Общие аспекты SPM зондов, их изготовление или относящееся к ним оснащение в той мере, в какой эти зонды не являются специально предназначенными для одного конкретного типа техники SPM, охватываемых одной из групп  G01Q 60/00 – G01Q 70/00

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства и измерения новых изделий наноэлектроники. Нанотехнологический комплекс включает робот-раздатчик с возможностью осевого вращения, сопряженный с камерой загрузки образцов и модулем локального воздействия, а также измерительный модуль, включающий сканирующий зондовый микроскоп, аналитическую камеру, монохроматор и источник рентгена. Измерительный модуль и аналитическая камера сопряжены с роботом-раздатчиком, монохроматор сопряжен с аналитической камерой, а источник рентгена - с монохроматором. Модуль локального воздействия содержит модуль фокусированных ионных пучков и первый растровый электронный микроскоп. Технический результат - расширение функциональных возможностей нанотехнологического комплекса. 5 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения состояния поверхности космического аппарата, а также других поверхностей в нанометровом диапазоне. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с космическим аппаратом, содержит измерительный блок, включающий зондовый модуль с, по меньшей мере, одним зондом, сканирующее устройство и блок сближения зондового модуля с, по меньшей мере, одной зоной измерения, а также блок управления, имеющий возможность взаимодействия с измерительным блоком. Измерительный блок расположен снаружи космического аппарата, включающего герметичный корпус, и сопряжен с ним посредством соединительного элемента. Зона измерения расположена на наружной поверхности герметичного корпуса. Технический результат изобретения заключается в расширении функциональных возможностей. 10 з. п. ф-лы, 10 ил.

Изобретение относится к нанотехнологии и сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к устройствам, позволяющим получать информацию о топографической структуре образца, локальной жесткости, трении, а также об оптических свойствах поверхности в режиме близкопольного оптического микроскопа. Сканирующий зондовый микроскоп включает платформу с блоком предварительного сближения, пьезосканер, на котором установлен кварцевый резонатор, расположенный с возможностью взаимодействия с зондом. Кварцевый резонатор содержит два плеча разной длины и расположен под углом, не равным 90° к поверхности образца, а зонд закреплен на длинном плече. Технический результат - повышение надежности устройства и долговечности зондов, расширение его функциональных возможностей. 9 ил.

Изобретение относится к области приборостроения, преимущественно к измерительной технике. Сущность изобретения заключается в способе изготовления коллоидного зондового датчика, в котором используется атомно-силовой микроскоп (АСМ), и его собственном работоспособном зондовом датчике. Сначала с помощью АСМ производят визуализацию коллоидных частиц, предварительно осажденных на гладкую подложку, и по принципу минимального числа соседей выбирают среди них кандидата для закрепления. Затем с помощью АСМ производят закрепление частицы на кончике иглы зондового датчика. Завершают операции оперативным подтверждением с помощью АСМ, что выбранная частица закреплена. Технический результат - повышение воспроизводимости и надежности изготовления коллоидного зондового датчика, в особенности когда используются коллоидные частицы субмикронных размеров. 12 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в ближнеполевой сканирующей СВЧ и оптической микроскопии. Способ изготовления стеклянного зонда с проводящей сердцевиной включает помещение в стеклянную трубку легкоплавкого металла или металлического сплава, температура плавления которого значительно меньше температуры размягчения стекла, из которого изготовлена стеклянная трубка, локальный нагрев стеклянной полой трубки до ее размягчения и последующее растяжение трубки до разрыва. Техническим результатом является повышение разрешающей способности, улучшение механических свойств и долговечности. 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля и изучения свойств наклонных участков структурных элементов, находящихся на подложке. Сканирование поверхности образца выполняют раздельно для двух участков - поверхности подложки и поверхности структурного элемента, находящегося на подложке, без переустановки образца. Формирование изображения поверхности структурного элемента осуществляют путем вычитания постоянного наклона, определенного по результатам сканирования поверхности подложки. Способ позволяет установить величину наклона поверхности структурного элемента относительно поверхности подложки, что повышает точность проводимых измерений. 4 ил.

Комплект зондов для использования в сканирующем зондовом микроскопе содержит носитель, имеющий множество из по меньшей мере трех идентичных зондов и средство адресации. Каждый зонд имеет упругую опорную балку и головку, которая расположена на плоскости, которая является общей для множества головок зондов, и которая является подвижной относительно плоскости. Средство адресации содержит по меньшей мере один дополнительный слой, нанесенный на опорную балку, созданный из материала, отличного от материала опорной балки, с образованием таким образом многослойной структуры, содержащей по меньшей мере два слоя с различным термическим расширением. При этом средство адресации выполнено с возможностью выбора одного из множества зондов для относительного перемещения по отношению к большинству остальных зондов посредством нагревания многослойного материала с помощью удаленного источника света. Технический результат - повышение быстроты замены зондов, упрощение конструкции устройства. 3 н. и 26 з.п. ф-лы, 8 ил.

Изобретение относится к области сканирующих микроскопов ближнего поля, в частности к элементам, обеспечивающим наблюдение и регистрацию в сканирующих микроскопах ближнего поля оптических сигналов, локально усиленных спектров поглощения или эмиссии, преобразованных методами гигантского комбинационного рассеяния. Сущность изобретения заключается в том, что в качестве зонда для получения локально усиленных спектров гигантского комбинационного рассеяния используют углеродную нанотрубку, легированную атомами церия. Технический результат - увеличение пространственного разрешения в зоне нахождения изучаемого объекта. 3 ил.

Способ предназначен для создания наноустройств, в частности трубчатых зондов, применяемых в сканирующей микроскопии, а также используемых в медицине, биохимии, цитологии и генетике при проведении исследований с инъекциями и/или отбором образцов тканей и жидкостей на клеточном уровне. На кристалле-подложке изготавливают многослойную пленочную структуру с внутренними механическими напряжениями. Формируют контур освобождаемой области многослойной пленочной структуры от кристалла-подложки содержащим участок, предназначенный для изготовления трубки. Также формируют в составе многослойной пленочной структуры участок, содержащий токовод к трубке и контактную площадку. При формировании изготавливают пленку диэлектрика, на которой осаждают электропроводящую пленку. Посредством литографии по электропроводящей пленке задают контуры участка, предназначенного для изготовления трубки, и участка с тоководом и контактной площадкой. Первый из участков выполняют в виде фигуры с геометрией, обеспечивающей при его освобождении от связи с кристаллом-подложкой и трансформации в трубку укладку краев многослойной пленочной структуры на конце трубки по конусообразной спирали. Используя литографию, покрывают диэлектрической пленкой участок, предназначенный для изготовления трубки, и участок с тоководом и контактной площадкой, включая и торцы. К указанной многослойной пленочной структуре таким же образом формируют парную многослойную пленочную структуру. Участки обеих структур, предназначенные для изготовления трубки, выполняют, сопрягая их в точке, являющейся центром симметрии в отношении направлений освобождения от связи с кристаллом-подложкой и трансформации в трубку, каждого из участков, предназначенных для изготовления трубки. Из-под каждого участка, предназначенного для изготовления трубки, удаляют материал кристалла-подложки, трансформируя участки за счет внутренних механических напряжений в трубки с острыми концами, в месте разрыва в точке сопряжения, возникающего в результате разных направлений трансформации, выступающими за край кристалла-подложки. В результате обеспечивается: повышение остроты иглы до величины, требуемой для получения изображения поверхности с атомным разрешением, достижение унификации иглы при изготовлении ее в качестве зонда для микроскопии; снижение травматичности биологических клеток при изготовлении иглы для проведения инвазивных манипуляций. 10 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) состоит из основания, к которому прикреплена двухслойная балочка с расположенной на дальнем от основания конце иглой. Балочка выполнена из композитного материала, причем один из слоев выполнен из активного термочувствительного или магниточувствительного материала с эффектом памяти формы (ЭПФ), который чувствителен к внешнему воздействию, а другой слой является упругим. Кантилевер позволяет повысить производительность СЗМ за счет уменьшения непроизводительных затрат времени при проведении исследований. 1 ил.

Изобретение относится к зондовой спектроскопии, а именно к миниатюризованному пружинному элементу, пригодному для использования в качестве балочного зонда или консоли (2) для определения атомарных или молекулярных сил, в частности, в растровом микроскопе (22) атомарных сил. Миниатюризованный пружинный элемент (1, 1') содержит гибкое основное тело (4), которое образовано из матрицы с внедренными наночастицами (14) или дефектами. Пружинный элемент (1, 1') изготавливается с применением принципа локального осаждения с помощью сфокусированных энергетических частиц или электромагнитных волн или с помощью пиролитически индуцированного осаждения. Технический результат - надежное и с высоким разрешением определение отклонения балочного зонда. 4 н. и 11 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии, а именно к способам изготовления измерительных зондов. Сущность изобретения заключается в том, что в способе изготовления зондов на основе кварцевых резонаторов, включающем фиксацию кварцевого резонатора, имеющего по меньшей мере одно плечо, при помощи первого держателя, нанесение клея на плечо кварцевого резонатора и осуществление контакта между плечом кварцевого резонатора и первым концом иглы в зоне нанесения клея с последующей ориентацией, перед осуществлением контакта проводят принудительную ориентацию иглы по трем координатам, которую уточняют и сохраняют в процессе склеивания. Технический результат изобретения состоит в расширении функциональных возможностей измерительных зондов и увеличении их надежности. 7 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Способ изготовления СЗМ-наносенсоров основывается на методе электрон-стимулированного роста и осуществляется в три стадии. На кремниевом или металлическом держателе-основании электронным лучом из кремнийсодержащего газа-прекурсора формируют V-образный силиконовый кантилевер, на остром конце которого таким же образом из углеродсодержащего газа-прекурсора снизу наращивают сенсорный элемент и сверху формируют карбоновое плато, на котором из золотосодержащего газа-прекурсора с помощью электронного пучка наращивают светоотражающее покрытие. Технический результат - повышение гибкости кантилевера, упрощение технологии процесса изготовления.