Измерение ускорения и замедления, измерение импульсов ускорения: ...с использованием контактов, которые приводятся в действие подвижной инерционной массой – G01P 15/135

Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности и технологичности. Сущность изобретения: в интегральный микромеханический акселерометр на основе туннельного эффекта, содержащий подложку, неподвижный электрод, инерционную массу, расположенную с зазором относительно неподвижного электрода, подвижный электрод, расположенный на инерционной массе и образующий с неподвижным электродом туннельный контакт, используемый в качестве преобразователя перемещений, упругую балку, которая одним концом жестко соединена с инерционной массой, а другим - жестко закреплена относительно подложки, введены первая область изолирующего диэлектрика, расположенная под подвижным электродом и отделяющая его от подложки, вторая область изолирующего диэлектрика, расположенная под неподвижным электродом и отделяющая его от подложки, третья область изолирующего диэлектрика, расположенная над неподвижным электродом, металлический нагревательный элемент, расположенный над третьей областью изолирующего диэлектрика. 4 ил.