Техника сканирующего зонда или устройства; различные применения техники сканирующего зонда, например микроскопия сканирующего зонда (SPM) – G01Q

Сканирующий зондовый микроскоп включает в себя первый и второй зонды для сканирования образца при поддержании расстояния до поверхности образца, кварцевые резонаторы, удерживающие каждый из первого и второго зондов, и модулирующий генератор для обеспечения вибрации определенной частоты первого зонда, которая отличается от резонансной частоты каждого кварцевого резонатора. Блок управления контролирует вибрацию определенной частоты первого и второго зондов, выявляет близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании изменения определенных частот и регулирует привод первого и второго зондов. Технический результат - предотвращение столкновений первого и второго зондов при их перемещении. 4 н. и 11 з.п. ф-лы, 45 ил.

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства и измерения новых изделий наноэлектроники. Нанотехнологический комплекс включает робот-раздатчик с возможностью осевого вращения, сопряженный с камерой загрузки образцов и модулем локального воздействия, а также измерительный модуль, включающий сканирующий зондовый микроскоп, аналитическую камеру, монохроматор и источник рентгена. Измерительный модуль и аналитическая камера сопряжены с роботом-раздатчиком, монохроматор сопряжен с аналитической камерой, а источник рентгена - с монохроматором. Модуль локального воздействия содержит модуль фокусированных ионных пучков и первый растровый электронный микроскоп. Технический результат - расширение функциональных возможностей нанотехнологического комплекса. 5 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к методам металлографического анализа образцов стали и определения трехмерной топографии поверхности и ее структуры при помощи сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ). Согласно способу проводится шлифовка, полировка и либо химическое, либо электрохимическое травление образца стали, а затем сканирование поверхности образца с помощью СЗМ. В качестве СЗМ могут использоваться атомно-силовые сканирующие (АСМ), а также сканирующие туннельные (СТМ) и оптические ближнепольные сканирующие (СБОМ), совмещенные с АСМ. По результатам сканирования для металлографического заключения производится идентификация и классификация структурных элементов образца в зависимости от их формы и глубины, которые связаны со скоростью травления этих структурных элементов, определяемой их строением. Технический результат - повышение разрешающей способности, точности и информативности металлографического анализа. 15 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к исследованиям материалов с помощью атомно-силового микроскопа и может быть использовано при исследовании различных материалов в деформированных состояниях. Устройство представляет собой встроенный в микроскоп механизм, двигающий зажимы с закрепленным образцом в противоположные стороны и содержащий общее металлическое основание, закрепленное на каретке держателя образца микроскопа, на котором с двух сторон закреплены две параллельные направляющие, по которым, при вращении ручки винта, двигаются подвижные зажимы. Подвод и отвод сканирующего зонда происходит автоматически с помощью позиционера микроскопа. Технический результат - упрощение исследования материалов, обеспечение сохранности зондов. 2 ил.

Изобретение относится к области калибровки оптических цифровых и конфокальных микроскопов, растровых электронных микроскопов и сканирующих зондовых микроскопов при измерении микронных и нанометровых длин отрезков. Тестовый объект для калибровки микроскопов выполнен в виде канавочных структур, стенки которых имеют наклонный профиль, плоское основание и разную ширину на поверхности и на дне. Для всех элементов выдержан постоянный угол между боковой стенкой и плоскостью дна. Линейные размеры по крайней мере части элементов отличаются друг от друга в заданное количество раз, а линейные размеры наибольшего элемента могут быть измерены с высокой точностью на используемом при проведении измерений аттестованном измерительном оборудовании. Техническим результатом является независимость результата измерений от температуры среды и повышение точности измерений длин отрезков, характеризующих профиль элемента рельефа, в большом диапазоне длин. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Система (29) обнаружения динамического зонда предназначена для использования со сканирующим зондовым микроскопом такого типа, который включает в себя зонд (18), который перемещается периодически к поверхности образца и от поверхности образца. При сканировании поверхности образца интерферометр (88) формирует выходной сигнал высоты, указывающий разность хода между светом, отраженным от зонда (80a, 80b, 80c), и опорным лучом высоты. Устройство обработки сигнала отслеживает сигнал высоты и получает измерение для каждого цикла колебаний, которое указывает на высоту зонда. Система обнаружения может также включать в себя механизм обратной связи, который действует для поддержания среднего значения параметра обратной связи на заданном уровне. Технический результат - увеличение точности и скорости сбора данных изображения. 2 н.з. и 37 з. п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к области медицины, а именно к лабораторной диагностике, и может быть использовано для определения простат-специфического антигена (ПСА) в жидкой среде. Для этого жидкая среда взаимодействует с сенсором, выполненным в виде плоского гибкого кантилевера. При этом, по меньшей мере, одна из плоскостей кантилевера содержит диоксид кремния и способен отражать световое излучение. Одна из плоскостей покрыта бычьим сывороточным альбумином. Другая содержит два слоя, один из которых ковалентно связан с поверхностью кантилевера, а другой содержит химически связанные с предыдущим слоем молекулы антитела, специфически распознающего простат-специфический антиген. Далее определяют изменения изгиба кантилевера путем освещения поверхности кантилевера лучом света и измерения отклонения луча света, отраженного от поверхности кантилевера. При этом в качестве сенсора используют кантилевер, у которого слой, ковалентно связанный с поверхностью кантилевера, выполнен из 3-аминопропилсилатрана. Изобретение обеспечивает проведение качественного и количественного анализа жидких сред на содержание ПСА и повышает чувствительность определения ПСА до 0,1 нанограмм/миллилитр. 5 пр.

Устройство предназначено для проведения зондовых измерений на объектах, имеющих сложную форму, например на трубах в нефтяной и атомной отраслях промышленности. Сущность изобретения заключается в том, что в сканирующий зондовый микроскоп для исследования крупногабаритных объектов, включающий измерительную головку с пьезосканером и зондом, сопряженными с блоком анализа и управления, модуль сближения, три опорные стойки, установленные на измерительной головке, и привод измерительной головки, включенный в модуль сближения, дополнительно введена платформа, на которой установлен двухкоординатный стол, сопряженный с корпусом, установленным на нем с возможностью вращения, на котором установлен модуль сближения, в котором закреплена измерительная головка с пьезосканером и зондом. Измерительная головка содержит две пружинные опоры, а платформа - модули крепления к объекту. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства. 6 з. п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения состояния поверхности космического аппарата, а также других поверхностей в нанометровом диапазоне. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с космическим аппаратом, содержит измерительный блок, включающий зондовый модуль с, по меньшей мере, одним зондом, сканирующее устройство и блок сближения зондового модуля с, по меньшей мере, одной зоной измерения, а также блок управления, имеющий возможность взаимодействия с измерительным блоком. Измерительный блок расположен снаружи космического аппарата, включающего герметичный корпус, и сопряжен с ним посредством соединительного элемента. Зона измерения расположена на наружной поверхности герметичного корпуса. Технический результат изобретения заключается в расширении функциональных возможностей. 10 з. п. ф-лы, 10 ил.

Система обнаружения зонда (74) для использования со сканирующим зондовым микроскопом содержит систему обнаружения высоты (88) и систему обнаружения отклонения (28). Когда сканируется поверхность образца, свет, отраженный от зонда (16) микроскопа, разделяется на две составляющие. Первая составляющая (84) анализируется системой обнаружения отклонения (28) и используется в системе обратной связи, которая поддерживает среднее отклонение зонда по существу постоянным во время сканирования. Вторая составляющая (86) анализируется системой обнаружения высоты (88), от которой получается указание высоты зонда над фиксированной контрольной точкой и посредством этого изображение поверхности образца. Технический результат - повышение функциональности, улучшение качества изображения. 7 н.з. и 30 з.п. ф-лы, 7 ил.

Тестовая структура состоит из основания, содержащего приповерхностный слой. Приповерхностный слой имеет рельефную ячеистую структуру с плотной упаковкой. Соседние ячейки имеют общую стенку, а каждая ячейка является как минимум пятистенной. Стенки каждой ячейки расположены вертикально, а верхние кромки стенок ячеек имеют вогнутую форму. Тестовая структура содержит острия, имеющие радиус кривизны вершин нанометрового диапазона. Острия выполнены соединением в узловых местах трех верхних кромок стенок различных ячеек. Острия при вершинах выполнены из оксида титана. Приповерхностный слой основания выполнен из титана. Основание может быть выполнено из титана. Основание также может быть выполнено в виде подложки, на которой расположена пленка титана, содержащая приповерхностный слой основания. Технический результат - повышение воспроизводимости в определении радиуса кривизны острия иглы кантилевера. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Зонд для сканирующего зондового микроскопа включает размещенный на острие кантилевера зарядовый сенсор в виде одноэлектронного транзистора, выполненного в слое кремния, допированном примесью до состояния вырождения, структуры кремний-на-изоляторе (КНИ) на подложке. Транзистор имеет два подводящих электрода, размещенные под острым углом друг к другу в плоскости подложки, сходящиеся концы которых контактируют с проводящим островом транзистора и выполняют функции истока и стока, и средний электрод заостренной формы, размещенный в зоне схождения подводящих электродов, острие которого направлено в сторону проводящего острова с образованием емкостного зазора с последним, выполняющий функции затвора транзистора. Перемычки в зоне контакта концов подводящих электродов с островом транзистора выполнены резистивными с возможностью образования туннельного перехода, ребро подложки скошено, а остров транзистора, перемычки и примыкающие к скосу оконечные части подводящих и среднего электродов выступают за пределы слоя изолятора. Технический результат состоит в исключении паразитного шумового влияния подвижных зарядов, сосредоточенных в слое изолятора пластины КНИ, увеличение зарядовой чувствительности зондового устройства. 4 з.п. ф-лы, 6 ил.

Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп содержит: основание (1); блок сближения (3), мобильно установленный на основании (1); пьезосканер (4), расположенный на блоке предварительного сближения (3); держатель объекта (5), расположенный на пьезосканере (4); образец (6), содержащий зону измерений (М) и закрепленный с помощью держателя объекта (5) на пьезосканере (4); платформу (9), закрепленную на основании (1) напротив образца (6); анализатор, установленный на платформе (9) и содержащий первую измерительную головку (13), обращенную к образцу (6) и адаптированную для зондирования зоны измерений (М) образца (6). Также микроскоп содержит первую (10) и вторую (11) направляющие, закрепленные на платформе (9). Анализатор содержит вторую измерительную головку (16), обращенную к образцу (б) и адаптированную для зондирования зоны измерений (М) образца (6). Первая (13) и вторая (16) измерительные головки мобильно установлены соответственно на первой (10) и второй (11) направляющих. Технический результат - обеспечение возможности быстрой смены режимов измерения. 14 з.п. ф-лы, 14 ил.

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Способ подвода зонда к образцу для сканирующего зондового микроскопа, предполагающий выполнение этапов, в процессе которых происходит чередование режима работы двигателя подвода с полностью втянутым сканером и режима выдвижения сканера с неработающим двигателем подвода до тех пор, пока на одном из этапов выдвижения сканера острие зонда не окажется вблизи образца. При этом на этапах выдвижения сканера сканером управляет цепь обратной связи, рабочая точка цепи обратной связи на каждом этапе выдвижения сканера постепенно изменяется, начиная с величины входного сигнала цепи обратной связи в момент начала этого этапа, таким образом, чтобы обратная связь, выдвигая сканер, начиная с полностью втянутого состояния, отрабатывала эти изменения до тех пор, пока сканер не окажется полностью выдвинутым или острие зонда не окажется вблизи образца. При этом в качестве зонда используют силовой зондовый датчик с оптической системой регистрации, на протяжении процесса подвода происходит возбуждение колебаний консоли силового зондового датчика, и близость острия зонда к образцу определяется по резкому скачку сигнала фазы колебаний. Технический результат - уменьшение степени разрушительного воздействия на исследуемый образец, повышение точности измерений. 9 з.п. ф-лы, 7 ил.

Способ может быть использован для исследования, например, трубопроводов, работающих в экстремальных условиях атомных электростанций, нефте- и газоперерабатывающих заводов. Сущность изобретения заключается в том, что в способе подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом, включающем формирование измерительной поверхности механическим способом и первое исследование измерительной поверхности, дополнительно на крупногабаритном объекте формируют установочную область, на которою устанавливают сканирующий зондовый микроскоп. Технический результат - повышение точности измерений, расширение их функциональных возможностей. 7 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к нанотехнологии и сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к устройствам, позволяющим получать информацию о топографической структуре образца, локальной жесткости, трении, а также об оптических свойствах поверхности в режиме близкопольного оптического микроскопа. Сканирующий зондовый микроскоп включает платформу с блоком предварительного сближения, пьезосканер, на котором установлен кварцевый резонатор, расположенный с возможностью взаимодействия с зондом. Кварцевый резонатор содержит два плеча разной длины и расположен под углом, не равным 90° к поверхности образца, а зонд закреплен на длинном плече. Технический результат - повышение надежности устройства и долговечности зондов, расширение его функциональных возможностей. 9 ил.

Устройство относится к сканирующим зондовым микроскопам (СЗМ) и предназначено для одновременной работы зондового и оптического микроскопов с визуализацией данных на экране компьютера. Сущность изобретения заключается в том, что оптический микроскоп содержит базовый элемент с крышкой, на котором установлено оптоэлектронное устройство с объективом и матрицей ПЗС, сопряженное с трехкоординатным манипулятором, двухкоординатный манипулятор, сопряженный с осветителем, а также модуль фиксации базового элемента на платформе СЗМ. Технический результат - расширение функциональных возможностей СЗМ. 9 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области приборостроения, преимущественно к измерительной технике. Сущность изобретения заключается в способе изготовления коллоидного зондового датчика, в котором используется атомно-силовой микроскоп (АСМ), и его собственном работоспособном зондовом датчике. Сначала с помощью АСМ производят визуализацию коллоидных частиц, предварительно осажденных на гладкую подложку, и по принципу минимального числа соседей выбирают среди них кандидата для закрепления. Затем с помощью АСМ производят закрепление частицы на кончике иглы зондового датчика. Завершают операции оперативным подтверждением с помощью АСМ, что выбранная частица закреплена. Технический результат - повышение воспроизводимости и надежности изготовления коллоидного зондового датчика, в особенности когда используются коллоидные частицы субмикронных размеров. 12 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано в измерительных акустических системах. Технический результат - повышение надежности. Для достижения данного результата устройство подачи звука для атомно-силового микроскопа с акустическим возбуждением образца содержит излучатель звука (1), в частности ультразвуковую испытательную головку, и выполнено с возможностью подачи сформированных с использованием излучателя звука звуковых волн в тело образца (Р) для его акустического возбуждения. При этом устройство подачи звука имеет резервуар (3) для жидкости, внутреннее пространство (I) которого предназначено для заполнения и/или заполнено жидкостью (2), нижняя сторона (U) тела образца может располагаться и/или расположена с возможностью поперечного перемещения на резервуаре для жидкости, конец (4) излучателя звука, предназначенный для подачи звуковых волн в тело образца, расположен во внутреннем пространстве резервуара для жидкости, и/или звуковые волны могут передаваться во внутреннее пространство этим концом, и часть внутреннего пространства резервуара для жидкости, расположенная между этим концом и нижней стороной тела образца, выполнена с возможностью полного заполнения и/или заполнена жидкостью. 4 н. и 13 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в ближнеполевой сканирующей СВЧ и оптической микроскопии. Способ изготовления стеклянного зонда с проводящей сердцевиной включает помещение в стеклянную трубку легкоплавкого металла или металлического сплава, температура плавления которого значительно меньше температуры размягчения стекла, из которого изготовлена стеклянная трубка, локальный нагрев стеклянной полой трубки до ее размягчения и последующее растяжение трубки до разрыва. Техническим результатом является повышение разрешающей способности, улучшение механических свойств и долговечности. 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров и других характеристик объектов, преимущественно в биологии, с одновременным оптическим наблюдением объекта в проходящем через объект свете. СЗМ содержит предметный стол инвертированного оптического микроскопа и измерительную головку, включающую основание с опорами для установки на предметный стол, блок XYZ сканирования с установленными на нем зондовым датчиком, лазером и фотоприемником, оптические компоненты для направления лазерного луча на зондовый датчик и от зондового датчика на фотоприемник, а также юстировочные элементы. Юстировочные элементы установлены на основании с возможностью осуществления параллельного сноса лазерного луча. Технический результат - возможность использовать для оптического наблюдения систему освещения с повышенной апертурой, повышение скорости сканирования. 6 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля и изучения свойств наклонных участков структурных элементов, находящихся на подложке. Сканирование поверхности образца выполняют раздельно для двух участков - поверхности подложки и поверхности структурного элемента, находящегося на подложке, без переустановки образца. Формирование изображения поверхности структурного элемента осуществляют путем вычитания постоянного наклона, определенного по результатам сканирования поверхности подложки. Способ позволяет установить величину наклона поверхности структурного элемента относительно поверхности подложки, что повышает точность проводимых измерений. 4 ил.

Изобретение относится к области электронной микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим калибровку предметных столиков растровых электронных микроскопов в широком диапазоне перемещений. Изобретение представляет собой структуру, состоящую из основания и расположенного на нем упорядоченного массива микроструктур в виде выступов, размещенных так, что в каждой строке каждый n-й элемент заменен пустым пространством, а в каждой следующей строке замененный элемент смещен на одну позицию, число n может быть от 3 до 10 в зависимости от размеров микроструктур. Наличие замененных на пустое пространство элементов создает в массиве микроструктур наклонные полосы, используемые при калибровке тестовой структуры и предметного столика. Технический результат - использование такой тестовой структуры позволяет с большой точностью калибровать предметные столики, определить среднюю величину заданного шага перемещения столика и неопределенность шага перемещения. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к электронно-измерительной технике и нанотехнологиям и предназначено в том числе для использования со сканирующим зондовым микроскопом (СЗМ) при исследовании микро- и нанорельефа поверхности. СЗМ содержит виброизоляционное основание, средство привода точного позиционирования, обеспечивающее детектируемое взаимодействие между зондом и образцом, механизм детектирования зонда и механизм обратной связи, обеспечивающий регулирование расстояния, отделяющего зонд и образец, а также шестиосевую механическую систему сближения и позиционирования, программируемый блок управления измерением и перемещением, измерительный датчик с механизмом обратной связи. Технический результат - расширение функциональных возможностей СЗМ за счет обеспечения возможности работы микроскопа с образцами большого размера и сложной формы путем требуемого для исследования позиционирования образца и измерения расстояния между зондом и образцом. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Комплект зондов для использования в сканирующем зондовом микроскопе содержит носитель, имеющий множество из по меньшей мере трех идентичных зондов и средство адресации. Каждый зонд имеет упругую опорную балку и головку, которая расположена на плоскости, которая является общей для множества головок зондов, и которая является подвижной относительно плоскости. Средство адресации содержит по меньшей мере один дополнительный слой, нанесенный на опорную балку, созданный из материала, отличного от материала опорной балки, с образованием таким образом многослойной структуры, содержащей по меньшей мере два слоя с различным термическим расширением. При этом средство адресации выполнено с возможностью выбора одного из множества зондов для относительного перемещения по отношению к большинству остальных зондов посредством нагревания многослойного материала с помощью удаленного источника света. Технический результат - повышение быстроты замены зондов, упрощение конструкции устройства. 3 н. и 26 з.п. ф-лы, 8 ил.

Устройство АСМ с динамическим режимом содержит сканнер 3 для выполнения трехмерного относительного сканирования консоли 2 и образца 1; средство 8 для генерации сигнала переменного тока резонансной частоты в моде с колебаниями изгиба консоли 2; средство 9 для возбуждения колебаний изгиба консоли 2 с резонансной частотой; средство 10 для генерации сигнала переменного тока второй частоты, которая ниже упомянутой частоты колебаний изгиба; средство 11 для модуляции расстояния зонд 2А - образец 1 консоли 2 посредством второй частоты; средство 5 для детектирования флуктуации резонансной частоты; средство 4 для детектирования вибрации консоли; средство 6 для детектирования компонента флуктуации, который содержится в детектированном сигнале, с помощью средства 5 для детектирования флуктуации резонансной частоты, и который синхронизирован с сигналом модуляции расстояния зонд 2А - образец 1. Наклон резонансной частоты относительно расстояния зонд 2А - образец 1 получается из мощности и полярности упомянутого компонента флуктуации. Технический результат - повышение скорости идентификации атомов поверхности. 5 з.п. ф-лы, 15 ил.

Изобретение относится к способу препарирования тонких пленок висмута на слюде - мусковит - для выявления межкристаллитных границ методом атомно-силовой микроскопии. Способ включает предварительное декорирование поверхности с помощью оксидирования. При этом предварительная обработка поверхности производится декорированием, в качестве декорирующего агента используется кислород. Достигаемый при этом технический результат заключается в обеспечении возможности выявления межкристаллитных границ и определения размеров кристаллитов субмикронных пленок. 2 ил.

Изобретение относится к нанотехнологиям, электронике, приборостроению и может использоваться для работы с зондовым микроскопом. Согласно способу, проводят сканирование калибровочной поверхности. Определяют форму и размеры конца иглы с использованием модели взаимодействия иглы с калибровочной поверхностью. В качестве калибровочной поверхности используют поверхность, которая содержит элементы всех размеров, которые могут быть зарегистрированы зондовым микроскопом с исследуемой иглой. При сканировании записывают параметры работы микроскопа, которые характеризуют физические условия взаимодействия иглы с поверхностью. Формируют набор моделей формы острия иглы, для каждой из которой строят модель рельефа с учетом физических условий взаимодействия иглы и поверхности. В качестве формы и размеров острия исследуемой иглы выбирают ту форму и размеры острия той модели, для которой в наибольшей степени наблюдается соответствие упомянутым физическим условиям процесса сканирования. Заявленный способ позволяет измерять форму и размеры острия иглы, нанометровой величины, например, для игл, которые используются в туннельном микроскопе. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к материаловедению, в частности к прецизионному инструментарию для диагностики материалов различной природы, представленных в виде тонких пленок, и может быть использовано в микро- и наноэлектронике, материаловедении, биологии, медицине, биомолекулярной технологии. Установка включает сканирующий зондовый микроскоп, по крайней мере, одно сканирующее устройство, держатель объекта и, по крайней мере, одно средство обработки и передачи электрических сигналов. Сканирующее устройство выполнено в виде закрепленной на основании консоли, выполненной с возможностью поворота вокруг ее продольной оси и возможностью поворота вокруг вертикальной оси основания. На свободном конце консоли закреплена головка с, по крайней мере, одним держателем, выполненным в виде консоли, на свободном конце которого размещен многофункциональный блок с, по крайней мере, одним сканирующим элементом. Установка дополнительно снабжена, по крайней мере, одним приемным лотком для кассет со сканирующими элементами, по крайней мере, одним приемным лотком для многофункциональных блоков, и вакуумным пинцетом. Технический результат - обеспечение универсальности устройства, расширение диапазона размеров исследуемых объектов, повышение простоты и удобства в использовании. 8 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области сканирующих микроскопов ближнего поля, в частности к элементам, обеспечивающим наблюдение и регистрацию в сканирующих микроскопах ближнего поля оптических сигналов, локально усиленных спектров поглощения или эмиссии, преобразованных методами гигантского комбинационного рассеяния. Сущность изобретения заключается в том, что в качестве зонда для получения локально усиленных спектров гигантского комбинационного рассеяния используют углеродную нанотрубку, легированную атомами церия. Технический результат - увеличение пространственного разрешения в зоне нахождения изучаемого объекта. 3 ил.