Устройства сканирования или позиционирования, т.е. устройства для активного управления движением или положением зонда: .тонкое сканирование или позиционирование – G01Q 10/04

Изобретение относится к устройствам точного позиционирования образца в сверхвысоком вакууме при помощи пьезоэлектрических двигателей и системы емкостных датчиков в установках с фокусированным ионным или электронным пучком, в которых формируются наноэлементы. Позиционирование образца относительно ионной пушки происходит не только с помощью грубых ультразвуковых двигателей, но и с помощью перемещения дополнительно установленной платформы с пьезодвигателями в систему позиционирования образца, положение которой отслеживается точными емкостными датчиками. Происходит компенсация термического дрейфа координатной системы позиционирования и нелинейности движения пьезодвигателей с помощью обработки сигналов с емкостных датчиков в системе позиционирования и обратной связи с пьезодвигателями. Ведется слежение и компенсация отклонения ионной пушки в результате термического перекоса вакуумной камеры с помощью дополнительных перемещений пьезоэлектрических двигателей в результате обработки сигналов с емкостных датчиков, следящих за положением фланца, к которому прикреплена ионная пушка, относительно основы системы позиционирования, закрепленной к нижнему фланцу камеры. Осуществляется контроль положения системы позиционирования, находящейся в камере сверхвысокого вакуума, с помощью интерферометрической системы, находящейся вне камеры, через смотровое окно. Технический результат - увеличение точности получения требуемых теоретически рассчитанных элементов наноэлектроники с хорошей воспроизводимостью. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.