр содержит корпус, упругий чувствительный элемент, инерционную массу, при этом корпус снабжен компенсирующим элементом, образующим терморегулируемый зазор между сопряженными поверхностями компенсирующего элемента и инерционной массой, заполненный демпфирующей жидкостью, удерживаемой в нем силами поверхностного натяжения. Компенсирующий элемент выполнен в виде монолитной подставки или в виде изогнутой пластины с закрепленными на корпусе концами из материала с температурным коэффициентом линейного расширения большим, чем у материала корпуса, и установлен под инерционной массой. 3 з.п. ф-лы, 3 ил. | 2091797 патент выдан: опубликован: 27.09.1997 |
|
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ КРЕМНИЕВЫЙ ТЕНЗОАКСЕЛЕРОМЕТР 1. Интегральный кремниевый тензоакселерометр, содержащий выполненные из единой монокристаллической кремниевой подложки с рабочими поверхностями в одной плоскости основание, закрепленное в корпусе, инерционную массу и соединяющий их концентратор механических напряжений, толщина которого меньше толщины основания, на рабочей поверхности концентратора механических напряжений в монокристалле расположены диффузионные тензорезисторы, соединенные металлизацией в мостовую измерительную схему, узлы которой выведены на расположенные на основании контактные площадки, отличающийся тем, что на кремниевой инерционной массе размещен дополнительный груз, масса которого больше кремниевой инерционной массы, при этом общий центр тяжести кремниевой инерционной массы и дополнительного груза равноудален от плоскостей рабочей и противоположной ей нерабочей поверхностей концентратора. 2. Тензоакселерометр по п.1, отличающийся тем, что дополнительный груз выполнен из материала, температурный коэффициент расширения которого отличается от температурного коэффициента расширения кремния не более чем в 3 раза. 3. Тензоакселерометр по п.1, отличающийся тем, что дополнительный груз соединен с инерционной массой со стороны нерабочей поверхности подложки. | 2072728 патент выдан: опубликован: 27.01.1997 |
|
| ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ АКСЕЛЕРОМЕТРА 1. Чувствительный элемент акселерометра, содержащий пластину с центральной внутренней рамкой и периферийной внешней рамкой, которые соединены между собой расположенными симметрично относительно продольной оси пластины двумя составляющими пару упругими перемычками, осями изгиба которых образована ось подвеса, перпендикулярная продольной оси пластины и продольным осям упругих перемычек, причем в каждой упругой перемычке выполнены две изгибные поверхности, параллельные основным поверхностям пластины, отличающийся тем, что дополнительно образованы соединяющие внешнюю и внутреннюю рамки или одна упругая перемычка, расположенная в области продольной оси пластины, продольная ось которой совпадает с продольной осью пластины, и n пар (n = 1, 2,...) упругих перемычек или n пар упругих перемычек, в которых перемычки каждой пары расположены симметрично относительно продольной оси пластины, одни из изгибных поверхностей по крайней мере одной пары упругих перемычек совмещены с одной основной поверхностью пластины, одни из изгибных поверхностей других упругих перемычек совмещены с другой основной поверхностью пластины, а другие изгибные поверхностим упругих перемычек расположены в пределах толщины пластины. 2. Элемент по п.1, отличающийся тем, что находящиеся в пределах толщины пластины изгибные поверхности упругих перемычек расположены в продольной плоскости симметрии пластины, проходящей через ось подвеса и продольную ось пластины. 3. Элемент по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что он выполнен единым элементом из монокристаллического кремния методом анизотропного травления. | 2069050 патент выдан: опубликован: 10.11.1996 |
|
| ДАТЧИК УСКОРЕНИЯ Использование: изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерениям ускорений. Сущность изобретения: в датчике, содержащем корпус, выполненный из неэлектропроводящего материала, чувствительный элемент установлен таким образом, что его ось коллинеарна вектору ускорения. Упругая резиноподобная среда заполняет всю внутреннюю часть корпуса и фиксирует чувствительный элемент в требуемом положении (упругая среда одновременно является и инерционной массой). Деформация резиноподобной среды ограничена в боковом направлении. 6 з.п. ф-лы, 10 ил. | 2014619 патент выдан: опубликован: 15.06.1994 |
|
0,5)L, где L - поперечный размер всей области меньшей жесткости ЧЭ. В ЧЭ дополнительно сформированы мостовые схемы из дополнительных тензорезисторов, которые, как и тензорезисторы основной схемы, расположены на плоской стороне ЧЭ в области его меньшей жесткости у границ с его жесткими областями, ориентированы и подключены в схемы таким образом, что выходной сигнал каждой схемы зависит лишь от одной составляющей ускорения (которую измеряет данная схема) и не зависит от остальных составляющих; расстояние между краями жестких центральной и периферийной областей, расположенными с одной стороны относительно центра ЧЭ, составляет (0,1